本発明は、一あるいは二以上の曲面を有する物体の位置ずれ検出および補正のためのシステムおよび方法に関する。特に、位置ずれ検出システムの光軸と球状半導体のような物体の中心との位置ずれを検出するためのシステムおよび方法に関する。
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【課題】積分ワインドアップを防止し、従来のパラメータ調整方法や自動調整機能の適用を可能にする。
【解決手段】制御装置は、制御偏差を算出する制御偏差算出部２３−１〜２３−３と、３個の制御偏差を状態量変換行列により各制御偏差を線形結合した値に変換する制御偏差変換部２６と、変換された各制御偏差にそれぞれ対応する重み係数を乗算する重み係数設定部２７−１〜２７−３と、重み係数が乗算された各制御偏差を状態量変換行列の逆行列により再変換する逆行列再変換部２８と、再変換された各制御偏差に基づき各制御ループの操作量を算出する制御演算部２５−１〜２５−３と、制御上の制約を受けていない制御ループの制御演算部が相対制御偏差の乱れを整える制御をより強く要求されるように、状態量変換行列および逆行列を適応的に修正する行列修正部３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 計算機処理を必要とせず、温度変化による測定誤差を排除可能な差圧測定システムを提供する。
【解決手段】 光を照射する光源4と、第1温度T₁及び第1外部圧力P_O1に応じて第1測定光路差F_S1を光に与える第1測定センサ3と、第1温度T₁に応じて第1参照光路差F_R1を光に与える第1参照センサ6と、第2温度T₂及び第2外部圧力P_O2に応じて第2測定光路差F_S2を光に与える第2測定センサ13と、第2温度T₂に応じて第2参照光路差F_R2を光に与える第2参照センサ16と、第1及び第2測定光路差F_S1, F_S2の光路差に基づく感圧干渉縞と、第1及び第2参照光路差F_R1, F_R2の光路差に基づく感熱干渉縞を検出する受光素子8と、感熱干渉縞の感熱移動を検知する検知機構80と、光に位相変調を加え、感熱干渉縞及び感圧干渉縞の感熱移動を打ち消す位相変調器71と、感圧干渉縞の形成位置から第1及び第2外部圧力P_O1, P_O2の差圧を算出する信号処理装置7とを備える。 （もっと読む）

【課題】 プラント起動時に外部から水などの液体を供給して受圧ダイアフラム面を保護する必要がなく、異物が溜まりにくくかつ取り付け性に優れたインライン型の蒸気流量計を提供する。
【解決手段】 配管内を流れる蒸気の流量を検出する蒸気流量計１において、配管に取り付けられる絞り機構部１１０と、絞り機構部を流れる蒸気の差圧を検出するダイアフラム１２２を有し、蒸気流量計の配管への取り付け状態において当該絞り機構部１１０より上部に取り付けられた受圧部と、受圧部のダイアフラム面に被着され、当該ダイアフラム面と協働して内部に蒸気が液化したときの液体溜まり用空間を形成するフランジカバー１２１と、一端が絞り機構部１１０に接続されるとともに他端がフランジカバー１２１の上部に接続され、絞り機構部１１０からの蒸気を液体溜まり用空間の上部に導く導圧管１３０を備えている。 （もっと読む）

【課題】安定した室圧制御を行う。
【解決手段】差圧センサ９からの室圧の計測値ｄＰをノイズ除去フィルタ１３Ａを通して制御部１２Ａへ与える。これにより、室圧の乱れによる計測値ｄＰの変動が和らげられ、制御部１２Ａで補正される風量オフセット値ΔＱofst(ΔＱofst’)の変動が抑えられ、安定した室圧制御が行われる。給気ＶＡＶ７への設定風量Ｑsup_spの変更速度を変更速度制限フィルタ１４Ａを用いて制限する。これにより、給気ＶＡＶ７の設定風量値の変更に対するフィードバック値Ｑsup_fbの遅れが小さくなり、室圧変動が抑えられ、安定した室圧制御が行われる。なお、変更速度制限フィルタ１４Ａの代わりに逆フィルタを設け、この逆フィルタを通して給気ＶＡＶ７からの給気風量のフィードバック値Ｑsup_fbを制御部１２Ａへ与えるようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】
本発明が解決しようとする課題は、単純な構成で、調節可能範囲が広く、微少な調節作業が容易な位置調節機構を提供することである。
【解決手段】
基体と、この基体に対して位置決め固定される可動体とを有する位置調節機構において、可撓性を有するピンが基体または可動体の表面に垂直に立てられて固定されており、可動体はピンを介して基体と連結しており、可動体とピンとの間、および基体とピンとの間、のいずれかにおいて互いに摺動可能であり、基体と可動体との間には予圧バネが配置されて上記の摺動方向に力を及ぼし、予圧バネに抗して基体と可動体との間の距離を調節する粗調節ネジを有し、上記の摺動方向の、基体と可動体との距離、を微調節するための第一微調節ネジを有し、上記の摺動方向に対して垂直な方向に可動体を押す第二微調節ネジを有する。 （もっと読む）

