【課題】アナログ／デジタル変換器のより詳細な故障診断のための技術を提供する。
【解決手段】アナログ／デジタル変換回路（１００〜１０８）は、入力されたアナログ信号（ｘ、１５）を所要の演算式（ｆ（ｘ））にしたがって診断用に演算する演算部（１２）と、前記入力されたアナログ信号（ｘ）又は前記演算部によって演算されたアナログ信号（ｙ）のいずれかを選択する第１選択部（１１）と、前記第１選択部によって選択されたアナログ信号をデジタル信号に変換する変換部（１０、２１、２２、２３）とを有する。 （もっと読む）

【課題】従来技術では、アナログ信号を扱うアナログモジュールの試験に適用できず、試験時間の短縮ができないという問題点がある。
【解決手段】アナログ信号を入力し、同一機能を備える複数のアナログモジュールと、テスタからの選択信号に応じて、前記複数のアナログモジュールの出力のうち第１のアナログモジュールの出力、もしくは、前記第１のアナログモジュール以外の出力を選択する信号選択回路と、前記信号選択回路が選択したアナログモジュールの出力を加算する加算回路を備える算出回路と、を有する半導体集積装置。 （もっと読む）

【課題】完全に不定値許容性の非常に高スキャン圧縮なスキャンテストシステム及び技術を提供する。
【解決手段】スキャンテスト及びスキャン圧縮は、コストの低減及び高い出荷品品質を実現するうえで重要である。従来以上に複雑な設計における新しいタイプの故障には、高い圧縮が必要とされる。しかしながら、不定値（Ｘ）の密度が増加し効果的な圧縮を妨げる。スキャン圧縮の方法では、任意の密度の不定値について非常に高い圧縮及び完全な検出率が達成される。記載された技術は、テスト容易化設計（ＤＦＴ）及び自動テストパターン生成（ＡＴＰＧ）のフローに完全に組込むことができる。産業的な設計にこれらの技術を用いた結果、他の方法と比べて一定かつ予測可能な有利な点があることが分かった。 （もっと読む）

【課題】基板に形成された凹部の深度を、非破壊、非接触で検査できるとともに、高速に検査できるようにする技術を提供する。
【解決手段】基板検査装置１００は、ポンプ光の照射に応じて、基板Ｗに向けてテラヘルツ波を照射する照射部１２と、プローブ光の照射に応じて、基板Ｗを透過したテラヘルツ波の電場強度を検出する検出部１３と、テラヘルツ波が検出部１３に到達する時間と、検出部１３における検出タイミングを遅延させる遅延部１４とを備える。また、基板検査装置１００は、基板Ｗの第１領域を透過した第１テラヘルツ波の時間波形を構築する時間波形構築部２１と、基板Ｗの第２領域を透過した第２テラヘルツ波について、特定の検出タイミングで検出される電場強度と、前記時間波形とを比較することにより、第１テラヘルツ波と第２テラヘルツ波の位相差を取得する位相差取得部２４とを備える。 （もっと読む）

【課題】より高い圧縮比を提供し得る圧縮スキームを提供する。
【解決手段】いわゆる「Ｘプレス」テスト応答コンパクタ１１０、１５２は、オーバードライブ・セクションとスキャンチェーン選択ロジックとを含む。実施形態は約１０００倍の圧縮比を提供する。例示的な実施形態は、従来のスキャンベースのテストシナリオとほぼ同じカバレッジおよびほぼ同じ診断分解能を維持できる。スキャンチェーン選択スキームのいくつかの実施形態は、テスト応答で発生してコンパクタに入る未知状態を有意に減らすことができ、または完全に排除できる。また、オンチップ・コンパクタ回路の実施形態および選択回路をマスクする制御回路網を生成する方法も開示する。 （もっと読む）

【課題】期待値パターンを用いることなく、不良となる半導体回路を特定することのできる検査を短時間に低コストで行なう。
【解決手段】半導体回路に所定のテストパターンを入力することにより出力される信号に基づき前記半導体回路の良否を判断する半導体回路の検査装置において、３以上の前記半導体回路から出力された信号が入力されており、３以上の前記半導体回路から出力された信号のうち多数となる信号を出力する多数決回路と、前記多数決回路からの出力信号と、前記半導体回路からの出力信号のうちいずれかが入力している第１の排他的論理和回路と、を有することを特徴とする半導体回路の検査装置により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】ＲＦチップ本来の回路特性を抽出できるようにする。
【解決手段】半導体試験装置より出力された変調信号を増幅して出力する低雑音増幅器より出力される信号が供給されるとともに、低雑音増幅器により増幅された後に直交復調処理された変調信号を半導体試験装置用基板の伝送路に対して出力する増幅器に入力される信号が供給される試験回路をＲＦチップに備える。試験回路は、半導体試験装置より出力する変調信号の波形データが予め記憶され、低雑音増幅器より出力される信号及び増幅器に入力される信号をスペクトラム解析した解析結果と記憶されている変調信号の波形データとの比較によりＲＦチップにおけるチップ内ノイズ及びＲＦチップ本来の回路特性を抽出する。 （もっと読む）

