【課題】疲労亀裂に起因しない誤発色がなく、かつ褪色により視認性の低下が生じない、信頼性の高い疲労亀裂の検出方法、および、これに用いる疲労亀裂検出塗料組成物を提供すること。
【解決手段】 金属製の基材の硬度以上の硬度を有する金属または金属酸化物の微粒子を含むペースト状流動体を収納手段の閉ざされた空間に収納して、収納手段を金属製の基材の表面近傍に固定的に臨ませるステップ（Ｓ１０）と、疲労亀裂の進展に伴う収納手段に生じた亀裂からのペースト状流動体の流動による疲労亀裂に対する作用により疲労亀裂を検出するステップ（Ｓ２０）により、金属製の基材の表面に発生する疲労亀裂を検出する。 （もっと読む）

【課題】省フットプリントが図れるだけでなく、タクトタイムの短縮化も可能となるマクロ検査とミクロ検査とを１台で行いうる基板検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の基板検査装置１は、検査する基板Ｇを載置し、吐出口６１から気体を吐出させて基板Ｇを浮上させる浮上プレート６を有する基板載置部２と、基板Ｇをミクロ検査するミクロ検査部３と、基板載置部２上に浮上した基板Ｇを搬送する基板搬送部４と、基板載置部２に対して出没可能に設けられ、基板載置部２上に浮上した基板Ｇを基板載置部２の上面に対して傾斜して起こした状態で保持するマクロ検査用ホルダ５と、マクロ検査用ホルダ５で保持されたＧ基板の表面を照明するマクロ照明部１５と、を備え、マクロ検査用ホルダ５は、基板搬送部４による基板Ｇの搬送方向と平行な回動軸を中心に回動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】浸透液や探傷剤を塗布することなく、線材表面に付いた微小な傷を抜け無く検出することのできる線材表面探傷装置を提供する。
【解決手段】線材１の表面に光りを照射してカメラ２で線材表面１ａの傷Ｋを探す線材表面探傷装置。線材表面１ａに対して垂直且つ上方にカメラ２を配置し、そのカメラ２と線材１との間にドーム形状をなすドーム部材５を設ける。ドーム部材５の内面を反射面４とし、カメラ側に向けて光りを照射して前記反射面４で反射させた光りを線材表面１ａに均一に照射させる光源６を、前記ドーム部材５の下側開口端内側に等間隔に設ける。 （もっと読む）

【課題】欠陥観察装置、欠陥観察方法、及び半導体装置の製造方法において、欠陥観察装置と基板との位置合わせ精度を向上させること。
【解決手段】基板Wの表面の欠陥D_iのそれぞれの欠陥座標を取得するステップＳ１と、欠陥D_iのそれぞれに所定領域Rを設定し、その中に含まれる欠陥の総個数N_iを計数するステップと、ステージ座標を一番目の欠陥D₁の欠陥座標に合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第１の欠陥D₁を導入するステップと、視野中心２２ｃと第１の欠陥D₁とのズレ量を取得するステップと、上記ズレ量に基づいて、第１の欠陥D₁よりも上記総個数が多い第２の欠陥D₂の欠陥座標を補正するステップと、補正後の第２の欠陥D₂の欠陥座標にステージ座標を合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第２の欠陥D₂を導入するステップとを有する欠陥観察方法による。 （もっと読む）

【課題】タイヤ表面の微細な異常箇所であっても目視により容易に発見することができ、検査に伴う人的労力も軽減することのできるタイヤ外観検査用補助装置を提供する。
【解決手段】第１及び第２の圧接ローラ２０，３０を荷重付与機構４０によってタイヤ１の外周面に圧接させることにより、タイヤ１をタイヤ径方向に変形させるようにしたので、外観検査をしようとするタイヤ１の表面に引張変形を生じさせることができる。これにより、タイヤ１の外面にクラックが発生していた場合には、タイヤ表面の引張変形によってクラックを広げることができ、微細なクラックであっても容易に発見することができる。その際、荷重付与機構４０によってタイヤ１を径方向に容易に変形させることができるので、人手によって変形させる場合に比べ、検査に伴う人的労力を大幅に軽減することができる。 （もっと読む）

蒸気発生器の内部を検査するための検査システムは、一態様では、第１ブームと、第１ブームに枢動的に取り付けられた近位端と、供給カプセルに耐える遠位端とを有する第２の伸縮ブームであって、供給カプセルはストレージベイを画定する第２の伸縮ブームとを含む。検査システムは、供給カプセルのストレージベイに適合するように寸法づけられ、ストレージベイを画定する第１のロボット検査車両を含む。第１のロボット検査車両は、少なくとも一つの検査カメラ及び少なくとも一つの照明システムを含む。第１のロボット検査車両は、第１ロボット検査車両を供給カプセルに接続するケーブルを更に含む。検査システムは、第１ロボット検査車両のストレージベイに適合するように寸法づけられた第２のロボット検査車両を含む。第２のロボット検査車両は、少なくとも一つの検査カメラ及び少なくとも一つの照明システムを含み、第２のロボット検査車両を第１のロボット検査車両に接続するケーブルを更に含む。 （もっと読む）

