【課題】この発明は基板に電子部品を実装するときのタクトタイムを短縮できるようにした実装装置を提供することにある。
【解決手段】パネル１を搬送するパネルテーブル２と、ＴＣＰ３を搬送するインデックステーブル４と、パネルテーブルによって実装ポジションに搬送されたパネルに、インデックステーブルによって実装ポジションに搬送されたＴＣＰを実装する吸着ヘッド１６と、パネルテーブルによって搬送されるパネルが実装ポジションに到達する前にパネルを撮像して位置認識する第１のカメラ４１と、インデックステーブルによって搬送されるＴＣＰが実装ポジションに到達する前にＴＣＰを撮像して位置認識する第２のカメラ４４と、第１のカメラと第２のカメラとの位置認識に基いて実装ポジションでパネルとＴＣＰとが相対的に位置決めされるようパネルステージによるパネルの搬送を制御する制御装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】この発明は傾斜して搬送される基板を所定の温度に加熱された剥離液に均一に加熱して処理できるようにした基板の処理装置を提供することにある。
【解決手段】搬送される基板の表面を所定温度に加熱された処理液によって処理する基板の処理装置であって、
基板を表面が傾斜方向上側となるよう所定の角度で傾斜させて搬送する搬送手段１と、搬送手段によって搬送される基板の傾斜方向上側となる表面に処理液を供給する表面用ノズル１４と、搬送手段によって搬送される基板の傾斜方向下側となる裏面に上記処理液を供給する分岐管１６とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 高電圧と低電圧のいずれにも対応可能であり、直流損失が小さく、部品の利用効率も高く且つ回路構成が簡潔な電源、スパッタ電源及びスパッタ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 インバータと、前記インバータの出力が入力されるトランスと、前記トランスの出力に接続された第１及び第２のインダクタと、前記インダクタを介して得られる直流電力が出力される負荷に対して並列に接続されたコンデンサと、を備え、前記トランスからの第１の極性の出力は前記第１及び第２のインダクタのいずれか一方に供給され、前記トランスからの第２の極性の出力は前記第１及び第２のインダクタのいずれか他方に供給されることを特徴とする電源を提供する。 （もっと読む）

【課題】 接着膜テープが巻き回された供給リールを接着膜テープ収納用カセットに収容してその取り扱いを容易にするとともに、接着膜貼付装置で用いられる接着膜テープ収納用カセットの自動交換を容易に実現する接着膜テープ収納用カセット交換装置を提供する。
【解決手段】 接着膜テープ収納用カセット交換装置１０において、カセットストッカ２０は、ＡＣＦテープ１５１が巻き回された供給リール１１２が収容された接着膜テープ収納用カセット１１０を複数保管する。カセットチェンジャ５０は、カセットストッカ２０に保管された複数の接着膜テープ収納用カセット１１０のうちストッカ側交換位置Ａ１に位置付けられた特定の未使用の接着膜テープ収納用カセット１１０を取り出して、ローダ側交換位置Ａ２に位置付けられた接着膜貼付装置の供給駆動機構３３に装着する。 （もっと読む）

【課題】 接着膜貼付装置で搬送される接着膜テープの搬送経路を高い自由度で設定して、接着膜貼付装置の構成変更等に柔軟に対応することを可能にする接着膜テープ送り機構を提供する。
【解決手段】 供給リール１１から巻き出されて第１の平面Ｐ_１内で搬送されるＡＣＦテープ５１は、第１テープ送り機構２１にて、第１の平面Ｐ_１内に位置付けられた大ローラ２３により幅方向への移動が規制された状態で搬送された後、大ローラ２３の下流側近傍に設けられた小ローラ２４により捻りが加えられた状態で搬送される。第１テープ送り機構２１により捻りが加えられた状態で搬送されたＡＣＦテープ５１は、第２テープ送り機構２２にて、第２の平面Ｐ_２内に位置付けられた大ローラ２６の上流側近傍に設けられた小ローラ２５により捻りが戻されながら搬送された後、大ローラ２６により幅方向への移動が規制された状態で搬送される。大ローラ２３，２６は、断面が矩形状の凹型溝４１を有している。小ローラ２４，２５は、断面が逆台形状の逆台形型溝４２を有している。 （もっと読む）