【課題】被測定信号を効率よく測定する。
【解決手段】予め定められたサイクルで波形パターンが繰り返される被測定信号を測定する測定装置であって、被測定信号をコヒーレントサンプリングするサンプリング部と、サンプリング部が取得したサンプリングデータのうち、波形パターンの一部の区間に対応するサンプリングデータを、予め定められた順番で配列することで、波形パターンのうち、一部の区間に対応する部分波形だけを再構成する波形再構成部とを備える測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】サンプル装置が指定した平均サンプル数で正しく平均化しているかどうかを検査する。
【解決手段】トリガ信号毎に被測定信号の値を指定された平均化期間の間平均化して出力するサンプル装置を検査する検査装置であって、単調増加または減少する第１信号をサンプル装置に供給し、第１信号と異なる種類の曲線で単調増加または減少する第２信号をサンプル装置に供給する信号供給部と、第１信号の予め定められたタイミングおよび第２信号の予め定められたタイミングのそれぞれにおいてトリガ信号をサンプル装置に供給するトリガ供給部と、トリガ信号に応じてサンプル装置が出力する第１信号の平均値および第２信号の平均値に基づいて、サンプル装置が被測定信号を平均化するサンプル数が、平均化期間に応じたサンプル数であるか否かを判定する判定部と、を備える検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＩＣテスタにおいて、オーバーレンジすることなく高精度レンジで波形測定を行なえるようにする。
【解決手段】多階調電圧を出力するＩＣを試験するＩＣテスタであって、ＩＣの出力電圧から減算するオフセット電圧を発生するオフセット電圧発生器と、オフセット電圧が減算された出力電圧をディジタイズして得られた値を測定データとするＡ／Ｄ変換器と、ＩＣにテストパターンを出力して得られた測定データに基づく測定値を格納する試験を、オフセット電圧を変化させて複数回行ない、オーバーレンジおよびアンダーレンジが発生していない測定値を抽出する高精度波形測定制御部とを備えたＩＣテスタ。 （もっと読む）

【課題】変調信号を用いて試験可能にするとともに、出力レベルを所望レベルに短時間に精度良く追い込み、その後に所望の測定ができる技術を提供する。
【解決手段】信号発生部１０が、周期Ｔａのベースバンド信号を生成してＲＦ信号で変調し、いずれの周期Ｔａでも、ベースバンド信号のレベルの変化が同一の変化を示すバースト信号を生成して通信用デバイスに入力させる。レベル測定部３０は、通信用デバイスから出力される変調信号の各周期Ｔａにおける同一タイミングにおける出力レベルを測定し、判定部４０及びレベル制御部５０は、測定された出力レベルが、目標値内になるように、通信用デバイスに入力する変調信号のレベルを制御する構成とした。 （もっと読む）

【課題】半導体装置内部で発生するパルス信号のパルス幅を精度高く簡単に検出する。
【解決手段】ＩＣチップ２０に設けられた内部パルス波形変換回路１１は、第１のイネーブル信号PLS_RISE_ENが有効で第２のイネーブル信号PLS_FALL_ENBが無効な期間において内部パルス信号PLSが立ち上がるタイミングで予め定められた方向に変化し且つ該変化した後はその状態が予め定められた時間以上継続する内部パルスモニター信号PLSMONを生成すると共に、第１イネーブル信号PLS_RISE_ENが無効で第２イネーブル信号PLS_FALL_ENBが有効な期間において内部パルス信号PLSが立ち下がるタイミングで上記予め定められた方向に変化し且つ該変化した後はその状態が前記予め定められた時間以上継続する内部パルスモニター信号PLSMONを生成する。生成された内部パルスモニター信号PLSMONは、内部パルス信号PLSのパルス幅を検出するテスタ２２に対して出力される。 （もっと読む）

【課題】
論理回路の妥当性をシミュレーションによって確認する為のテストデータの数は、確認内容の増加,論理回路の規模増加及び組合せ状態数の増加によって増え、シミュレーションに必要な時間が増えるという問題があった。また、論理回路が複雑さを増す事により、テストデータを作成する事も困難になるという問題があった。
【解決手段】
観測点を設けた論理回路とテストデータをシミュレーションして得た実行結果から、テストデータ−観測点相関図生成機能によってテストデータ−観測点相関図を生成し、テストデータと論理回路動作部の関係を可視化する。また、相関図から抽出した特徴に基づいて、テストデータの生成を制御する。 （もっと読む）

