【課題】
信頼性の高い加速度・角速度検出素子を提供する。
【解決手段】
基体と、力の印加により形状または物性値が変化する支持体と、前記支持体上に配置された重錘体と、前記支持体の変形または物性値の変化に応じた信号を検出する検出電極と、を有し、その下面を前記基体上に接触させた状態で配置された検出部と、を有し、前記検出電極は、互いに離間して配置された第１検出電極と第２検出電極とで構成される、加速度・角速度検出素子。加速度・角速度検出素子である。これにより、信頼性の高い加速度・角速度検出素子を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスが容易で小型化可能、かつ、高精度な慣性センサおよび慣性測定装置を提供する。
【解決手段】基板と、基板上方の圧電膜をパターニングして形成され、基板上に固定されるアンカー部と、圧電膜をパターニングして形成された重錘と、圧電膜をパターニングして形成され、圧電膜上面の櫛型電極を含む第１の弾性表面波共振子を有し、一端がアンカー部に固定され他端が重錘に固定される第１の梁と、圧電膜をパターニングして形成され、圧電膜上面の櫛型電極と同一形状の櫛型電極を含む第２の弾性表面波共振子を有し、一端がアンカー部に固定される第２の梁とを備え、第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子の共振周波数の差を検出することで重錘に加わる加速度を測定可能とすることを特徴とする慣性センサおよびこれを用いた慣性測定装置。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波角速度センサを備えた角速度検出装置において、センサ内で生じる散乱波や直達波等の影響を受けることなく、角速度を高精度に検出できるようにする。
【解決手段】弾性表面波角速度センサ２を備え、角速度センサ２からの出力を参照信号にて同期検波することで角速度を検出する装置において、角速度センサ２への駆動信号の入力経路及び同期検波回路２０への参照信号の入力経路にスイッチＳＷ１、ＳＷ２を設け、スイッチＳＷ１を周期的にオン・オフすることで、駆動用電極から検出用電極に直達波が入力されない期間を生成し、その期間内にスイッチＳＷ２をオンして、同期検波回路２０に参照信号を入力することで、同期検波を実行させる。この結果、直達波の影響を受けることなく角速度を検出できる。なお、不要波と同振幅で逆位相の打ち消し信号を生成して、角速度センサ２からの出力に加算することで、不要波を除去するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】衝撃印加に強く、信頼性も高い回転率センサおよび多軸検出型回転率センサを提供することを目的とする。
【解決手段】検知素子と回路部が収納され、かつ、検知素子と回路部とが電気的に接続されると同時に、回路部への入出力信号を伝達するための配線が施されたセラミックス製の気密容器２と、この気密容器２の外側表面の一平面に連接され、気密容器２に施された配線と電気的に接続するためのパッド電極３と、さらに気密容器２に貼着されたシリコンゴム４とを備えた構成からなる。 （もっと読む）

【課題】摂動錘の中心と定在波の腹の位置とを一致させることができる角速度センサを提供する。
【解決手段】励振用ＩＤＴ７、８および摂動錘６の間と励振用ＩＤＴ９、１０および摂動錘６の間に調整用電極１７、１８を配置する。そして、調整用電極１７、１８に対して調整電圧を印加することにより、定在波の腹の位置を調整する。これにより、定在波の腹の位置を摂動錘６の中心位置とを一致させることが可能となる。したがって、角速度センサ１の感度低下を防止することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】散乱波を低減できる弾性表面波角速度センサを提供する。
【解決手段】励振用ＩＤＴ７〜１０が駆動軸Ｄに対して線対称となるように配置する。これにより、励振用ＩＤＴ７、８の組と励振用ＩＤＴ９、１０の組でそれぞれ発生された駆動波の摂動錘６での散乱波の対称性が改善される。したがって、散乱波を低減することが可能となり、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。さらに、検出用ＩＤＴ１３、１４と検出用ＩＤＴ１５、１６も駆動軸Ｄに対して線対称となるように配置すれば、これら検出用ＩＤＴ１３〜１６のペア性を向上することが可能となり、より散乱波の影響を低減することが可能となる。したがって、コリオリ力の検出をより精度良く行える角速度センサとすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波が摂動錘で反射・散乱されることを抑制し、信号／ノイズ比の高い弾性表面波式角速度センサを提供する。
【解決手段】摂動錘６を絶縁材料により構成することで、摂動錘６と圧電基板３との界面が等電位に固定されないようにする。これにより、電気的な不連続を減少させることが可能となり、音響インピーダンスの不連続を減少させること、好ましくは無くすことが可能となる。したがって、摂動錘６による弾性表面波の反射・散乱を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

