【課題】改良した校正機構によって工具ホルダでより正確な校正を行うことができる測定装置につき、当該測定装置で測定される工具を合わせるための工具ホルダを提供する。更に、そのような測定装置と、その測定装置の校正に適した方法を提供する。
【解決手段】測定装置で測定される工具を合わせるための工具ホルダは、当該工具ホルダの垂直軸を規定する対称軸２２を有する固定可能な本体２０と、当該工具ホルダに取り付けられる工具用に規定された工具のゼロ点２３と、前記工具の前記ゼロ点２３から所定の水平距離及び所定の垂直距離を隔てた校正機構２４と、を備え、前記校正機構２４は、前記工具の前記ゼロ点２３を含む垂直線の所定高さに半円状外縁部を備え、前記半円状外縁部の中心角が１３５°を上回るように構成されている。 （もっと読む）

【課題】物体に対するプローブの姿勢を、プローブを用いて物体をプロービングすることによって求めるためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】ラオ・ブラックウェル化パーティクルフィルタリングを使用して姿勢の確率を求めるステップであって、姿勢のロケーションの確率が前記パーティクルのロケーション２１２によって表され、姿勢の配向の確率が、各パーティクルのロケーションを条件とするパーティクルの配向にわたるガウス分布２１５によって表され、姿勢の確率が特定の姿勢の周りに集中するまで、後続のプロービングごとに実行されるステップと、特定の姿勢に基づいて物体に対するプローブの姿勢を推定するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】棒状のセンサホルダに取り付けた３つのセンサにおける鉛直方向の位置ズレを抑制する。
【解決手段】予め決められた孔ＨＬ１〜ＨＬ３にセンサＳＳ１〜ＳＳ３を固定して検出軸方向を鉛直方向に向けた時の、センサホルダＳＨのたわみ量は、２点支持の梁の集中質量と分布質量を考慮して計算できるので、３つのセンサＳＳ１〜ＳＳ３の固定位置の重力によるたわみが等しくなる位置が定まるため、孔ＨＬ１〜ＨＬ３にセンサＳＳ１〜ＳＳ３を配置するのみで、センサＳＳ１〜ＳＳ３の鉛直方向のズレがゼロとなる。これにより精度の良い測定が可能となる。 （もっと読む）

【課題】長尺大面積の直線形状や、面形状の測定における逐次３点法の零点調整を、工作機械やそれに類似する測定システム上に簡便に実現することができ、反転法と異なり長尺の被測定物の被測定対象面を置き直すことがなく測定ができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】
形状測定装置は、変位センサ４１〜４３の検出感度軸方向Ｋが水平面に含まれるとともに互いに反対方向となる第２姿勢位置Ｄ２及び第３姿勢位置Ｄ３、及び水平面と直交する鉛直方向に向ける第１姿勢位置Ｄ１を取り得るようにホルダ３８を回転自在に支持する姿勢可変機構を備える。形状測定装置は基準幅直定規を変位センサ４１〜４３の配列方向を走査方向として、該走査方向に走査測定することで得られる幅真直形状と基準幅直定規の校正値を比較することで変位センサ４１〜４３の零点調整誤差を算出し、被測定物の断面形状を逐次３点法で測定して、零点調整誤差に基づき校正する。 （もっと読む）

【課題】物体の角度を測定する際の基準位置を容易に設定する。
【解決手段】十字線が示されるレチクル２６を保持し、ドーナツ型のスケール円板２５が上面の端部に固定されている回転筒２４が、レンズ２３の光軸Ａ回りに回転可能となるようにケース２１の内部に設置されている。基準ピン２９は、回転筒２４の基準穴２４Ａに適合し、回転筒２４を基準位置に設定したときに、基準穴２４Ａに挿入することが可能である。エンコーダセンサヘッド２７は、スケール円板２５の回転量および回転角を検出し、カウンタ表示部３４は、検出された回転量および回転方向に基づいて、表示値がリセットされたときのスケール円板２５の回転方向の位置を基準にして、スケール円板２５の回転角を表示する。本発明は、例えば、顕微鏡用のデジタルプロトラクタに適用できる。 （もっと読む）

【課題】車両運動の状態に関わらず、安定してセンサのドリフト量を推定することができるようにする。
【解決手段】姿勢角オブザーバ２４によって、各センサの検出値に応じたセンサ信号に基づいて、車体の鉛直軸に対する姿勢角の微分量を算出する。運動方程式微分量算出手段２６によって、センサ信号及び姿勢角オブザーバ２４によって推定された姿勢角に基づいて、車両運動の運動方程式より得られる姿勢角の微分量を算出する。ドリフト量推定手段２８によって、センサ信号のセンサドリフト量を考慮したときに、姿勢角オブザーバ２４により算出された姿勢角の微分量と、運動方程式微分量算出手段２６により算出された姿勢角の微分量にセンサドリフト量を考慮した値とが等しくなる関係を用いて、各センサ信号のセンサドリフト量を推定する。ドリフト量補正手段２２によって、推定されたセンサドリフト量に基づいて、各センサ信号を補正する。 （もっと読む）