【課題】変調信号を用いたバースト信号で試験可能にするとともに、かつ出力レベルを所望レベルに短時間に精度良く追い込み、その後に所望の測定ができる技術を提供する。
【解決手段】信号発生部１０が、いずれの周期Ｔａでも、周期Ｔａ内のベースバンド信号のレベルの変化が同一の変化を示すベースバンド信号を生成してＲＦ信号で変調し、変調されたＲＦ信号を外部へ送る。外部の通信用デバイスからオン区間Ｔｏとオフ区間（Ｔａ―Ｔｏ）でなる周期Ｔａのバースト信号を、レベル測定部３０が受けて、そのバースト信号の各周期Ｔａのオン区間Ｔｏ内の出力レベルを測定し、判定部４０及びレベル制御部５０は、測定された出力レベルが、目標値内になるように、通信用デバイスに入力するバースト信号のレベルを制御する構成とした。 （もっと読む）

半導体デバイス試験装置は、被試験半導体デバイスを試験するように構成されるプログラム可能なハードウェアを含む。このプログラム可能なハードウェアは、被試験半導体デバイスへ、及びこれからのデータの流れを制御するための２つ又はそれ以上のパターン生成器でプログラムされる。
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【課題】多くのＤＵＴを同時に試験可能な半導体試験回路を提供する。
【解決手段】信号処理部１２が、テスタ２０から信号線ＳＬを介して入力された試験信号を複数のＤＵＴ３０−１〜３０−ｎに分配して供給するとともに、試験信号に基づいた複数のＤＵＴ３０−１〜３０−ｎからの応答信号を合成した試験結果を生成し、試験結果出力部１３が、その試験結果を、入力された試験信号とは異なる電圧レベルにして、信号線ＳＬを介してテスタ２０に出力する。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路の製品コストを下げるためには、拡散工程後にオン・ウェハ状態で出来るだけ全動作チェックを行えることが重要である。
【解決手段】良否判定を行うためのＤＣテスタに制御端子が接続され、ＤＣ電圧印加によって制御される電圧制御発振器（ＶＣＯ）と電力可変器により測定周波数とパワーを可変でき、ピークホールド回路でＤＣ電圧変換された出力をＩＣテスタ（ＤＣテスタ）によりＤＣ値のみで選別可能にした。また、様々な分周比や入力信号などの位相を調整してＤＣ値を安定して計測、選別できるように、遅延線などの可変位相器を設け、出力ＤＣ値のレベル調整を可能にした。これによって、製造コストの低い段階であるオン・ウェハ状態でプリスケーラ回路の様々な不具合動作モードに対応した多周波数・多パワーでのＡＣ（ＲＦ）動作チェックをＤＣテスタのみで可能にした。 （もっと読む）

【課題】複雑な計算および他の測定が不要なスループットの高い測定を行う。
【解決手段】ＡＤ変換器の特性を測定する測定装置であって、ＡＤ変換器に対して所定の波形のアナログ入力信号を供給する信号供給部と、アナログ入力信号をサンプリングしたＡＤ変換器が出力するデジタル出力信号を取得する取得部と、デジタル出力信号のヒストグラムを生成する測定ヒストグラム生成部と、デジタル出力信号を測定した測定ヒストグラムにおいて、デジタル値が所定のデジタル範囲以下の部分に対応する頻度、およびデジタル値がデジタル範囲以上の部分に対応する頻度の少なくとも一方に基づいて、デジタル範囲の下限および上限の少なくとも一方に対応するアナログ値を算出する範囲算出部と、を備える測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】半導体素子の電流試験の測定時間を短縮することができる半導体試験装置及び半導体試験方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる半導体試験装置１は、電流検出回路１１と、電流引込回路１２と、判定装置１３を備えている。電流引込回路１２は、半導体素子１０に接続され、所定の電圧が印加された半導体素子１０に流れた測定電流から、当該測定電流から分岐される分岐電流を引き込む。電流検出回路１１は、半導体素子１０に接続され、半導体素子１０に流れた測定電流から電流引込回路１２に流れた分岐電流を減じた検出電流を検出する。判定装置１３は、検出電流に基づいて、半導体素子１０の良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】低周波数での測定のみが行える汎用テスタを使用して、半導体装置の出力回路の高周波信号出力動作を確認可能にすること。
【解決手段】高周波信号の出力回路16を備える半導体装置10の出力動作を、低周波信号の強度検出機能を備えるテスタ2で確認する測定方法であって、半導体装置の出力回路16から所定のデューティ比で高周波信号を出力し、出力された高周波信号を低周波信号に変換し、低周波信号の信号強度をテスタで測定し、測定した信号強度に基づいて、出力回路からの高周波信号の出力動作を確認する。 （もっと読む）