【課題】コストの増加を抑制しつつ広範囲の流速を検出することのできるフローセンサを提供する。
【解決手段】所定速度で流れる流体を加熱するヒータ部と、ヒータ部によって生ずる流体の温度差を測定するように構成された上流側測温抵抗素子３２及び下流側測温抵抗素子３３と、を備え、ヒータ部は、上流側測温抵抗素子３２及び下流側測温抵抗素子３３との距離Ｄ１，Ｄ２がそれぞれ異なる第１ヒータ３１ａと第２ヒータ３１ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】羽根車を大きく形成すると、小さな力では羽根車が回転しなくなるため低流量での感度が鈍り、低流量では羽根車が流速に比例して回転しない。羽根車を小さく形成すると羽根車の自重が軽くなり、低流量でも安定して羽根車を回転させることは可能であるが、逆に大流量では高速で回転するため、羽根車の軸受部が摩擦しやすいという不具合が生じる。
【解決手段】羽根車を流れ方向に対して移動自在に設けると共に、流体の流れを受け、羽根車を下流側に移動させる流体受け部を羽根車に設け、羽根車の下流側に、流体の流れによって流れ方向に移動することなく回転する制動羽根車を設け、かつ、羽根車と制動羽根車との間を離間させる方向に付勢する付勢手段と、この付勢手段による付勢力に抗して羽根車が制動羽根車に所定距離まで近づいた場合に、羽根車と制動羽根車とを連結させて両羽根車を等速で回転させる連結機構を設けた。 （もっと読む）

【課題】実流量に合わせて適切な測定範囲を選択可能な流量計を提供する。
【解決手段】主流路11、主流路11に通じる少なくとも三以上の複数の孔4a, 4b, 6a, 6b、及び前記複数の孔4a, 4b, 6a, 6bを介して前記主流路11と連通する分流路25が設けられた流路保持体10と、複数の孔4a, 4b, 6a, 6bから選択された二つの被選択孔6a, 6b以外の複数の孔4a, 4bを閉塞する閉塞部材21Aと、分流路25を流れる流体の流量を検出する流れセンサ8と、被選択孔を検出する被選択孔検出機構9A, 9Bと、被選択孔に応じた、分流路25と主流路11の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置400と、分流路25を流れる流体の流量、及び検出された被選択孔に応じた分流比に関する情報に基づいて、主流路11を流れる流体の流量を算出する算出モジュール300と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 より広い測定レンジで流量の測定が可能な熱式流量計を実現する。
【解決手段】 流路を流れる液体の温度を制御し温度制御部分の上流側及び下流側の流体の温度差に基づき流量を測定する熱式流量計において、接液部分が全てガラスで構成された第１の流路と、接液部分が全てガラスで構成され一端が第１の流路の一端に接続され第１の流路より断面積の大きい第２の流路と、これらの第１及び第２の流路にそれぞれ設けられた第１及び第２のセンサ手段と、これら第１及び第２のセンサ手段を制御して第１及び第２の流路を流れる液体の温度をそれぞれ制御すると共に測定する流量に応じて一方のセンサ手段を選択して選択されたセンサ手段で検出された上流側及び下流側の温度の温度差に基づき流量を求める演算制御手段とを設ける。 （もっと読む）

【解決手段】簡単でパッシブで頑丈な液体の流量を測定する装置である。面積の変化する閉塞弁、差圧センサ、および密度計が一つの筐体内で組み合わされ、質量流量の非常に正確かつ精密な測定を実現する。 （もっと読む）

【課題】 差圧式流量計の構造を簡素化して製造コストの引下げを図ると共に、１００％〜１％の広い流量範囲に亘って誤差Ｅが（１％ＳＰ）以下の高精度な流量計測をリアルタイムに且つインライン状態で行えるようにする。
【解決手段】 最大流量の１００〜１０％までの流量域を測定する差圧式流量計と最大流量の１０％〜１％までの流量域を測定する差圧流量計とを組み合せ、測定すべき流体を前記各流量域に応じて切換弁により前記各差圧流量計へ切換え供給することにより、広流量域に亘って高精度な流量測定を行うこととした。 （もっと読む）

