【課題】構造を過度に複雑化することなく、干渉計部の微小な移動を可能とする干渉対物レンズの技術を提供することを課題とする。
【解決手段】干渉対物レンズ１０は、複数のレンズを内部に収納し、光学装置本体に取付けられる固定筐体１１と、干渉計部１３の少なくとも一部を保持し、固定筐体１１に対して摺動する摺動枠１５と、固定筐体１１に螺合する第１のピッチの雌ねじ１４ａと、摺動枠１５に螺合する第１のピッチと異なる第２のピッチの雌ねじ１４ｂと、を有する調整環１４と、を含んでいる。固定筐体１１と調整環１４と摺動枠１５が差動ねじ機構として機能することにより、干渉計部１３を光軸ＡＸの方向に微小に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置のための変位測定システムを較正するための改善された方法を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置の可動物体の第１方向の変位を測定放射ビームおよびリフレクタを使って測定するように動作可能な干渉型変位測定システム。リフレクタは、実質的に平面的で、かつ第１方向に実質的に垂直である。較正は、可動物体の角位置の第１組の測定値を使って得られる。測定ビームの位相オフセットが影響を受ける。可動物体の角位置の第２組の測定値が得られる。干渉型変位測定システムは、第１および第２組の測定値に基づいて較正される。 （もっと読む）

【課題】被測定物までの絶対距離を良好に算出できる絶対距離測定方法を提供する。
【解決手段】絶対距離測定方法は、被測定物が静止した状態で、共振器長を変化させて、レーザ光の波長を変更する波長変更工程Ｓ１Ａ，Ｓ１Ｄ，Ｓ１Ｇと、レーザ光の発振周波数が複数の飽和吸収線の各周波数にそれぞれ合致した各時点での各干渉信号の位相を検出する位相検出工程Ｓ１Ｂ，Ｓ１Ｅ，Ｓ１Ｈと、複数の飽和吸収線の各周波数と各干渉信号の位相とに基づいて、被測定物までの第１の絶対距離を算出する第１絶対距離算出工程Ｓ１Ｊとを備える。 （もっと読む）

【課題】干渉計測システムなどの振動感知システムのために、データ取得中は音響ノイズを最小限にしながら、環境制御をするための方法およびシステムの提供。
【解決手段】計測機器を含む振動感知計測システムのために環境制御を提供するための装置であって、前記振動感知計測システムを囲う熱的に安定したミニ・エンバイロメントを提供するための手段と、音響ノイズおよび振動から生じる前記振動感知計測システムの測定誤差を最小限にするための手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】干渉計を利用した測長において、環境変動により測定光路上の光学窓の厚みが変動しても影響の小さい測長装置を提供する。
【解決手段】測定光路上に、内部が真空で両端に光学窓１０ｂ、１０ｃを有する真空管１０を配置する。各光学窓１０ｂ、１０ｃは、厚みが異なる２つの部分を有する構成とする。各光学窓１０ｂ、１０ｃの厚みが異なる部位へ２本の測長レーザ２ａ、２ｂの測定光を入射させ、測定ミラー５でそれぞれ反射させて、参照ミラー６による参照光と干渉させる。測長レーザ２ａ、２ｂによる２つの測長値を用いて、環境変動に起因する光学窓１０ｂ、１０ｃの厚み変化による光路長変動の影響を除去した測長を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】環境温度が変化しても干渉縞強度が低下することなく、高精度の測定を行うことのできる干渉対物レンズユニット及び当該干渉対物レンズユニットを備えた光干渉測定装置を提供する。
【解決手段】対物レンズ３１と、参照ミラー３２ａの設置された透明部材３２と、対物レンズ３１からの光を分岐させると共に、参照光と測定光とを合成して干渉光として出力させる分岐合成部材３３と、少なくとも対物レンズ３１を保持し、第１の線膨張係数を有する材料により形成される第１保持枠３４と、少なくとも透明部材３２を保持し、第２の線膨張係数を有する材料により形成される第２保持枠３５と、を備え、所定の使用環境温度の範囲内において使用環境温度に変化が生じた場合、第１保持枠３４と第２保持枠３５との熱伸縮性の差により、対物レンズ３１の焦点位置のずれが補正される。 （もっと読む）

【課題】
光干渉を用いた変位計測装置において、プローブ光路と参照光路とが空間的に分離して
いるため、空気の揺らぎ等による温度分布や屈折率分布、あるいは機械振動が生じた場合
、両光路間で光路差が変動し、測定誤差となってしまう。
【解決手段】
プローブ光の光軸と参照光の光軸を外乱の影響を受けない距離まで近接させて、プロー
ブ光を対象物に、参照光を参照面に各々照射し、その反射光同士を干渉させ、生じた干渉
光から対象物の変位量を求める （もっと読む）