【課題】 火炎検出装置を小型化すると共に、ユニットホルダに収納するＵＶチューブの極性を誤ることなく確実に装着することができ、また容易に脱着することも可能な火炎検出装置を提供する。
【解決手段】 紫外線センサの先端部が嵌め込まれる受け部と、この受け部に対峙して設けられて該受け部に上記先端部を嵌め込んで装着される前記紫外線センサの一対の棒状電極をそれぞれ挟持する一対の接続端子とを備えた載置面を具備し、前記一対の接続端子は、それぞれ対峙した一対の平板電極を有し、前記各平板電極は、前記載置面からそれぞれ異なる高さの部位で該載置面に対し平行に折り曲げられて対峙する該平板電極の間隙を狭める屈曲部を備え、前記一対の平板電極の前記屈曲部と前記載置面との間に前記棒状電極を挟持する。 （もっと読む）

【課題】 流路中の流体の流量を正確に測定する流量センサを提供する。
【解決手段】 流路を構成する配管の外壁面の一部領域を加熱するか又は配管内部の特定領域を加熱する加熱手段１１と、被加熱領域に対して配管の上流側及び下流側であって被加熱領域からの温度影響を熱エネルギー（赤外線）として外部に放射する領域の温度を測定する温度検出手段とを備え、温度検出手段は配管外壁面近傍において外壁面と非接触に配置された上流側非接触温度検出手段１２と下流側非接触温度検出手段１３からなり、各非接触温度検出手段は上流側熱エネルギー放射領域の温度と下流側熱エネルギー放射領域の温度とを配管の外壁面と非接触でそれぞれ測定可能で、非接触温度検出手段で測定した上流側熱エネルギー放射領域の温度と下流側熱エネルギー放射領域の温度の温度差又は温度差に起因して発生する出力から流路を流れる被測定流体の流量を測定する。 （もっと読む）

【課題】
曲線又は曲面モデルを同定する際に的確なスムージングを行うためのデータ間引き処理を行うことができるデータ処理方法及びプログラムを提供する。
【解決手段】
入力される例えばＫ個のデータの各データ間におけるデータ間距離を算出し（ステップＳ１）、その最小値を選択し、この最小データ間距離を与えるデータ対を抽出し（ステップＳ２）する。そして、抽出したデータ対の一方を削除して間引き処理を実行する（ステップＳ３）。その後、間引き処理後に残ったデータの配置具合の間引き処理後のデータ群の最小データ間距離等を評価指標として算出し（ステップＳ４）、この評価指標に基づき、間引き処理を継続するか、間引き処理を打ち切り、処理済みのデータを使用して曲面モデルの生成をする。 （もっと読む）

【課題】 紫外線検出用放電管（ＵＶチューブ）を衝撃等から保護すると共に、ＵＶチューブに貼付された温度記録紙を容易に確認することができ、容易にＵＶチューブの取り付けができる簡易な構造の火炎センサを提供する。
【解決手段】 円柱状のガラス管１０ａ内に紫外線を受けて放電を生起する一対の放電電極を封入したＵＶチューブ１０は、前記ガラス管１０ａにおける胴部の所定の位置に貼付されて、ＵＶチューブ１０近傍の温度を検出して記録する温度記録紙１７を備える一方、このＵＶチューブ１０を保護するカバー体１は、ＵＶチューブ１０をカバー体１の内部に嵌め込んだとき、ＵＶチューブ１０に貼付された温度記録紙１７をカバー体１の外部に現出する窓部１ａを備える。 （もっと読む）