【課題】参照面と被検面との間の距離の測定に有利な技術を提供する。
【解決手段】光源からの光を２つの光に分割して、一方の光を参照面に入射させ、他方の光を被検面に入射させ、前記参照面で反射された光と前記被検面で反射された光との干渉光を検出する検出部と、距離を求める処理を行う処理部、前記光源からの光の波長を固定しての干渉光である第１の信号と、前記光源からの光の波長を連続的に変更させながらの干渉光である第２の信号、前記第２の信号を周波数解析して前記第２の信号に含まれる周期誤差を算出し、前記第１の信号に含まれる周期誤差と前記第２の信号に含まれる周期誤差との対応関係を表すテーブルを用いて、前記算出された前記第２の信号に含まれる周期誤差に対応する前記第１の信号に含まれる周期誤差を特定し、前記第１の信号から前記特定された周期誤差を減算し、前記参照面と前記被検面との間の光路長に対応する位相を求める。 （もっと読む）

【課題】参照光の位相設定精度に限界がある場合でも、測定対象物による位相シフト量を用いた計測する光位相測定装置を提供する。
【解決手段】コヒーレント光源８１、光源よりの光波を２分岐する光分岐手段８２、光波のうちの参照光波８９を周波数ωｍで位相変調する位相変調手段８３ａ、分岐された後に被測定対象物８５を透過又は反射した信号光波と位相変調された参照光波８９とを合成する光合成手段９７と、合成された干渉光の強度を測定する光強度測定手段８８を有する光干渉計を備えた光位相測定装置で、干渉光の強度を一定の時間に亘って取得し、取得した時系列の強度信号をフーリエ変換し、位相変調の周波数ωｍの整数倍の周波数成分のうち少なくとも２つの成分の光強度を演算して、位相変調手段の変調指数ｍを同定して、該変調指数ｍに基づいて前記被測定対象物８５による信号光波の位相変化量φを算出する演算手段９５を備えた光位相測定装置。 （もっと読む）

【課題】低コストでありながら操作性及び機能の優れた干渉対物レンズ装置、及び当該干渉対物レンズ装置を備えた光干渉測定装置を提供する。
【解決手段】光出射部１０から出力された光をワークＷに対して収束させる対物レンズ３１と、対物レンズ３１よりもワークＷ側に配される参照ミラー３２と、対物レンズ３１を透過してきた光を、参照ミラー３２を有する参照光路とワークＷを配置した測定光路とに分岐させると共に、参照ミラー３２からの反射光とワークＷからの反射光とを合成して干渉光として出力させる分岐合成部材３３と、参照ミラー３２からの反射光又はワークＷからの反射光の何れか一方の他方に対する光量を調節する光量調節手段（液晶パネル３４及び制御部７０）を備える。 （もっと読む）

【課題】位相変調された干渉信号を検出し、干渉信号の位相を求める信号処理演算を行うことによってナノメータオーダでの分解能で表面形状測定を行うことのできる、表面形状の測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】半導体レーザ光源11からのレーザ光を偏光方向が互いに直交し位相が異なる２つの光の合成光に変換してから回転多面体ミラー32に導き、レンズ33を通過した合成光を構成する２つの光を偏光ビームスプリッタ34により分離してその一方の光を参照面ミラー42、他方の光を被測定物体41の表面に照射する。参照面ミラー42からの反射光と被測定物体41の表面からの反射光を偏光ビームスプリッタ34により再び重ね合わせ、偏光板52を通過させることにより参照面ミラー42からの反射光と被測定物体41の表面からの反射光を干渉させる。 （もっと読む）