【課題】長尺の断面直線形状や面形状の測定における水準器と多点法の利点だけを有効に使い、大面積の被測定面を迅速に高精度に測定できる測定装置を提供する。
【解決手段】被測定試料の置かれたステージと多点法プローブを保持するセンサホルダが互いに相対的に移動をして直線形状を走査測定する装置において、移動する側のセンサホルダまたはステージの走査方向の傾斜角を測定することの出来る水準器を備えていて、前記水準器によって走査移動の開始点と終了点での前記移動側物体の傾斜を測定することで、多点法プローブのゼロ点調整誤差をその場校正する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成で精度の高い動き測定を行う。
【解決手段】動き測定装置として機能するＰＣのプロセッサは、角速度センサおよび加速度センサから角速度および加速度をそれぞれ繰り返し取得し、取得された角速度を積算していく。そして、取得された加速度が加速度条件を満足したとき、積算結果をリセットする。 （もっと読む）

【課題】複数のセンサのドリフトが生じた後の零点誤差の補償を容易に行うことができる多点プローブの零点誤差の変動検出方法を提供する。
【解決手段】
多点プローブの零点誤差の変動検出方法は、センサユニット２２０をスピンドルにて回転されている状態の試料の測定面に相対するように配置して、試料が１回転する間において、試料が所定回転角度回転する毎に複数の変位センサＡ，Ｂ，Ｃから出力される試料の測定面における同心円に沿う形状値及び零点誤差を含む測定値をＣＰＵ３１０に読取りさせて記憶装置３４０に記憶させる。記憶装置３４０が記憶した、同一の試料に関する新しい測定値と古い測定値とに基づいて、零点誤差の変動量を算出する。 （もっと読む）

【課題】多点プローブにおいて、複数のセンサのドリフトが生じた後の零点誤差の補償を容易に行うことができる多点プローブの零点誤差関連値記録装置を提供する。
【解決手段】
零点誤差関連値記録装置は試料を回転させるスピンドルと、複数の変位センサＡ，Ｂ，Ｃを含む真直形状測定用のセンサユニット２２０を試料の測定面に相対するように支持するセンサキャリッジ２３０を備える。試料が所定回転角度回転する毎に変位センサＡ，Ｂ，Ｃから、試料の測定面における同心円に沿う形状値ｆ（ｒ_F，θ），ｆ（r₀，θ），ｆ（r_R，θ）及び零点誤差を含む測定値をＣＰＵ３１０が読取り、読取りした形状値及び零点誤差を含む測定値を記憶装置３４０に記憶する。 （もっと読む）

【課題】ピッチング誤差やローリング誤差を抽出でき高精度な測定を行える被測定面の測定方法を提供する。
【解決手段】被測定面を回転させる場合における回転軸線の振れに相当するティルトモーション誤差は、被測定面を高精度に測定する上で除去すべきでものである。従来技術によれば、かかるティルトモーション誤差を簡易に除去する方法がなかった、これに対し本発明によれば、前記被測定面を備えた部材を回転させながら、前記第１の２次元角度センサにより前記第１の測定点の面法線角度を２次元で測定し、前記第２の２次元角度センサにより前記第２の測定点の面法線角度を２次元で測定し、前記第１の２次元角度センサの測定値に基づいて、前記第２の２次元角度センサの測定値からティルトモーション誤差を排除することができる。 （もっと読む）

システム、方法、装置及び製品は、ガラス基体等といった測定対象についてのベッド・オブ・ネイル式の形状測定ゲージにおけるピンの高さ調節の系統的な計算及び実行に関し、特に、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用板ガラスの製造に用いられるガラス基体等の物体の表面の無重力形状を測定するためのベッド・オブ・ネイル式ゲージの使用に関する。１つ以上の実施形態は、測定中に表面を支持するよう動作可能な複数のピンを備え得る。各ピンは、測定信号を送るよう動作可能なロードセルと、調節信号を受け取り、該調節信号を受け取ったらピンの高さ調節を実行するよう動作可能な高さ調節器とを備える。ピンの高さ調節の実行により、表面が各ピンに及ぼす測定された力が、無重力形状に対応する目標とする力に近づくよう、ピンが系統的に配置される。
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【課題】 簡易な構成で、精度良く膜厚測定可能な膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】 膜厚センサ２０によって測定されたベルト１２の膜厚測定結果について、シャフト変位量測定用センサ１６、及びシャフト変位量測定用センサ１８の検知信号に基づいてもとめたシャフト１４の長手方向の水平方向に対するゆがみに基づいてゼロ点補正を行う。 また膜厚センサ２０によって測定されたベルト１２の膜厚測定結果について、膜厚測定装置内１０の環境温度に応じた基準環境温度に対する膜厚変動値に基づいて補正を行うことができるので、環境温度の変動による膜厚測定センサ２０の測定結果の変動を抑制することができ、精度良く膜厚を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 遊び分を除外した真の操舵量を検出することのできる操舵量検出方法およびその装置を提供する。
【解決手段】 ステアリングホイール１の操舵量を検出する方法であって、所定時間刻みでステアリングホイール１が回転された角度を検出すると共にステアリングホイール１が中立域内に位置するかどうか検出し、検出された角度のうちステアリングホイール１が中立域内に位置するときに検出された角度分から所定角度をキャンセルする補正演算を行って、その補正された角度を操舵量とする。 （もっと読む）