【課題】この発明は小型化やタクトタイムの短縮を図ることができるようにした表示装置の組み立て装置を提供することにある。
【解決手段】 タブ２０２が接続された液晶パネル２００にこのタブを介して回路基板２０３を実装する表示装置の組み立て装置であって、
回路基板を供給する第１の供給部３と、表示パネルを供給する第２の供給部４と、回路基板に異方性導電部材２０４を貼り付ける貼り付け部７及びこの貼り付け部と直列に配置され異方性導電部材が貼り付けられた回路基板を表示パネルにタブを介して実装する圧着部１２とを有する実装装置６Ａ，６Ｂと、貼り付け部と圧着部との配置方向に対して交差する方向に移動可能に設けられ第２の供給部から供給された液晶パネルを圧着部に搬送する搬送ステージ２５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 接着膜テープが巻き回された供給リールをケース内に収容してその取り扱いを容易にできる接着膜テープ収納用カセットを提供する。
【解決手段】 接着膜テープ収納用カセット１０は、供給リール１２を収容するケース１１と、供給リール１２を回転自在に支持する回転支持機構２０と、供給リール１２の回転を停止させる回り止め機構３０と、ＡＣＦテープ５１の端部を固定するクランプ機構４０とを備えている。回転支持機構２０は、外部装置であるＡＣＦ貼付装置の駆動軸に着脱自在に連結される回転軸２１を有している。回転軸２１の背面部２１ａには、駆動軸５５の先端部に形成された直線状の突起部５５ａに嵌り合う直線状の溝部２２が形成されている。直線状の溝部２２は、駆動軸５５と回転軸２１とが軸方向に直交する方向に相対的に移動している状態で駆動軸５５の直線状の突起部５５ａを受け入れることができるよう、その両端が開放している。 （もっと読む）

【課題】吸着ノズルによって取り出されたチップがこの吸着ノズルに対して位置ずれするのを防止したピックアップ装置を提供する。
【解決手段】チップ４をバンプ２７が形成された面を吸着して取り出すチップのピックアップ装置であって、吸引孔２５が先端面に開口して形成された吸着ノズル１６を有し、吸引孔の少なくとも先端部の内周面には、吸着ノズルがチップのバンプが形成された面を吸着したときに、バンプに係合する凹部２６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 基板貼り合わせ装置等に採用されるチャンバの真空漏洩度を自動的にチェックする。
【解決手段】 圧力計５を有し、排気ポンプ８で真空引きされたチャンバ１内で２枚の基板２１，２２を貼り合わせるとき、排気ポンプ８により真空引きされるチャンバ１内の圧力を、所定時間間隔ΔＴをおいて測定し、その測定圧力変化幅ΔＰｓを算出する。
その算出された測定圧力変化幅ΔＰｓと、所定時間間隔ΔＴでの圧力変化が適正に行われる限度として予め設定された基準圧力変化幅ΔＰｒとを比較し、測定圧力変化幅ΔＰｓが基準圧力変化幅ΔＰｒより大であるとき、貼り合わせを行うのに適した真空度が得られているものとし、測定圧力変化幅ΔＰｓが基準圧力変化幅ΔＰｒより小であるときには、真空漏れが許容限度を超えていて、修理あるいは交換を要するものと判定して、報知器９でその旨報知する。 （もっと読む）

【課題】この発明は複数のチャンバ内に設けられた二流体噴射ノズルに対し、処理液と気体とを供給する配管を簡略化できるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】気体が供給されるとともにチャンバ１内に基板の搬送方向と交差する方向に沿って配置された気体用配管４１と、液体が供給されるとともに気体用配管と一体化されてチャンバ内に配置された液体用配管３１と、液体供給口体、気体供給口体及び噴射孔を有し、液体供給口体を液体用配管に接続するとともに気体供給口体を気体用配管に接続してこれら配管の長手方向に所定間隔で設けられ液体用配管から液体供給口体を通じて供給された液体を気体用配管から気体供給口体を通じて供給された気体によって加圧して噴射孔から噴射する複数の二流体噴射ノズル４４とを具備する。 （もっと読む）