【課題】光の波長の変化による位相のずれを補償し、位相の観測・位相の検出に適した光干渉計を実現する。
【解決手段】外部入力光を２つの光路の光に分ける第１のビームスプリッタ１０と、一方の光路に挿入したファラデー効果を利用した透過型の可変光位相器１２と、２つの光路に分けた光を再度重ね合わせる第２のビームスプリッタ１４を具備している。可変光位相器は、入力した直線偏光を円偏光に変換する第１の四分の一波長板２０と、その円偏光を、偏光面を回転させながら透過させる可変ファラデー回転子２２と、それを透過した円偏光を直線偏光に変換して出力する第２の四分の一波長板２４を備え、この第２の四分の一波長板から出力する光の位相を、可変ファラデー回転子のファラデー回転角に応じて変化させる構造とする。そして、第２のビームスプリッタは、２つに分けた他方の光路の光と前記可変光位相器の透過光とを重ね合わせて外部出力光とする。 （もっと読む）

【課題】ゴーストのない高精度な光干渉観測を可能にする。
【解決手段】第１の台形プリズム１３１、第１の直角プリズム１３２、第２の直角プリズム１３３、第３の直角プリズム１３４、第２の台形プリズム１３５、第４の直角プリズム１３６を貼り合わせて一体化した構造のプリズムユニットを用いる。上記第１の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第１の直角プリズムの斜面に貼り合わされ、上記第２の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第４の直角プリズムの斜面に貼り合わされている。また、上記第２の直角プリズム及び第３の直角プリズムは、各斜面の一方の面に偏光ビームスプリッタ膜が形成され、上記偏光ビームスプリッタ膜を挟んで各斜面が貼り合わされている。 （もっと読む）

【課題】 安定且つ高速に被検体の光学プロファイルを測定することができる周波数偏移干渉計及びその方法を提供する。
【解決手段】 連続同調型光源１６により被検体１２の光学プロファイルを測定する周波数偏移干渉計１０が提供される。被検体１２の一連の干渉画像が捕捉されると共に、干渉画像が形成された時のビーム周波数が取得される。捕捉された被検体の干渉画像から、監視ビーム周波数が所定のビーム周波数間隔パターンに略一致する限定された数の干渉画像が選択される。選択された干渉画像に基づいて更に処理が継続される。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジの広い演算器が不要な干渉型光ファイバーセンサーシステムを提供する。
【解決手段】物理量を検知するセンシングファイバー１１ａおよびリファレンスファイバーを有する干渉計と、前記物理量の測定信号３を含む干渉光３２ａを、電気信号に変換するＯ／Ｅ変換器３３と、前記電気信号から、正弦波成分および余弦波成分を抽出するＡＭ復調器５１ａ、５１ｂと、該正弦波成分および該余弦波成分を用いて逆正接演算を行い、前記測定信号を含む信号を出力する逆正接演算器５３と、前記逆正接演算器から出力された信号の所定時間毎の差分を算出し、該差分信号を出力する差分器６１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料室の熱変形に依らず、高精度にステージ位置を検出することが可能な試料ステージを備えた荷電粒子線装置の提供にある。
【解決手段】上記目的を達成するために、試料ステージの位置を検出するためのレーザ干渉計を備えた荷電粒子線装置において、前記レーザ干渉計は、レーザを放出する光源と、前記試料ステージに設置される計測光用ミラーと、前記光源が設置される前記荷電粒子線装置の試料室壁面と対向する壁面に設置される参照光用ミラーと、前記光源から放出されるレーザを、計測光と参照光とに分割するビームスプリッタとを備え、当該ビームスプリッタと前記計測光用ミラーとの間に、１／４λ波長板を備えていることを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ドリフトをほとんど発生させることなく、動いているターゲットを正確に測定するＡＤＭを提供する。
【解決手段】絶対距離計（ＡＤＭ）は、放出光を放出する光源を含み、スイッチ制御信号に応答して少なくとも２つの位置間で切り換わる少なくとも１つの光スイッチを有するファイバ交換網２００を含み、これらの位置の第１の位置は放出光がファイバ交換網からターゲットの方へ放出され、測定光としてファイバ交換網内へ後方反射される測定モードにし、これらの位置の第２の位置は光ビームがファイバ交換網内の基準光を含む基準モードにする。ＡＤＭは、時間的に間隔を空けて多重化した形で測定および基準光を検出し、測定ビームおよび反射された光ビームの電気信号を提供する単一チャネル検出器、それに応答した電気信号を提供する単一チャネル信号処理装置、その電気信号を処理してターゲットまでの距離を決定するデータ処理装置４００とを含む。 （もっと読む）

【課題】光波干渉光学機器の使用者の作業効率を向上させることができるようにする。
【解決手段】温度検出部１０１は、温度センサ６１_１ないし６１_５のそれぞれから供給される検出信号に対応する温度、湿度、気圧等の環境パラメータを検出し、比較演算部１０２は、環境パラメータに基づいて、光波干渉光学系内の空気が揺らいでいるか否かを判定する。装置制御部１０３は、空気が揺らいでいると判定された場合であって、標本画像の取得ができないと判定された場合、CCDカメラ１４による標本の撮像を停止させるとともに、表示部１０４に、「ＮＧ」である文字列を表示させる。本発明は、光波干渉光学系を有する顕微鏡に適用することができる。 （もっと読む）

