Fターム[2H025AA00]の内容
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Fターム[2H025AA00]の下位に属するFターム
感度 (1,798)
解像度 (2,108)
パターン形状の改良 (1,130)
現像性・画像再現性 (1,814)
耐溶剤性 (316)
耐酸性 (158)
耐アルカリ性 (144)
耐ドライエッチング性 (280)
耐熱性 (885)
耐候性 (523)
耐刷性 (720)
膜強度・耐キズ性 (564)
密着性 (867)
非粘着性 (81)
剥離性 (124)
転写性 (90)
平滑性 (443)
導電性 (40)
絶縁性 (278)
Fターム[2H025AA00]に分類される特許
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感光性黒色組成物およびカラーフィルタ
【課題】 同一の遮光成分の含有量においてより高い遮光性を有し、良好なパターン形状、高精細に適した感光性黒色組成物、および遮光性が高く、高精細に適したブラックマトリックスを備えるカラーフィルタを提供するである。
【解決手段】 (a)カーボンブラック、(b)分散剤、(c)色素誘導体、(d)光重合開始剤、 (e)エチレン性不飽和化合物、および (f)樹脂を含有してなる感光性黒色組成物において、(a)カーボンブラックの平均一次粒子径が15〜25nm、比表面積が100〜180m2/g、フタル酸ジブチル(DBP)吸油量が55cm3/100g以下であることを特徴とする感光性黒色組成物である。
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液浸露光用ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法
【課題】良好なリソグラフィー特性を有し、かつ液浸露光用として好適な疎水性を有する液浸露光用ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)と、フッ素原子を有する芳香族環式基を側鎖に含む高分子化合物(C)とを含有する液浸露光用ポジ型レジスト組成物。
[化1]
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微細中空体の形成方法および微細中空体
【課題】熱リソグラフィーを応用して、簡便に微細中空体を形成する方法、および該方法により形成された微細中空体の提供。
【解決手段】支持体とレジスト膜との間に、熱リソグラフィーにおいて用いられる露光光源の波長の光を吸収するレジスト下層膜を有するレジスト積層体に対し、前記レジスト下層膜に吸収される波長の光を用いて選択的露光を行うことを特徴とする、微細中空体の形成方法、および該微細中空体の形成方法により形成された微細中空体。
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感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性フィルム
【課題】めっき耐性を有し、現像性の良好なポジ型感光性組成物及び該感光性樹脂組成物からなる感光性フィルムを提供することである。
【解決手段】本発明の感光性樹脂組成物は、(A)アルカリ溶解性樹脂と、(B)キノンジアジド構造を有する感光剤と、(C)分子構造中にカルボキシル基を有する化合物と、を含有することを特徴とする。
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カラーフィルタパネルの製造方法
【課題】カラーフィルタパネル製造装置の占有面積を減らす。
【解決手段】基板上に複数のカラーレジストを有するカラーフィルタパネルの製造方法であって、基板上に一色のカラーレジストを塗布するレジスト塗布工程と、前記レジスト塗布工程により塗布されたカラーレジストを露光装置6により所定のパターンに露光する露光工程と、を有し、前記レジスト塗布工程で塗布されるカラーレジストの色を切り替え、前記レジスト塗布工程により塗布されたカラーレジストを有する基板を露光装置6に供給し、露光工程により露光されたカラーレジストを有する基板をレジスト塗布工程に再度供給することで、二つの工程を組にして循環させるカラーフィルタパネルの製造方法。
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カラーフィルター用着色組成物、カラーフィルターの製造方法およびカラーフィルター
【課題】輝度やコントラストなどの表示色特性に優れたカラーフィルター用着色組成物の提供。
【解決手段】顔料と樹脂ワニスとからなるカラーフィルター用着色組成物において、上記顔料が、同一色相または類似色相の2種類以上の混合顔料であり、該混合顔料が、上記の2種類以上の粗顔料をそれぞれ単独で水溶性無機塩とともに磨砕した磨砕物を、所定の割合で混合し、該混合物からともに水溶性無機塩を除去してなる混合顔料であることを特徴とするカラーフィルター用着色組成物。
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感光性樹脂組成物及びそれを用いて得られるフレキシブル配線板
