【課題】外乱の影響を受けることなく、アクチュエータの操作点とシートの幅方向の計測点との位置対応を高精度に検出することが可能なアクチュエータと計測点対応付け装置、アクチュエータと計測点対応付け方法、およびコンピュータが実行するためのプログラムを提供することを目的とする。
【解決手段】制御装置１９のアクチュエータと計測点対応付け手段は、アクチュエータの操作量を時系列の所定パターンで変化させた場合のシートの厚み変化を計算モデルを使用して予め予測値として算出しておき、所定パターンで複数のアクチュエータを操作した場合に、計測手段で計測される実計測値を取得し、予測値と実計測値との時系列データの相関を算出し、当該相関値に基づいて、各アクチュエータと計測点の対応位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】 大きな凹面および凸面形状をした試料表面に対し、カンチレバーやカンチレバーを保持する部材などの干渉がなく、また、探針表面の接触位置が変わることなく、表面粗さ測定誤差が極力少なくなるようにして、精度よく測定ができる表面情報計測装置を提供すること。
【解決手段】 大きな凹面および凸面形状をした試料５ａまたは５ｂ表面に対して、先端に探針（プローブ）を有するカンチレバー１３を用いて試料形状を測定する表面計測装置において、試料５ａ（５ｂ）側に試料移動ステージとカンチレバー１３側に微動機構回転ステージ１８とを備えて、大きな凹面５ｂおよび凸面５ａ形状の試料表面の位置に関わらず、探針表面状態およびカンチレバーたわみに係わる、探針が受ける原子間力の方向が変わらないように調整して、試料表面形状を測定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、測定尺を監視する際に、位置検出ユニットを用いて位置の値を作る位置測定装置の機能をテストする方法をさらに改善することである。
【解決手段】 補正値（Ｎｐｖ１，Ｎｐｖ２）が、位置測定装置（１）において二つの異なるメモリアドレス下でメモリされていることと、 位置測定装置（１）が、制御値と所属する位置の値の間の一定の数学的関係を形成するために、一方のメモリアドレス下の補正値（Ｎｐｖ１）までアクセスし、評価ユニット（３）が、制御値と所属する位置の値の間の数学的関係の存在をテストする際に、もう一方のメモリアドレス下の補正値（Ｎｐｖ２）までアクセスすることにより解決される。 （もっと読む）

【課題】レーザクラッド加工における金属粉末の落下位置を物理的に計測するための金属粉末落下位置計測装置粉末落下位置計測装置を提供する。
【解決手段】仕切り板１１によって複数の空間１２に仕切られ、各空間１２には目盛り１５の付いた透明窓１４を設けて、各空間１２に投入された金属粉末量を計測できるようにした。各空間の金属粉末量の割合から金属粉末の落下入りのずれ量が計測できる。 （もっと読む）

【課題】ウエハＷの位置合わせを精度良く行う。
【解決手段】ウエハＷ上の複数のショット領域ＳＡ_p各々の設計上の位置座標（ｘ，ｙ）を独立変数とし、ステージ座標系におけるそのショット領域ＳＡ_pの位置に関する情報を従属変数とするモデル式（ウエハＷ上の複数のショット領域ＳＡ_pの配列を規定するモデル式）の各項の係数を求めるために位置座標を計測するサンプルショット領域ＳＡ_gとして、同心円Ｃ１、Ｃ２上に均等に配置されたショット領域ＳＡ_pを選択する。このようにすれば、ウエハＷの略中心を通る任意の直線方向に沿って、サンプルショット領域ＳＡ_gを均等に点在させることができるため、それらの計測結果から、統計的手法を用いて、上記モデル式の各項の係数を求める際に、そのモデル式により表現されるモデルと、真のモデル式との推定誤差を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 倣いプローブの校正のための自動化が可能な校正プログラムと校正方法を提供すること。
【解決手段】 校正装置を構成する計算機に実行させることにより、被測定物の表面性状を少なくとも２軸方向で測定する倣いプローブを校正するプログラムであって、各軸測定範囲を含む校正条件を入力する準備ステップと、真直測定を行って誤差を収集するステップと、指示誤差と真直度誤差と回転誤差とを算出する誤差算出ステップと、直交データを収集する直交データ収集ステップと、直交誤差を算出する直交誤差算出ステップと、を計算機に実行させる。 （もっと読む）