【課題】焦点面近傍の散乱体の密度が低い場合であっても、精度よく波面を測定する。
【解決手段】散乱体を含む試料内の焦点面からの戻り光と参照光とを干渉させて発生した試料各部に対応する干渉パターンのコントラストを測定するコントラスト測定ステップＳ２と、コントラスト測定ステップＳ２により測定されたコントラストが所定の閾値以上である高コントラスト領域を抽出する領域抽出ステップＳ３と、領域抽出ステップＳ３により抽出された高コントラスト領域について、高コントラスト領域に対応する干渉パターンを波面データに変換する波面算出ステップＳ４とを含む波面測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 所望の波長範囲で、安定的に発振可能で且つ高速に波長掃引可能な光源装置を提供する。
【解決手段】 発振波長を連続的に変化可能な波長掃引光源装置であって、共振器内に、光を増幅させる光増幅媒体と、該光増幅媒体より放出される光を波長に応じて分散させる第一の手段と、第一の手段により分散した波長の異なる光束同士を平行化させる非集光光学素子で構成された第二の手段と、第二の手段により平行化した光束から所定波長の光束を選択する選択手段と、を備え、前記選択手段により選択された前記所定波長の光束を前記光増幅媒体に帰還させる波長掃引光源装置。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の移動機構を使用せずに高さ方向のダイナミックレンジを拡大可能とする。
【解決手段】本発明の干渉測定装置は、可干渉距離が有限の光束を生成する生成手段（９、２０）と、光束を２つの光束に分岐し、それら２つの光束の一方を測定対象面（２５ａ）へ照射すると共に他方を参照面（２４ａ）へ照射する分岐手段（２２）と、測定対象面を経由した測定光束と参照面を経由した参照光束とを同一光路に統合して統合光束を生成する統合手段（２２、２１）と、分岐手段により分岐される光束の可干渉距離を走査する走査手段（２０）と、可干渉距離の走査位置と統合光束の強度との関係を示す関係情報を取得する測定手段（２７、３０）と、関係情報に基づき、測定光束と参照光束とが干渉する走査範囲と、測定光束と参照光束とが干渉しない走査範囲との境界を、測定対象面の高さ情報として取得する演算手段（３０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象となる物体の位置や姿勢を非接触で高精度に計測、制御する位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置１は、参照光としての光周波数コムと測定光としての光周波数コムとを出射する光源１０と、光源１０から出射された測定光を測定対象４０に取り付けられた反射体４２に照射するヘッド部３０と、光源１０から出射された参照光が入射される参照面３１と、反射体４２で反射されヘッド部３０を介して戻された測定光と、参照面３１から戻された参照光との干渉光に基づく干渉信号を検出する検出部２０と、検出部２０により検出した干渉信号に基づいて参照面３１までの距離を基準にした反射体４２までの距離を求める信号処理部６０と、測定対象４０の位置を変化させるアクチュエータ５０と、信号処理部６０で求めた距離に応じてアクチュエータ５０を制御する制御部７０とを備える。 （もっと読む）

本発明は、制御可能なファブリ・ペロー干渉計に関し、この干渉計は微小機械（ＭＥＭＳ）技術によって製造される。従来技術の干渉計の製造は、犠牲層（１２３）のエッチングの間のミラーの劣化のリスクを含む。本発明による解決法に従えば、ミラーの少なくとも１つの層（１０３、１０５、１１４、１１６）は、ケイ素リッチな窒化ケイ素から成る。この発明的なファブリ・ペロー干渉計においては、ミラー層における酸化ケイ素の使用を回避または減少させることが可能であり、それによりミラーの劣化のリスクが減少する。また、高い粗さのミラー表面を使用することも可能であり、それによりミラーが互いに貼り付いてしまうというリスクが減少する。 （もっと読む）

