【課題】部品点数を削減することのできる把持用センサ及びロボットハンド駆動制御装置を提供する。
【解決手段】把持用センサ１０は、厚肉部１４に取り囲まれた空洞部１６と、空洞部１６を架橋して厚肉部１４上に形成されたメンブレン１８を有する基板１２と、メンブレン１８の一面１２ａ上に、下部電極３２、圧電体膜３４、上部電極３６の順に積層形成された圧電素子３０と、を備える。互いに電気的に分離された複数の圧電素子３０のうち、一部の圧電素子３０の上部電極３６上に、電気絶縁性材料からなる突起部３８が形成され、突起部３８を有する圧電素子３０は、垂直圧力を検出するための垂直圧力検出素子４０とされている。また、垂直圧力検出素子４０とは別の圧電素子３０として、超音波の送信及び超音波の受信の少なくとも一方に用いられる超音波素子４２を有し、該超音波素子４２は、少なくとも基板１２の空洞部１６上に設けられている。 （もっと読む）

【課題】簡略な構成で剪断力の測定が可能な触覚センサー素子を提供すること。
【解決手段】第一の開口部１１１Ａおよび第二の開口部１１１Ｂを有する基板１１と、第一の開口部１１１Ａおよび第二の開口部１１１Ｂを覆う支持膜１２と、支持膜１２上、かつ第一の開口部１１１Ａの上方に配置された第一の検出部１３Ａと、支持膜１２上、かつ第二の開口部１１１Ｂの上方に配置された第二の検出部１３Ｂと、第一の検出部１３Ａおよび第二の検出部１３Ｂの上に配置された弾性部材１６と、を備え、第一の検出部１３Ａおよび第二の検出部１３Ｂのそれぞれは、圧電積層部１４を備え、弾性部材１６は、基板１１の厚み方向で見た平面視で、少なくとも、第一の検出部１３Ａ、第二の検出部１３Ｂ、並びに第一の検出部１３Ａと第二の検出部１３Ｂとに挟まれる領域の支持膜１２上を覆い、弾性部材１６表面は、基板１１面と平行に形成されている触覚センサー素子１０。 （もっと読む）

【課題】 離れた距離の対象物から力センサに入力される外力を減衰することができる力検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 外力を検出する力センサと、力センサに外力を減衰させて入力する減衰機構を備えた力検出装置であって、減衰機構は、力センサの入力部に設けられた伝達部材と、一端が力センサの固定部に設けられた支持部材と、支持部材の他端に枢動可能に支持された可倒軸とを備え、可倒軸は伝達部材に屈曲可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】メンブレンの破損を防止できる圧力センサー、センサーアレイ、センサーアレイの製造方法を提供すること。
【解決手段】圧力センサー６は、開口部６１Ａを有する支持体６１と、支持体６１上に設けられて、開口部６１Ａを閉塞するダイアフラム部７を有する支持膜６２、及びダイアフラム部７上に設けられて、撓むことで電気信号を出力する圧電体６３を備えた圧力検出部９と、圧力検出部９上に、支持膜６２の膜厚み方向に沿う筒状の空洞部６４Ａを有するとともに、支持膜６２を膜厚み方向から見た平面視において、空洞部６４Ａの筒状内周壁６４１が開口部６１Ａと重なる位置、または開口部６１Ａよりも外側に形成される枠体６４と、枠体６４を閉塞する封止膜６５と、空洞部６４Ａの筒状内周壁６４１、封止膜６５、圧力検出部９により形成される内部空間６６に充填されるシリコーンオイル２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】物体を把持した時の力と把持対象物との摩擦力を計測することができるセンサモジュールであって、軽量で安価、かつ省スペース設計であると共に、把持に最適なやわらかさ(粘弾性、超弾性、ゴム的性質)と、表面の摩擦によるグリップ性を備えたセンサモジュールを提供することを目的とするものである。
【解決手段】ベース基板と、前記ベース基板に固定保持された凸形状部を有する金属薄板と、前記金属薄板の前記凸形状部表面に貼着された複数個の歪みゲージと、前記金属薄板の前記凸形状部表面を覆う弾性材製カバー体とより成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、接触物の接触検出が可能な触覚センサー、および把持装置を提供する。
【解決手段】触覚センサーは、基板１１と、基板１１上に設けられ、接触物の接触により弾性変形可能な弾性膜１５と、弾性膜１５の内部に設けられ、弾性膜１５が弾性変形すると、その変形に応じて位置が移動する超音波反射体１６と、基板１１上に設けられ、弾性膜１５内に超音波を発信するとともに、超音波反射体１６により反射された超音波を受信する複数の超音波素子２０と、各超音波素子２０の超音波の発信および受信を制御する制御部と、を備え、超音波反射体１６は、超音波素子２０に対向する素子対向面１６１を、複数の超音波素子２０のそれぞれに対応して複数有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、接触物の接触検出が可能な触覚センサー、および把持装置を提供する。
