【課題】
内外からの振動がプリント板へ伝達されるのを防ぎつつ、センサの測定精度を向上させることで、繰り返し安定して保持可能としプリント板に印刷されたはんだの形状を測定する技術を提供する。
【解決手段】
プリント板１が検査位置まで搬送されてきたとき前記プリント板の辺縁部１ａの下面を下から上へ押し上げることによって、前記辺縁部の上面をガイド部３の突出部３ａの下辺に押圧して位置を固定して支持するクランプ６とを備え、該クランプで支持された状態でプリント板に印刷されたはんだの形状を検査する印刷はんだ検査装置であって、
前記クランプ部が前記プリント板を押し上げるときに、該プリント板の辺縁部の下面と前記クランプ部との間に存する弾性体ベルト５諸共押し上げることで、前記辺縁部の下面を前記弾性体ベルトで押圧し前記プリント板を固定して支持することを特徴とする印刷はんだ検査装置。 （もっと読む）

【課題】短時間でかつ高精度に倣いプローブの校正を行う倣いプローブの校正方法を提供する。
【解決手段】半径および中心座標値が既知の真球であるマスターボール７の表面を倣い測定する測定経路として第１測定経路７１と第２測定経路７２とを設定する（測定経路設定工程）。次に、測定経路設定工程において設定された第１測定経路７１および第２測定経路７２を倣い測定する（測定工程）。測定工程における倣いプローブの検出センサの出力値を測定経路７１、７２上の座標値と対比して、この検出センサの出力値を補正する補正データを算出する（補正データ算出工程）。ここで、測定経路設定工程にて設定される第１測定経路７１および第２測定経路７２は、マスターボール７の表面において螺旋形状である。そして、２つの測定経路７１、７２の起点７１１、７２１は赤道上において互いに９０度ずれている。 （もっと読む）

【課題】測定対象の移動距離、或いは測定対象が小さい場合でも測定を可能とする。
【解決手段】測定基準物１及び測定基準物１に沿って一定の測定間隔ｄ１で直線移動及び停止可能なステージ３と、測定基準物１及びステージ３の表面形状及び運動軌跡間の相対変位を検出する変位センサ７とを備え、ステージ３上の２点につき測定間隔ｄ１毎に相対変位を測定した結果に基づき測定基準物１及びステージ３の形状誤差、運動誤差を求める真直度測定装置において、相対変位の測定間隔ｄ１毎の測定を、ステージ３の２点についてステージ３の移動を繰り返し変位センサ７を各別に配置して行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マニピュレータなどを用いて３次元測定器による物体の測定を行う際に、３次元測定器と物体との相対的な位置および姿勢を容易に決定できること。
【解決手段】３次元測定器または物体の一方を固定し、他方を位置および支持姿勢が変更可能なようにマニピュレータで支持点において支持し、支持点を第１の位置Ｐおよび姿勢Ａとして第１の測定を行い、支持点を第２の位置Ｐ’および姿勢Ａ’となるように変更し、その際に、第２の位置Ｐ’が、第１回の測定における３次元測定器の測定可能領域内の基準位置Ｃｆを中心として、第１の姿勢から第２の姿勢への変化分ｄＡと同じだけ反対側へ姿勢を変化させた位置Ｐ’となるようにし、位置および姿勢の変更を行った後で第２の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】 微小試験片に張力を加えた際の変位量を高精度に測定することができる変位量測定装置及び変位量測定方法を提供すること。
【解決手段】先端部にチップ（Ｔ）が形成された第１及び第２カンチレバー（１１、１２）を有するマルチプローブ（１）と、第１及び第２カンチレバー（１１、１２）の形状変化を検出する検出部と、マルチプローブ（１）を走査させるスキャナと、スキャナを制御する制御部と、試験片（２）に張力を加える引張機構とを備えた変位量測定装置であって、複数の凸部（２２）が等間隔に表面に形成された試験片（２）に対して引張機構によって張力を加える前後で、制御部がスキャナを制御し、マルチプローブ（１）を用いて、凸部（２２）が配列された方向に沿って試験片（２）の表面を所定距離走査し、検出部が、チップ（Ｔ）の位置変位による第１及び第２カンチレバー（１１、１２）の形状変化から試験片（２）の表面の高さ情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】動きに関する複数の情報を、もとの波形を崩すことなく、全体的にバランスよく位置あわせすることが困難であるという課題があった。
【解決手段】物体の動きに関する経時的な情報である動作情報を複数受け付ける動作情報受付部１０１と、複数の動作情報間の、時間軸方向の位置関係を変更する動作情報変更部１０２と、複数の動作情報について、各動作情報間の相関に関する情報である相関情報を取得する相関情報取得部１０３と、相関情報取得部１０３が取得した相関情報に基づいて、各動作情報間の相関が最適となる時間軸方向の位置関係を有する複数の動作情報を取得する動作情報取得部１０４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 検査の信頼性が向上し、欠陥有無判定の自動化ができ、更に、検査の高速化が可能な検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】 検査対象であるカム７の回転方向周表面を検査する検査装置１は、カム７の表面３次元情報を取得するセンサを備えたセンサヘッド１９を有し、センサがカム７の回転に伴いカム７面に対し常に垂直となるように、Ｚ軸上下駆動モータ１６を介しセンサヘッド１９が上下動できるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 ロー付けにおいてロー材が正常に部品間に挿入されているか否かを検出可能にする。
【解決手段】 ２つの部品をロー材により接合する接合方法において接合状態を検査するための接合検査方法は、２つの部品間にロー材を挿入する挿入手順と、ロー材を加熱して溶融する加熱手順と、加熱を停止して加熱されたロー材を凝固させて、２つの部品を接合する接合手順とを具備する。前記接合検査方法は、挿入手順後で加熱手順の開始前に２つの部品の外面間の距離（第１の高さ）Ｈ0を計測する第１の計測手順と、加熱手順において、加熱開始後に２つの部品の外面間の距離（第２の高さ）Ｈ１を計測する第２の計測手順と、第１の高さＨ0と第２の高さＨ１との高さの差を求めることにより、ロー材の有無を判定する判定手順とを具備する。第２の高さＨ１の計測のタイミングはロー材が軟化する状態を検出して決定される。 （もっと読む）