【課題】安価で高精度な光波干渉計測装置を提供する。
【解決手段】光波干渉計測装置は、複数のスペクトルを有する光束を射出する第１多波長光源２００ａと、第１多波長光源からの光束とは異なる波長を有する光束を射出する第２多波長光源２００ｂと、第１多波長光源２００ａ及び第２多波長光源２００ｂからの光束を分離する偏光ビームスプリッタ６と、第２多波長光源２００ｂからの光束を反射する参照面７と、第１多波長光源２００ａからの光束を反射する被検面８と、第１多波長光源２００ａ及び第２多波長光源２００ｂからの光束の干渉信号を分光する分波器９ａ、９ｂと、第１多波長光源２００ａ及び第２多波長光源２００ｂからの光束の単一波長同士の干渉信号を複数の波長について検出する検出装置１０ａ、１０ｂと、検出装置１０ａ、１０ｂからの信号を処理して参照面７と被検面８との間の光路長差を算出する解析装置１１とを有する。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、縞解析を用いた光応用計測装置の高速化を目的とする。
【解決手段】
縞走査により強度が時間的に振動する信号光を生成し、信号光の振動数と同じ周波数であるが、互いに位相が異なる透過率変化を示す複数の光学素子を通して、複数の検出器により信号光をある時間露光し得られる値を用いて、信号光の振動振幅と位相を求める。
【効果】
従来不可能であった、一回の計測での信号光の振動振幅、位相演算が可能となり、縞解析が高速化できる。特に低コヒーレンス干渉計測においては、振動振幅のピークを求めることが簡単にできることになり大幅な高速化が実現できる。 （もっと読む）

波長選択器５が広帯域光源４の波長を選択する。光導波器ＢＳ１、ＢＳ２が、波長選択器からの光を測定経路に沿ってサンプル表面の領域に向けて誘導すると共に基準経路に沿って基準表面に向けて誘導し、サンプル表面の領域によって反射された光及び基準表面によって反射された光が干渉してインターフェログラムを生成するようにしている。コントローラ２０が、波長選択器を制御して、波長選択器によって選択される波長を変更する。記録器６３が、連続した画像を記録し、各画像は、波長選択器によって選択された波長のそれぞれ１つによって生成されたインターフェログラムを表す。データプロセッサ１８、１８０が、記録された画像を処理して、サンプル表面の少なくとも一部の表面プロファイル及び表面高マップのうちの少なくとも一方を作成する。基準経路を制御して、振動、熱的効果及び乱流のような環境影響を補償することができる。データプロセッサは、グラフィックス処理装置を用いて、ピクセルデータを並列に処理することを可能にすることができる。
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【課題】参照面と被検面との間の光路の幾何学的な距離を高精度に計測することができる計測装置を提供する。
【解決手段】基準面に固定された参照面１１６と、被検物体に配置された被検面１１８との間の距離を計測する計測装置であって、複数の光周波数成分のそれぞれが均等な光周波数差となる光束を生成する光周波数コム生成ユニット１０４と、複数の光周波数成分のそれぞれについて、参照面で反射された光束と被検面で反射された光束との干渉信号を検出して、参照面と被検面との間の光路長に相当する位相を検出する検出ユニット１１２，１２０と、検出ユニットで検出された位相に基づいて、参照面と被検面との間の幾何学的な距離を算出する算出ユニット１２２とを有し、算出ユニットは複数の光周波数成分のそれぞれについて、検出ユニットで検出された位相を光路長に変換し、光路長に対して関数をフィッティングさせることによって、幾何学的な距離を算出する。 （もっと読む）