【解決手段】触覚センサーは、基板１１と、基板１１上に設けられ、接触物の接触により弾性変形可能な弾性膜１６と、弾性膜１６の内部に設けられ、弾性膜１６が弾性変形すると、その変形に応じて位置が移動する超音波反射体１７と、複数の超音波素子２０をアレイ状に配列したアレイ構造を有し、基板１１の表面に対して直交する方向に平面波として伝搬する超音波を発信する超音波アレイ１２と、基板１１上に設けられ、超音波アレイ１２から発信された超音波を、超音波反射体１７に向かう方向に屈折させる音響レンズ１５と、各超音波アレイ１２の超音波の発信および受信を制御する制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】高い精度で外圧の方向と大きさとを検出可能な圧力検出装置、これを備えた電子機器、及びロボットを提供すること。
【解決手段】圧力検出装置１０は、基準点の周りに複数配置されたセンサー電極１３とセンサー電極１３を含む領域上に設けられた感圧弾性体層１４とにより構成された複数の圧力センサー１５を有するセンサー基板１１と、先端部がセンサー基板１１の基準点に重なると共に感圧弾性体層１４に当接した状態で外圧により弾性変形する弾性体突起２３を有する第２基板２１と、を備え、第２基板２１は、導電性を有する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡素な触覚センサ等を提供する。
【解決手段】触覚センサ７０は、第１電極７３ａと第３電極７３ｃとの間の第１静電容量と、第２電極７３ｂと第３電極７３ｃとの間の第２静電容量と、に基づいて、受圧部７２に加わった押付力（Ｘ軸方向の力）又は押付力によって生じる把持力（Ｙ軸方向の力）を検出する。これにより、３つの電極のみで、押付力、把持力等の力を検出することが可能になる。そのため、構造が簡素な触覚センサ７０、この触覚センサ７０を備えた把持装置及びアクチュエータシステムを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】検出精度および検出感度を向上させることができる圧力検出装置、電子機器、及びロボットを提供する。
【解決手段】圧力検出装置１０は、基準点の周りに複数配置された圧力センサー１３を有するセンサー基板１１と、先端部２３ａがセンサー基板１１の基準点に重なると共に圧力センサー１３に当接した状態で外圧により弾性変形する弾性体突起２３を有する突起シート２１と、を備え、センサー基板１１と突起シート２１とに挟まれた隣り合う弾性体突起２３の周囲に、弾性平坦化層１４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】検知部の破損および弾性部材の剥離を防止可能な触覚センサを提供する。
【解決手段】触覚センサ１０は、基板１と、酸化膜２と、検知部３（３１，３２）と、弾性部材４と、金属プレート５とを備える。酸化膜２は、基板１上に形成される。検知部３（３１，３２）は、酸化膜２上に配置される。弾性部材４は、金属プレート５から突出した突出部４１，４２を有する。弾性部材４は、突出部４１，４２がそれぞれ検知部３１，３２を覆うように基板１および酸化膜２上に配置される。金属プレート５は、弾性部材４の突出部４１，４２と所望の間隔を隔てて突出部４１，４２の周囲および弾性部材４上に配置される。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、かつ剪断力および押圧力を正確に検出可能な応力検出素子、触覚センサー、および把持装置を提供する。
【解決手段】応力検出素子２００は、矩形状の開口部１１１を有するセンサー基板１１と、センサー基板１１上に形成されて開口部１１１を閉塞する可撓性を有する支持膜１４と、センサー平面視において、開口部１１１の一辺に沿い、開口部１１１の内側および外側に跨って設けられ、湾曲することで電気信号を出力する剪断力検出用圧電体２１０と、センサー平面視において、開口部１１１の内側で、剪断力検出用圧電体２１０から離れた位置に設けられ、湾曲することで電気信号を出力する押圧力検出用圧電体３１０と、支持膜１４を覆う弾性膜１５と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構造で、物体から付与される応力を複数の方向の成分（垂直応力、水平応力）に分離して検出することを可能とする。