【課題】シリンダボア内に収容配置することができ、エンジンの正規組立状態にてシリンダボアの内径を正確に計測することができる装置を提供する。
【解決手段】複数の変位センサ２６が配置されたセンサホルダ１３と内径把持方式のチャック１２とを結合してなる計測ヘッド１０に予め蓋体１１を結合した上で、蓋体１１がシリンダヘッド着座面側のショルダー部３２に着座係合するまで計測ヘッド１０をシリンダボア２に挿入する。チャック１２を拡径させることによりそのチャッキング動作をもって計測ヘッド１０をシリンダボア２に固定した後に蓋体１１を取り外す。シリンダブロックとシリンダヘッド等とを結合したエンジンとしての正規組付状態にてシリンダボア２の内径を変位センサ２６にて計測する。
（もっと読む）

【課題】自律移動装置において、自律移動装置が移動する環境に置かれた物体の位置や形状及び自律移動装置の自己位置の認識を精度が高く、簡単な構成で安価に実現すること。
【解決手段】自律移動装置１は、自律移動装置以外の物体が存在する環境の中で自律的に移動するように用いられ、物体及び自己位置検出システム６と移動手段４とを備える。物体及び自己位置検出システム６は、環境の中に設置した物体の表面形状や位置の情報を記録したデータベース２１と、位置測定手段３で取得された物体の表面形状とデータベース２１に記憶された物体の表面形状とを照合し、その照合が一致した場合にデータベース２１に記憶された物体の情報を走行計画手段２３へ送信すると共に、その照合が不一致の場合に位置測定手段３で取得された物体の情報を走行計画手段２３へ送信する照合手段２０と、照合手段２０から送信された物体の情報に基づいて自律移動装置１の走行経路を計画する走行計画手段２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ピンチャック等のウエハチャックの平面度を、サブミクロンのごみの影響を受けずにナノメートルの超高精度に測定する。
【解決手段】 半導体ウエハ等をチャックするピンチャック１２１等の剣山状のピン１２２先端の包絡線形状を測定する平面度測定装置における測定用プローブ１３１として、先端面形状が、球状面１１と、球状面１１の外側の周囲に球状面１１と滑らかにつながるように形成されたテーパ面１２とを有する測定用プローブ１３１を備え、ピンチャック１２１等に作用する力が一定になるように測定用プローブ１３１に力を加えつつＺ軸方向にフィードバックしながら、ＸＹ方向に走査測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】長尺状の隙間から流体を吐出するノズルの当該隙間を短時間に安定して測定することができる隙間検査装置を提供する。
【解決手段】スリットノズル２を固定保持するとともに、超音波プローブ４０，５０をスリットノズル２の外側に所定間隔にて対向配置する。超音波プローブ４０から出射された超音波が平板２ａの内壁面によって反射された反射波ＲＳ２が超音波プローブ４０に到達するまでの時間から超音波プローブ４０と平板２ａの内壁面との間の距離が求められる。同様に、超音波プローブ５０から出射された超音波が平板２ｂの内壁面によって反射された反射波ＲＳ４が超音波プローブ５０に到達するまでの時間から超音波プローブ５０と平板２ｂの内壁面との間の距離が求められる。超音波プローブ４０と超音波プローブ５０との配置間隔からそれらを減算して隙間３の間隔を測定する。 （もっと読む）

【課題】 加えられる回転変位（角度変位）の大きさに係わらず、回転検出対象の回転状態を確実に検出することができるようにする。
【解決手段】 回転センサは、円環状の環状容器１１を有する。この環状容器１１は、円環状の液体流路１１１を形成する。この液体流路１１１には、液体が封入されている。また、この液体流路１１１には、梁１２が設けられている。この梁１２は、環状容器１１の回転に伴って生じる液体の流動によって変位させられる。この梁１２には、歪みゲージ１３が設けられている。この歪みゲージ１３は、梁１２の変位を検出する。この歪みゲージ１２には、角加速度検出部２０が接続されている。この角速度検出部２０は、歪みゲージ１２の検出出力に基づいて、回転検出対象の角加速度を検出する。 （もっと読む）