【課題】偏光変調を用いる干渉計を提供する。
【解決手段】本発明は、コヒーレント光ビームを生成するようになされた光源と、光学的光ビームの位相差を解析するようになされた検出器と、被測定物体を位置決めするための位置決め手段と、光源から物体までの第１の光路と、物体から検出器までの第２の光路とを備え、第１の光路および第２の光路が、物体に近接した共通セクションを有し、第１の経路に光学偏光変調器が配置されている干渉計に関する。
これにより、この種の従来技術の干渉計に伴ういわゆる４分の１波長板のコストおよび他の欠点を回避できる。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑制し且つ変調による影響を解消したレーザ干渉測長装置及びレーザ干渉測長方法を提供する。
【解決手段】レーザ干渉測長装置は、レーザ光の干渉に基づき測長を行う。レーザ干渉測長装置は、変調信号Ｓｇ２にて変調されたレーザ光Ｌ１を生成するレーザ光生成部１０と、レーザ光生成部１０からのレーザ光Ｌ１を移動鏡３０に照射して測長情報を含んだ計測光Ｌ４を得ると共に計測光Ｌ４を参照光Ｌ２と干渉させて受光して測長情報を含んだ電気信号φＡ、φＢを生成する干渉計測部２０と、電気信号を所定周波数に同期するようにサンプリングしてサンプリング電気信号φＡ（ｎ）、φＢ（ｎ）を生成するサンプリング部４０と、信号φＡ（ｎ）、φＢ（ｎ）に基づき測長情報を算出する変位算出部５０と、変調信号Ｓｇ２に基づき、算出された測長情報に含まれる変調成分を除去する変調成分除去部６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】距離測定装置を小型化すること。
【解決手段】距離測定装置は、測定光と参照光を生成する光源１０およびスプリッタ１１と、参照光の光路長を制御する光路長制御手段１２と、検知器１３と、コントローラ１４と、で構成されている。光路長制御手段１２は、強誘電体を材料とし、空孔１２４が一定の間隔で周期的に形成されたフォトニック結晶１２１と、フォトニック結晶１２１の両面に設けられた金属薄膜電極１２２、１２３とで構成されている。金属薄膜電極１２２、１２３を介してフォトニック結晶１２１に電圧を印加することで、フォトニック結晶１２１のフォトニックバンド構造を変化させることができる。したがって、フォトニック結晶１２１に参照光を入射させれば、印加する電圧値に応じて参照光の光路長を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】２色法の原理を利用して異なる波長の同軸２光束が同一光学系を経由（透過および反射）する外乱の自己補償光学系を有するため外乱のある環境下でも安定で、可干渉距離の調整機能も備わっているため可干渉距離の短い光源に対しても適応でき、構造が単純で大幅な小型化が実現でき、調整が不要（または簡便）、さらに安価な光干渉計を構築するため利用することのできる光学装置を提供する。
【解決手段】光源１、光源からの光の一部を波長変換する光学素子または光学系、光源からの光と波長変換された光の位相差を制御できる位相制御用光学素子３または光学系、光源から光と波長変換された光の光路長を制御する光路長制御用光学素子４または光学系を備えており、光源からの光と波長変換された光は同軸２光束で同一光学系を経由（透過および反射）する。 （もっと読む）

本開示の一態様の方法は、顕微鏡を用いて、直交偏光状態を有する複数の成分を含む光を試験対象物に向けるとともに試験対象物から反射された光を検出器に向けること、光の成分間の光路長差（ＯＰＤ）を変化させること、成分間のＯＰＤを変化させながら検出器から干渉信号を収集すること、収集された干渉信号に基づいて試験対象物に関する情報を決定することを備える。 （もっと読む）

【課題】分岐素子の不完全性により生ずる偏光依存性（ＰＤＦＳ）を低減することができる干渉計、及び当該干渉計を備える復調器を提供する。
【解決手段】干渉計１は、入射光Ｌ０を複数の分岐光Ｌ１，Ｌ２に分岐するハーフミラー１２を備えており、ハーフミラー１２で分岐された分岐光Ｌ１，Ｌ２を干渉させるものである。この干渉計１は、分岐光Ｌ１，Ｌ２の光路上に配置され、入射光Ｌ０をハーフミラー１２で分岐する際に生ずる分岐光Ｌ１，Ｌ２間の位相差を補償する位相板１３，１５を備える。尚、位相板は、分岐光Ｌ１，Ｌ２の双方に光路上に必ず配置しなければならないという訳ではなく分岐光Ｌ１，Ｌ２のうちの少なくとも１つの分岐光の光路上に配置されていれば良い。 （もっと読む）

第１光ビーム及び少なくとも第２光ビームを合成して合成光ビームを形成するステップと、周波数ｆの正弦波位相シフトを、第１光ビームの位相と第２光ビームの位相との間に付与するステップと、正弦波位相シフトに応答して、合成光ビームの変調に基づいて少なくとも一つの干渉信号を記録するステップであって、干渉信号が少なくとも３つの異なる周波数成分を含む前記記録するステップと、そして情報を出力するステップとを含方法が開示される。各干渉信号に関して、第１及び第２光ビームの光路長の差に関する情報を、干渉信号の少なくとも３つの異なる周波数成分の強度を比較することにより導出する。
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