【課題】 板状部材の形状の検出精度を高めると共に，上記板状形状の幅方向への板ズレ，板幅長さ及び板端部の位置を高い精度をもって検出することを可能とすること。
【解決手段】 局所的な荷重の周辺部への荷重変化を来たす層状部材１２によって荷重センサーＥと共に外周面が被装されたセンサーローラ４の表面に板状部材１が接触することにより，少なくとも隣接する二以上の荷重センサーＥで検出された上記板状部材１からの荷重に基づいて上記板状部材１の形状を検出するよう構成する。 （もっと読む）

精度及び正確度に基づいて全体の測定不確実性（ＴＭＵ）を求めることによって、測定装置を評価し、最適化する方法及び関連したプログラムである。ＴＭＵは、線形回帰分析に基づいて、正味残余誤差から基準測定システムの不確実性（Ｕ_ＲＭＳ）を除去することによって計算される。ＴＭＵは、被試験測定システムが製品の実際のばらつきを検出する能力を有するかどうかについて客観的かつより正確に表示する。
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膜厚を計測するための方法は、瞬間的な加熱に続く膜の反射率の過渡的な変化をモニターすることに基づく。本方法は、膜の温度上昇を引き起こすように励起パルスで膜表面を瞬間的に照射するステップと、反射されたプローブビームを生成するために膜表面から反射するようにして、プローブビームで膜表面を照射するステップと、反射されたプローブビームの強度における時間に依存する変化を検出するステップと、計測された強度の変化に基づいて信号の波形を生成するステップと、信号の波形に基づいて膜厚を決定するステップとを有する。
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本発明によってはセンタリング装置、特に探査測定装置（１）のためのセンタリング装置（１１）が提案されている。このセンタリング装置は装置軸線（７）を規定する装置保持体（３）と、シャフト軸線（４３）を規定する保持シャフト（４１）と、装置保持体をシャフト軸線に対し平行な装置軸線でシャフト軸線に対し半径方向に移動可能ではあるがしかし固定可能に保持シャフトに保持するセンタリング保持装置とを有している。センタリング保持装置（４５）はシャフト軸線（４３）と装置軸線（７）を中心として分配された、前記軸線（７，４３）に沿って延びる１つの平行四辺形リンク領域（５９）又は複数の平行四辺形リンク領域を有する平行四辺形案内装置として構成されている。このような平行四辺形案内装置は保持シャフト（４１）及び／又は装置保持体（３）に一体に統合されて成形されることができる。これは製作費用を低下させる。平行四辺形案内装置の周方向に分配された調節ねじ（６９）はシャフト軸線（４３）を装置軸線（７）に対して調整することを可能にする。
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【課題】 測定子の移動精度を容易に確保でき、高精度な３次元形状の測定を可能としながら、コストの低減が可能な円すい面形状測定装置を提供する。
【解決手段】 円すい面形状を有する被測定物Ｗを、その円すい面の中心軸が回転中心に一致するように支持するターンテーブル１と、被測定物Ｗの表面に接触または近接して被測定物表面の変位を測定可能な測定子２を設ける。ターンテーブル１に支持された被測定物Ｗの円すい面の母線と平行に上記測定子２を移動させる測定子移動機構３を設ける。測定子移動機構３は、ターンテーブル１に対する径方向移動体９と、この径方向移動体に傾斜角度変更自在に支持された傾動体１０とを備え、この傾動体１０にエアースライド装置５を介して測定子２を支持する。ターンテーブル１は、静圧空気軸受３１で支持する。 （もっと読む）

走査方法が開示され、それは、試料ホルダ（１４）および相対移動可能な走査デバイス（１８）を有する走査システム（１０）を備え、試料ホルダ（１４）に配置された対象（２２）の少なくとも一部の走査を行い、試料ホルダの向きを確定し、その向きを使用して走査からのデータを解釈する工程を含み、それによって、その向きは、試料ホルダの表面の走査からのデータを使用して確定される。その向きは、試料ホルダの面（５６ｂ）を画定することによって確定でき、この面は、境界（７６ａ、７６ｂ）によって制限されてもよい。

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