【課題】計測精度を向上できる超音波式流体計測装置を提供する。
【解決手段】超音波式流体計測装置１０は、第１〜第３の超音波計測部１６〜１８が、それぞれ計測流路１４に設けられた第１送受波器１６Ａ〜１８Ａおよび第２送受波器１６Ｂ〜１８Ｂを有するとともに、第１送受波器１６Ａ〜１８Ａおよび第２送受波器１６Ｂ〜１８Ｂを結ぶ第１〜第３の超音波伝搬路３６〜３８が計測流路１４を流れる流体２４の通過方向に対して異なる角度で交差するものである。この超音波式流体計測装置１０は、流量Ｑに対応して、第１〜第３の超音波計測部１６〜１８のうちのいずれかの計測値を採用するものである。 （もっと読む）

【課題】質量流量を切り替えポイントに用いてより良いマルチ渦流量計を提供する。
【解決手段】マルチ渦流量計１は、容積流量で計測する渦流量計と質量流量で計測する熱式流量計とを備え、これら二つの流量計を流路１３を流れる被測定流体の流量に応じて使い分ける。マルチ渦流量計１は、質量流量を切り替えポイントに用いる。すなわち、マルチ渦流量計１は、二つの流量計の切り替えポイントを質量流量に基づくものとする。渦流量計の最小流量より大きく熱式流量計の最大流量よりも小さい範囲の切り替えポイント質量流量Ｑｍを、Ｑｍ＝Ｋ３＊√Ｐで決定する。但し、Ｐ：流路の圧力（変数）、Ｋ３：流路１３の面積、渦差圧、渦差圧に係る定数、０℃で１ａｔｍの密度、及び、１ａｔｍの時の圧力で決まる定数とする。 （もっと読む）

【課題】より良いマルチ渦流量計となる圧力計一体形マルチ渦流量計を提供する。
【解決手段】マルチ渦流量計１は、流路１３に設けられて被測定流体を通過させる測定管４と、被測定流体の流れに対向するように測定管４に設けられる渦発生体５と、この渦発生体５により生じるカルマン渦に基づく変化を検出する渦検出器６とを有する渦式検出手段７を備える。また、流路１３に突出する感温センサ８及び加熱感温センサ９を有する熱式検出手段１０を備える。さらに、流量変換器１１を備えて、この流量変換器１１に、渦検出器６及び熱式検出手段１０と共に配線される配管内圧力測定用の圧力計３を一体に設ける。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で広範囲の流量を高精度に計測することができる流量計を提供する。
【解決手段】被検流体の少流量区分時にヒータ３２を定電圧で駆動する定電圧駆動手段２１と、少流量区分時以外にヒータ３２を正弦波の駆動信号で駆動する正弦波駆動手段２２と、温度センサ３３が出力した流速信号に基づいて少流量区分時であるか否かを判定して、少流量区分時に定電圧駆動手段２１がヒータ３２を駆動するように、定電圧駆動手段２１又は正弦波駆動手段２２の切り替えを制御する切替制御手段１１ｂと、を有するとともに、流量測定手段１１ａが、定電圧駆動手段２１によるヒータ３２の駆動に応じて温度センサが出力した流速信号に基づいて流量を測定する第１測定手段１１ａ１と、正弦波駆動手段２２によるヒータ３２に応じて温度センサ３３が出力した流速信号と正弦波の駆動信号との位相差に基づいて流量を測定する第２測定手段１１ａ２と、を有する （もっと読む）

【課題】 １基の流量制御装置によってより広い流量域の流体の高精度な流量制御を可能とすることにより、流量制御装置の小型化と設備費の削減を図る。
【解決手段】 オリフィス上流側圧力Ｐ₁及び又はオリフィス下流側圧力Ｐ₂を用いて、オリフィス８を流通する流体の流量をＱｃ＝ＫＰ₁（Ｋは比例定数）又はＱｃ＝ＫＰ₂^m（Ｐ₁−Ｐ₂）ⁿ（Ｋは比例定数、ｍとｎは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置において、当該圧力式流量制御装置のコントロール弁の下流側と流体供給用管路との間の流体通路少なくとも二つ以上の並列状の流体通路とすると共に、前記各並列状の流体通路へ流体流量特性の異なるオリフィスを夫々介在させ、小流量域の流体の流量制御には一方のオリフィスへ前記小流量域の流体を流通させ、また大流量域の流体の流量制御には他方のオリフィスへ前記大流量域の流体を切換え流通させる。 （もっと読む）