回転センサは、表面音響波が励起される少なくとも１つの電気音響共振器を有して明示される。回転軸に関する共振器の回転は、波の伝搬速度を変化させる。これは、共振器の共振周波数を変化させる。回転センサは、好ましくは、波の伝搬方向とその横方向に振動可能な振動構造体３０を含む。 （もっと読む）

【課題】半導体基板を用いて角速度センサを構成する場合において、圧電膜に発生する電荷を中和して、高感度化を図ることができる角速度センサを提供する。
【解決手段】摂動錘６と対向する位置において、圧電膜５の下に下部電極４が配置された構成とする。このような構成とすれば、定在波によって圧電膜５および摂動錘６が上下に振動するときに、圧電膜５の上下に発生した電荷により、摂動錘６の上下振動の変位量が制限されてしまうことを抑制することが可能となる。これにより、摂動錘６の上下振動を大きくすることが可能となり、角速度センサ１の高感度化を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】小型化・回路との集積化が図れる角速度センサを提供する。
【解決手段】励振用ＩＤＴ７〜１０の下に圧電膜５を介して下部電極４を形成した構造とする。これにより、励振用ＩＤＴ７〜１０と下部電極４との間に発生させられる電界によって励振用ＩＤＴ７〜１０を大きく振動させることが可能となる。そして、励振用ＩＤＴ７〜１０の振動に基づいて摂動錘６が形成された領域に発生させられる定在波も大きくなり、摂動錘６の振動速度を大きくできる。角速度センサ１では、角速度が加えられた場合、摂動錘６の振動速度に比例したコリオリ力による加速度が発生するため、摂動錘６の振動速度が大きくできることにより、角速度センサ１の高感度化を図ることが可能となり、同じ感度の角速度センサ１を得るために必要な面積を小さくできるため、小型化。回路との集積化を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】パッケージベースと蓋体の接合時に内蔵電子部品が高温になるのを防止するとともに、蓋体に供給される赤外線を効率的に使用する蓋体、圧電デバイスおよび電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイス１０は、凹陥部３６を備えたパッケージベース３２と、凹陥部３６内に搭載した圧電振動片７０およびこの圧電振動片７０に導通したＩＣチップ１４と、パッケージベース３２に接合材６６を介して設けられ、凹陥部３６を封止する光透過性の蓋体２０とを有している。そして、この蓋体２０は、凹陥部３６の方に向いた表面に赤外線反射膜２６を備えている。また蓋体２０は、凹陥部３６とは反対に向いた蓋体２０の表面に赤外線反射防止膜を備えることもできる。 （もっと読む）

【課題】 平面型ジャイロのようなエネルギーの漏洩を防ぎつつ、弾性表面波を利用した小型のジャイロを実現する。
【解決手段】 球状部材１１の表面に弾性表面波を励起し、球状部材１１の回転運動に応じて伝搬方向を変化させた弾性表面波を検出する構成により、従来の平面型の弾性表面波ジャイロとは異なり、反射器を備える必要が無いので、弾性表面波を利用した小型のジャイロを実現できる。また、球状弾性表面波素子により実現するので、平面型ジャイロのようなエネルギーの漏洩を防ぐことができる。 （もっと読む）