【課題】ＰＤＰの誘電体層塗布面などの表面の欠陥検出の容易化，迅速化，検査者の負担軽減，時間短縮等を図ること。
【解決手段】一方向に長い形状の光源と、光源から出射された光を透過させる透明板とを備え、検査対象の基板の一つの端面の外側に、光源を配置し、前記端面の外側近傍であって、基板と光源との間に、基板表面と透明板表面とが直交する位置関係となるように透明板を配置し、透明板は、一定周期で配列された一方向に長い凹凸パターンを有する凹凸面からなる表面と、平坦な平面からなる裏面とを備え、透明板の凹凸面が光源に対向し、透明板の平面が基板側を向くように配置し、光源から出射された光が、透明板の凹凸面から平面側へ透過した後基板の表面に照射されるように、光源，透明板および基板の相対的位置関係を調整する位置調整部を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】加工物の光学的表面特性を測定する装置を提供する。
【解決手段】加工物１０を配置できるキャリア４が内部に配設されたハウジング２と、所定の放射方向Ｅに沿って前記加工物１０に放射線を送出する放射装置６とを含み、前記ハウジング２は、少なくとも１つの壁面２ａに、観察用開口部８を有し、この観察用開口部８から、前記放射装置６によって照光された加工物１０の領域を、所定の観察方向Ｂで観察する。 （もっと読む）

【課題】
透明性を有する熱接着性樹脂からなる樹脂Ａと、ポリスチレンとゴム系樹脂のブロック共重合からなる樹脂Ｂとを積層して中間膜が製造され、該中間膜を用いて製造される合わせガラスにおいて、光学的な欠陥の検査方法を提供する。
【解決手段】
偏光軸を直交させて配置した２枚の側偏光子の間に、中間膜が透明性を有する熱接着性樹脂からなる樹脂Ａで形成される膜と、ポリスチレンとゴム系樹脂のブロック共重合からなる樹脂Ｂで形成される膜とを積層して製造される積層フィルムでなり、積層フィルムの製造する時の引き出し方向と観察する側に配置した偏光子の偏光軸とのなす角度が３０〜６０度で、観察側に配置した偏光子と合わせガラスとが配置されて合わせガラスを配置し、一方の偏光子に投光し、該偏光子を透過する光が合わせガラスともう一方の偏光子を透過し、該透過する光により合わせガラスを検査する。 （もっと読む）

【課題】表面形態を含む組織の如何なる箇所にある欠陥も高い検出率で検査できる透光性物品の欠陥検査装置及び該装置を用いる透光性物品の欠陥検査方法を提供しようとすることを目的とする。
【解決手段】照明のある環境下に、透光性物品の組織における欠陥を検査するための装置において、前記透光性物品を置くべき箇所の後方に、標準画像のついている標準画像ユニットが設置されており、それにより、前記透光性物品を通してみた画像の前記標準画像との差異から、該透光性物品の組織に欠陥がある箇所を探し出すことができることを特徴とする透光性物品の欠陥検査装置、及び該欠陥検査装置を利用できる欠陥検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ストロボ光源から光を被検体に照射して、包装容器の製造装置の運転中や製造中の工程のタイミングを、正確にかつ簡易に監視モニターすることができる容器の製造法及び装置を提供する。
【解決手段】容器製造装置は、帯状包装材料を筒状に成形し、筒状包装材料内に内容物を充填して横断方向にシール、筒状包装材料を引き下げながら一次成形して横断シール部で切断し、所定の移動間隔で直列に下方に移動している複数個の一次成形容器を一次成形工程で得、最終成形工程で一次成形容器を順次、折込み、加圧、加熱及びシールして最終形状に成形して容器を製造する装置であって、所定の発光周期で発光して一次成形容器を光で照射するストロボ光源２０と、照射光によって得られる一次成形容器の照射パターンを得る照射パターン取得手段２１と、照射パターンを解析するパターン解析手段２３と、解析結果に基づいて調整する調整手段と２３を有する。 （もっと読む）

【課題】ライン上を搬送されてくるガラス基板をラインから取り出すことなく、その全面にわたる詳細な外観検査を行うことを可能とし、タクトタイムの短縮、製造設備のコンパクト化を図ること。
【解決手段】基板外観検査装置１は、製造ライン５２上を搬送されてくる基板５０の表面に照射する照明光を発生する照明装置１１と、照明装置１１から発せられ基板５０の表面において反射した反射光を撮影するカメラ１３と、これら照明装置１１およびカメラ１３を、製造ライン５２上の基板５０の搬送方向に交差する方向に一体的に移動させる移動機構とを備え、カメラ１３が、照明装置１１からの照明光の、基板５０の表面における正反射光の光束の範囲外に配置されている。 （もっと読む）