【解決手段】ＦＢＧセンサ２２は、特定波長の光を反射するグレーティング２６ｘ、２６ｙを配列した光ファイバ２０ｘ、２０ｙからなる応力検出センサ部２８ｘ、２８ｙと、外部から付与された応力をグレーティング２６ｘ、２６ｙを配列した方向（Ｘ方向、Ｙ方向）の応力に変換してグレーティング２６ｘ、２６ｙに伝達する応力方向変換部３０とを有し、応力方向変換部３０の周囲には、複数の応力検出センサ部２８ｘ、２８ｙが配置されている。 （もっと読む）

【課題】握り位置のズレを検知しうるグリップ圧の測定方法及び測定装置に関する。
【解決手段】本発明に係るグリップ圧測定装置は、第一センサ部１ｇ、２ｇ、３ｇと第二センサ部１ｈ、２ｈ、３ｈとを有する圧力センサを備えている。この圧力センサは、第一センサ部１ｇ、２ｇ、３ｇと第二センサ部１ｈ、２ｈ、３ｈとが互いに対向して配置されることにより圧力を測定することができる。この測定装置では、第一センサ部１ｇ、２ｇ、３ｇと第二センサ部１ｈ、２ｈ、３ｈとの分離が可能である。圧力の測定時において、、第一センサ部１ｇ、２ｇ、３ｇが道具側に固定され、第二センサ部１ｈ、２ｈ、３ｈが人体側に固定される。好ましくは、複数の第一センサ部１ｇ、２ｇ、３ｇが並べられている。好ましくは、複数の第二センサ部１ｈ、２ｈ、３ｈが並べられている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で剪断力の測定が可能な剪断力検出素子、触覚センサー、および把持装置を提供する。
【解決手段】剪断力検出素子２００は、矩形状の剪断力検出用開口部１１１、剪断力検出用開口部１１１の外周縁に設けられる枠部を有するセンサー基板１１と、センサー基板１１上に形成されて剪断力検出用開口部１１１を閉塞する可撓性を有する支持膜１４と、センサー平面視において、剪断力検出用開口部１１１の長辺に沿い、剪断力検出用開口部１１１の内側および外側に跨って、前記支持膜１４上に設けられるとともに、湾曲することで電気信号を出力する剪断力検出用圧電体２１０と、剪断力検出用圧電体２１０および支持膜１４を覆う弾性膜１５と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】少ない個数の光ファイバセンサをエンドエフェクタに付設することにより、該エンドエフェクタが把持する物体の把持力を簡易的に検出できると共に、エンドエフェクタの低コスト化と、前記把持力に関わる演算処理及び演算コストの低減とを実現する。
【解決手段】ＦＢＧセンサ２２は、特定波長の光を反射するグレーティング２４を配列した光ファイバケーブル２０からなる応力検出センサ部２６と、光ファイバケーブル２０の長手方向に沿って配置され且つ前記長手方向とは異なる方向に付与された応力を前記長手方向と平行な方向の応力に変換してグレーティング２４に伝達する応力方向変換部２８ａ、２８ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】メンブレンの破損を防止できる圧力センサー、センサーアレイ、圧力センサーの製造方法を提供すること。
【解決手段】圧力センサー６は、開口部６１Ａを有する支持体６１と、支持体６１上に設けられて、開口部６１Ａを閉塞するダイアフラム７を有する支持膜６２、及びダイアフラム７上に設けられて、撓むことで電気信号を出力する圧電体６３を備えた圧力検出部９と、圧力検出部９上に、支持膜６２の膜厚み方向に沿う筒状の空洞部６４Ａを有するとともに、支持膜６２を膜厚み方向から見た平面視において、空洞部６４Ａの筒状内周壁６４１が開口部６１Ａと重なる位置、または開口部６１Ａよりも外側に形成される枠体６４と、枠体６４を閉塞する封止膜６５と、空洞部６４Ａの筒状内周壁６４１、封止膜６５、圧力検出部９により形成される内部空間６６に充填されるシリコーンオイル２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構造で、物体から付与される応力を複数の方向（垂直方向、水平方向）に分離して検出することが可能になると共に、前記水平方向の応力（水平応力）の検出感度を容易に向上する。
【解決手段】ＦＢＧセンサ２２において、応力方向変換部３０は、外部から応力が付与される平坦部３２と、平坦部３２から光ファイバケーブル２０に橋架された応力伝達部３４ａ、３４ｂとを有する。平坦部３２には、複数の突起４４及び溝４５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構造で、物体から付与される応力を複数の方向（垂直方向、剪断方向）に分離して検出する。
【解決手段】ＦＢＧセンサ２２において、応力方向変換部３０は、外部から応力が付与される平坦部３２と、平坦部３２から光ファイバケーブル２０に橋架された応力伝達部３４ａ、３４ｂとを有する。グレーティング２６で反射した反射光が通過する光ファイバケーブル２０の傾斜部４０ｂは、応力伝達部３４ｂを構成する傾斜部３６に沿って配置されている。 （もっと読む）