【課題】 ベンチュリ管として圧力回復を期待できる一方で、絞り比を小さい範囲に抑え、大流量域における圧力損失を少なくしてピトー管方式としての静圧と全圧からの流速測定を行い、かつ高い精度で流量測定が可能な静圧あるいは差圧の測定範囲を大きくする
【解決手段】 滑らかな断面積変化をもつ絞り管路１１と滑らかで緩やかな断面積変化をもつ拡大管路１３の間に短い測定直管路１２を配置して、その測定直管路１２の部分において流体の全圧と静圧との差圧及び静圧の絶対圧とその差圧および温度を測定し、さらに流体密度をガス定数などから求めることによって測定直管路１２における流速と断面積から流量を測定する （もっと読む）

【課題】 微少流量から大流量まで精度よく計測することが可能なマルチ渦流量計を提供する。
【解決手段】 流管９の流路に設けられて被測定流体を通過させる測定管１２と、被測定流体の流れに対向するように測定管１２に設けられる渦発生体１３と、渦発生体１３により生じるカルマン渦に基づく変化を検出する渦検出器１４とを有する渦式検出手段１５を備えるとともに、流路９に突出する感温センサ１６及び加熱感温センサ１７を有する熱式検出手段１８を備え、さらには、感温センサ１６と加熱感温センサ１７との温度差を一定にするための加熱側温度センサ１７の加熱に係る電力供給量制御を行い、その電力量から被測定流体の流量を算出及び渦検出器１４の検出値から被測定流体の流量を算出する流量変換器８を備える。 （もっと読む）

【課題】 小流量域でも正確に流量を計測することが可能な流量計を提供する。
【解決手段】 本発明の流量計１０によれば、流量が比較的少ない状態のときは、流量計１０を非満水型の電磁式流量計として機能させ、電極２４，２４間に生じた起電力に基づいて流量計測を行うので、比較的小流量でも精度よく計測することが可能となる。しかも、流量が比較的多くなってきたら、内側流路構成部材２５を取り外すことで流量計１０をフリューム式流量計として機能させ、水位に基づいて流量を計測することができるので、使用前に電磁式計測部２０に実際に液体を通して行う実測調整は、小流量域だけで済む。従って、実測調整のための設備の規模を小さくすることができると共に、実測調整の手間を軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】 広い範囲での測定を可能にし、さらに圧力損失を少なくし、小型化及び低コスト化を図る。
【解決手段】 小流量域の測定に際しては、遮断弁２０を第一の位置に位置させて小流量用流路１７との合流地点よりも上流側で大流量用流路６を遮断弁２０で遮断し、大流量域の測定に際しては、遮断弁２０を第二の位置に位置させて太い大流量用流路６に流体を流すことで圧力損失を小さくするとともに広い範囲での測定を可能にし、さらに、遮断弁２０を第三の位置に移動させることにより、大流量用流路６及び小流量用流路１７を遮断して非常事態に対処する。さらに、流路切り替えと非常時における流路の遮断とを一つの遮断弁２０で行わせることで、コストダウン及び小型化を図り、さらに、遮断弁２０を電池で駆動する場合に電池の消耗を節減する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置の配管を流通する全ガス流量が大きく変わった場合でも常に最適な検出精度で流量検出を行える様にする。
【解決手段】半導体製造装置の配管１に流量検出装置２が設けられ、該流量検出装置がガス導入路１６とガス導入路に対して並列に設けられた調整流路１３，１４，１５を具備する流量調整部とを有し、前記ガス導入路にガス流量検出器７を設け、前記ガス導入路を流通するガス流量が所定範囲となる様、前記調整流路の流路断面積を変更可能とした半導体製造装置に係り、又前記流量検出装置は複数の調整流路を有し、該複数の調整流路は独立して開閉され、ガス導入路を流れるガス流量を流量検出器の検出適正流量とすることで、配管の全ガス流量が大幅に変化したとしても流量検出器の持つ最適精度で流量検出を行う。 （もっと読む）