【課題】外観検査装置において表面観察及び裏面観察を行う際の視線の移動を抑える。
【解決手段】外観検査装置１は、基板Ｗの表面を観察するための表面検査装置３１と、裏面を検査するための裏面検査装置３２とを備える。制御部８１は、表面検査時の基板Ｗの位置と、裏面検査時の基板Ｗの位置が略同一になるように各検査装置３１，４１の制御を行う。さらに、背面側には、基板Ｗの中心と検査者とを結ぶ線分に対して僅かに傾斜させたミラー６２が設けられている。ミラー６２側に基板Ｗを傾斜させたときに、ミラー６２で折り返した基板Ｗの画像が取得できるように撮像装置６３が設置されている。 （もっと読む）

【課題】外観検査に伴い行われる重筋作業を廃止して、それに起因して生じる種々の問題、特に、検査時間の短縮を図る。
【解決手段】本発明である外観検査用装置100は、工作物10を載せ置いて外観を検査するための検査台110と、この検査台110を軸Ａ₁周りに回転可能に支持する棚面120aを備える棚台120と、この棚台120を軸Ａ₂周りに傾倒可能に保持する台座140とを有し、工作物10を回転体113に載せ置いて、これら回転体113により回転させて工作物10のシャフト部11の外観を検査し、次いで、磁石170により固定されていた検査台110を軸Ａ₁周りに９０度回転させたのち、更に、検査台110の正面側を持ち上げて軸Ａ₂周りに４５度だけ傾倒させ、更に、検査台110上で工作物10を回転体113で回転させることでその開口穴13と発光部160とを整列させて、開口穴13に繋がる工作物10の端部に形成した開口穴を照らして当該開口穴内を検査する。 （もっと読む）

【課題】搬送対象物の不具合箇所を修整者に簡単に指示することを可能とする検査システム、搬送対象物の不具合・修整履歴を管理可能な不具合記録システムを提供すること。
【解決手段】本発明では、搬送対象物の特定箇所を指示する指示部と、搬送対象物の撮像データを出力する撮像部とが検査エリアに載置される。撮像データに基づき搬送対象物の外観を表示する表示部を設ける。搬送対象物の不具合箇所が修整者により修整される修整エリアにおいて、不具合修整者の発声音声を受信し、取得する音声取得部とを載置し、さらに、指示部により指示された搬送対象物の特定箇所の位置情報を取得し、この位置情報に基づき搬送対象物の特定箇所を含む外観を撮像するように、撮像部の撮像位置を制御する。撮像部により出力された撮像データは、取得音声とを対応づけて記録する。 （もっと読む）

【課題】基板に対する照明光の照射方向の切り替えを短時間で行うこと。
【解決手段】ホルダ本体１の略真上に配置された第１の照明系４に対してホルダ本体１の左右両側に第２の照明系として左側照明系７と右側照明系８とを配置する。 （もっと読む）

【課題】検査コスト及び不良品の処理コストの和であるトータルコストが最小になる理論検査間隔と現状の検査間隔との差分を認識しやすい形式で表示する検査間隔表示装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る検査間隔表示装置は、前記複数の検査工程それぞれ毎に、実際の検査間隔を保持するデータ保持部５と、半導体装置の製造における複数の検査工程それぞれ毎に、検査コスト及び不良品の処理コストの和であるトータルコストを最小値にするための理論検査間隔を算出する演算部４と、データ保持部３から実際の検査間隔を読み出し、実際の検査間隔と理論検査間隔の差分である第１の差分を前記複数の検査工程それぞれ毎に算出し、前記複数の検査工程それぞれ毎に算出された複数の前記第１の差分を同時に表示するグラフを生成するグラフ生成部６と、前記グラフ生成部が生成したグラフを表示する表示部７とを具備する。 （もっと読む）

【課題】大型の被検査基板であっても、検査精度を確保して効率良く検査することが可能なマクロ検査装置を提供する。
【解決手段】マクロ検査装置１は、被検査基板Ｗに照明光Ｌを照射して検査者Ｍによって反射光Ｌ４を観察することで、被検査基板Ｗの欠陥検査を行うもので、被検査基板Ｗを保持する基板ホルダ２と、基板ホルダ２に保持された被検査基板Ｗの少なくとも一部に照明光Ｌを照射する照明装置４と、照明装置４による照明光Ｌの照射方向を一定の状態として、被検査基板Ｗに対する照射範囲Ｌ３を移動させることが可能な照明移動手段１５と、 検査者Ｍによる被検査基板Ｗの検査位置Ｍ１を検知する検査位置検知手段２３と、検査位置検知手段２３の検知結果に応じて、照明移動手段１５によって照明装置４の照射範囲Ｌ３を検査位置Ｍ１に移動させる制御部２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置内の清浄度を高めた基板検査装置においてランプ光源の交換を容易にする。
【解決手段】基板検査装置１は、マクロ照明装置４０で基板Ｗの外観検査が可能に構成されている。マクロ照明装置４０は、高清浄部３内でミクロ検査部１５の上方に光源装置９０を有する。光源装置９０は、前壁扉９３から内部のランプを交換可能に構成されている。光源装置９０は、基板を扱う領域よりも清浄度が相対的に低い第一の領域８１に配置されているので、光源装置９０のランプ交換を行っても基板を扱う領域の清浄度が下がることはない。 （もっと読む）