【課題】 部品を搭載したシャーシの基準面に対する部品の測定面の相対的な高さを正確に求めることが可能な高さ測定装置を提供する。
【解決手段】 シャーシ１を三箇所で支持する支持ピン３２ａ，３２ｃと、シャーシ１を位置決めする位置決めピン３３ａと、基準面９および測定面１０の高さを計測する計測器３５とが設けられ、部品２の荷重Ｗが作用する荷重作用部１４に、部品２の荷重Ｗと同等の押上げ力Ｆａをシャーシ１の下方から上向きに付与することによって、シャーシ１の下方への変形を矯正する矯正手段３９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】接触式三次元形状計測機の３軸移動機構等を非接触式として利用できることに着眼して、非接触式位置センサを代わりに取付けて転用による非接触式三次元形状計測方法を提供する。
【解決手段】接触式三次元形状計測機の本来接触式プローブが取付けられるべきヘッド６の原点位置に対する非接触式位置センサ２９の原点位置の原点較正データを予め作成しておき、駆動手段７ｘ，７ｙ，７ｚを駆動制御するように３軸移動機構８の移動範囲の移動始端位置及び移動終端位置を逐次指令し、ヘッド６の移動走査過程において非接触式位置センサ２９に対して所定の繰返し周期でトリガー指令を行い、移動始端位置及び移動終端位置並びに繰返し周期ごとの移動位置で規定されるヘッド６の原点位置を原点較正データに対応して較正して非接触式位置センサ８の原点位置を求めて、この原点位置における非接触式位置センサ８の非接触検知位置データにより計測対象物である車両ボデー９の三次元形状データを作成する。
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【課題】 極座標制御方式マシニングセンタにおける基準点の補正方法を提供する。
【解決手段】 極座標制御方式マシニングセンタは、ワークを載置する旋回テーブル５０と、旋回テーブル５０の旋回中心Ｃ_０を通るＹ軸に沿って制御される工具ヘッドを有し、工具ヘッドの工具主軸は、旋回テーブル５０に垂直なＺ軸に沿って制御される。旋回テーブル５０上に基準点誤差量測定用ピン１００を取付け、工具主軸に取付けたタッチセンサＳ_１でＹ軸上の座標を検知して主軸原点位置からの距離Ｌを演算し、Ｙ軸上の基準点誤差量ΔＹを補正する。距離Ｒ位置にタッチセンサＳ_１を設定し、ピン１００を両側からタッチさせて、角度θ_１，θ_２を検知する。この角度差からＸ軸方向の誤差量ΔＸを演算して補正する。 （もっと読む）

【課題】 マスタを間違えた誤った校正処理を防止できる寸法測定システムの実現。
【解決手段】 寸法測定装置10と、所定の寸法値の部分を有する複数のマスタ50A,50Bとを備え、所定の寸法値の部分を測定して寸法測定装置を校正する寸法測定システムであって、各マスタは、寸法測定装置がマスタの所定の寸法値の部分を測定する状態にあることを検出する測定状態検出手段55と、寸法測定装置が所定の寸法値の部分を測定する状態にあることを検出したことを示す測定状態信号を送信する無線通信手段とを備え、寸法測定装置は、測定状態信号を受信する無線通信手段37を備え、無線通信手段が測定状態信号を受信している時に校正処理を行う。 （もっと読む）

【課題】 煩雑な電源スイッチの操作を必要としない寸法測定装置の実現。
【解決手段】 寸法測定部33と、電源を供給するバッテリィ31とを有する寸法測定装置10と、寸法測定装置10がセットされるとバッテリィ31を充電する充電スタンド20とを備える寸法測定システムであって、寸法測定装置10は、充電スタンドにセットされた状態であるかを検出するセット状態検出回路34を備え、充電スタンドにセットされた状態である時には、バッテリィ31から寸法測定部33への電源の供給を自動的に停止し、充電スタンドにセットされていない状態である時には、バッテリィ31から寸法測定部33へ自動的に電源を供給する。 （もっと読む）

【課題】スピンドルの操作性および耐久性を向上させることのできるスピンドルの制動装置および測定器を提供すること。
【解決手段】制動装置６００は、スピンドル３００が移動するシリンダ６１０と、このシリンダ６１０内を２つに区画するピストン６２０と、スピンドル３００とピストン６２０とを、軸方向および軸直交方向に対し一定のクリアランス６３３を介して連結する連動手段６６０と備え、連動手段６６０は、ピストン６２０に形成された中空室６２３と、スピンドル３００の他端に設けられ、他端側が中空室６２３内に係合収納される係合部６３０とを含み構成され、スピンドル３００が一端側へ移動する際には、係合部６３０が中空室６２３の一端側内壁に当接し、かつ、他端側へ移動する際には、係合部６３０が中空室６２３の他端側内壁に当接するように形成されている。 （もっと読む）