波長選択器５が広帯域光源４の波長を選択する。光導波器ＢＳ１、ＢＳ２が、波長選択器からの光を測定経路に沿ってサンプル表面の領域に向けて誘導すると共に基準経路に沿って基準表面に向けて誘導し、サンプル表面の領域によって反射された光及び基準表面によって反射された光が干渉してインターフェログラムを生成するようにしている。コントローラ２０が、波長選択器を制御して、波長選択器によって選択される波長を変更する。記録器６３が、連続した画像を記録し、各画像は、波長選択器によって選択された波長のそれぞれ１つによって生成されたインターフェログラムを表す。データプロセッサ１８、１８０が、記録された画像を処理して、サンプル表面の少なくとも一部の表面プロファイル及び表面高マップのうちの少なくとも一方を作成する。基準経路を制御して、振動、熱的効果及び乱流のような環境影響を補償することができる。データプロセッサは、グラフィックス処理装置を用いて、ピクセルデータを並列に処理することを可能にすることができる。
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【課題】二光束の光路長差が安定に一定となる構成を備えることにより光源波長の変動をｐｍ以下の精度、分解能で測定可能な波長ずれ測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の波長ずれ測定装置は、光源から射出される光束の波長の変動量を測定する波長ずれ検出センサＷＬＣＤ１であって、光源から射出された光束を複数の光束に分割し、複数の光束のうち二光束を合成して干渉光を生成するビームスプリッタＢＳ２と、ビームスプリッタＢＳ２により分割された二光束の光路長差が一定になるように設けられたスペーサ部材ＳＰと、ビームスプリッタＢＳ２により生成された干渉光を検出する複数の光電センサＰＤＡ＋、ＰＤＢ＋とを有し、複数の光電センサＰＤＡ＋、ＰＤＢ＋は、干渉光に基づいて互いに位相がずれた複数の干渉信号を出力し、複数の干渉信号を用いて波長ずれ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】
光干渉を用いた変位計測装置において、プローブ光路と参照光路とが空間的に分離して
いるため、空気の揺らぎ等による温度分布や屈折率分布、あるいは機械振動が生じた場合
、両光路間で光路差が変動し、測定誤差となってしまう。
【解決手段】
プローブ光の光軸と参照光の光軸を外乱の影響を受けない距離まで近接させて、プロー
ブ光を対象物に、参照光を参照面に各々照射し、その反射光同士を干渉させ、生じた干渉
光から対象物の変位量を求める （もっと読む）

【課題】環境温度が変化した場合でも、物体の遠近を精度良く判定する。
【解決手段】反射型光電スイッチは、半導体レーザ１と、レーザ１から放射されたレーザ光と戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出するフォトダイオード２および電流−電圧変換増幅部５と、干渉波形から物体１２までの距離が距離しきい値より遠いか近いかを判定する周期分別部７および判定部８と、干渉波形の周期の度数分布を作成し、反射壁面１１との距離に対応する干渉波形の周期の規定値をＴｂとしたとき、度数分布から規定値Ｔｂ以下の所定の範囲にある周期の度数の総和Ｎａと規定値Ｔｂ以上の所定の範囲にある周期の度数の総和Ｎｂを求め、ＮａとＮｂが等しくなるようにレーザ１の発振波長変調の搬送波の振幅または周波数を調整する調整部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】高価な装置を用いずに、干渉縞のバイアス、振幅および位相を、ユーザが使用環境において容易に校正でき、測定精度を向上できる形状測定装置を提供すること。
【解決手段】同時撮像型の斜入射干渉計である形状測定装置１は、光の波長を変えられる波長可変光源１１を備える。また、光源１１からの波長を変化させる光源制御部と、撮像部３５Ａ〜３５Ｃごとに光源１１の波長を変化させて取得された複数の干渉縞に基づき、当該バイアス、振幅および位相の各情報を校正する校正用制御部と、測定対象物２０の形状を測定する際に、撮像部３５Ａ〜３５Ｃで同時に取得され異なる位相差を付与された複数の干渉縞と、前記バイアス、振幅および位相の各情報とに基づいて、測定対象物２０の形状情報を解析する解析部とを有する測定制御部４０を備える。 （もっと読む）

【課題】
ゴースト光の影響を抑制した高精度の干渉計を提供する。
【解決手段】
光源装置１からの光をリファレンス光及び測定光に分割するＰＢＳ２と、ＰＢＳ２で分割されて第１の方向から入射するリファレンス光を反射するリファレンスミラー４ａと、ＰＢＳ２で分割されて第２の方向から入射する測定光を反射する測定ミラー４ｂと、ＰＢＳ２を介して、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂからの反射光を入射するレンズ系６と、レンズ系６からの光を反射する反射素子５と、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂのそれぞれに二度照射して合波された光を受光する受光素子１６とを有し、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂは、反射素子５と共役関係にあり、リファレンスミラー４ａ及び測定ミラー４ｂの少なくとも一つは、その法線方向が第１の方向及び第２の方向とは異なるように傾いて配置されている。 （もっと読む）