【課題】ノンハロゲン組成で環境負荷が少なく、しかも十分な難燃性を発揮すると共に、その硬化物は可撓性に優れるFPC用の感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有樹脂、(B)リン元素含有アクリレート、(C)光重合開始剤を含有する。好適には、前記光重合開始剤は、オキシム系光重合開始剤、特にオキシムエステル系光重合開始剤、アミノアセトフェノン系光重合開始剤(C2)及び/又はアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤(C3)である。前記カルボキシル基含有樹脂(A)は、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビフェニル骨格、ビキシレノール骨格もしくはその水添骨格である構造を有する樹脂であることが好ましく、特にウレタン構造を有する樹脂、又は2個以上のラジカル重合性不飽和二重結合を有する樹脂が好ましい。さらに(D)熱硬化成分を含有することが好ましい。
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感光性着色組成物およびカラーフィルタ
【課題】本発明では、顔料の凝集を抑え分散体の安定性に優れるカラーフィルタ用着色組成物を提供すること、およびこれを用いて高コントラストなカラーフィルタを提供することを目的とする。
【解決手段】分子内に2つの水酸基と1つのチオール基とを有する化合物の存在下に、エチレン性不飽和単量体として単量体全体の40〜60重量%のベンジルメタクリレートと単量体全体の40〜60重量%のn−ブチルメタクリレートとをラジカル重合してなる、片末端に2つの水酸基を有するビニル重合体(a)中の水酸基と、芳香族テトラカルボン酸無水物中の酸無水物基とを反応させてなるポリエステル分散剤(S)と、顔料と、エチレン性不飽和単量体を含む顔料担体と、を含有することを特徴とするカラーフィルタ用感光性着色組成物。
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中空構造を有する成形体の製造法
【課題】感光性樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィーにより、工程が簡便で、工程歩留まりが高く、高精度な中空構造を有する成形体を安価に作成する方法を確立すること。
【解決手段】基板上に、波長が400nm以上の光に感光しない第1の感光性樹脂層を形成し、第1のマスクを介して波長が400nm未満の光を照射する工程、現像処理を施すこと無く、前記工程により感光処理された第1の感光性樹脂層の上に、波長が400nm以上の光に感光する固形分90重量%以上の固形又は半固形の第2の感光性樹脂層を形成し、第2のマスクを介して波長が400nm以上の光を照射する工程、前記第1及び第2の感光性樹脂層に一括で加熱処理を施す工程、及び前記第1及び第2の感光性樹脂層の未感光部を一括で現像する工程を有する、中空構造を有する成形体の製造法。
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カラーフィルタの製造方法
【課題】ドライエッチング法を用いたカラーフィルタの製造方法であって、ドライエッチング処理後のフォトレジスト層の除去が容易であって、所望の着色層パターンを形成することが可能なカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】(a)支持体上に着色層を形成する工程と、(b)前記着色層上にフォトレジスト層を形成する工程と、(c)前記フォトレジスト層をパターン様に除去して前記着色層上に画像を形成する工程と、(d)前記パターン様に前記着色層をフッ素系ガスと酸素とを含むガスを用いたドライエッチング処理により除去する工程と、(e)前記ドライエッチング処理によりフォトレジスト層の露出面側に形成された表面変質層を、含酸素ガスを用いたドライエッチング処理により除去する工程と、(f)残存するフォトレジスト層を除去する工程と、を含むカラーフィルタの製造方法とする。
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反応性樹脂組成物、カラーフィルター及び画像表示装置
【課題】リブやスペーサーを好ましい形状に形成することができると共に、電圧保持率や残留電位、電気容量といった電気特性に優れた反応性樹脂組成物を提供し、それを用いてLCDのリブやスペーサーを形成した場合に、液晶層への悪影響を与えないことで表示ムラや残像と言った問題を改善する。
【解決手段】下記の(A)及び(B)を構成成分として含む液晶配向制御突起形成用、スペーサー形成用、又は、スペーサー及び液晶配向制御突起同時形用の反応性樹脂組成物。この反応性樹脂組成物を用いて形成された液晶配向制御突起及び/又はスペーサーを有するカラーフィルター及び画像表示装置。
(A)ビフェニル化合物とフェノール類との縮合体を骨格に持つ樹脂
(B)光重合開始剤及び/又は光酸発生剤
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化合物及びその互変異性体、金属錯体化合物、感光性着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法
【課題】青色、緑色、赤色に配置された原色カラーフィルタ用に有用であって、色純度に優れ、薄層化可能な高いモル吸光係数を有し、且つ堅牢性に優れた感光性着色硬化性組成物を提供する。
【解決手段】着色剤として、下記一般式(I)で表されるジピロメテン系化合物と、金属又は金属化合物と、から得られるジピロメテン系金属錯体化合物を含有する感光性着色硬化性組成物。
〔一般式(I)中、R1〜R6は各々独立に、水素原子、又は置換基を表す。R7は、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基を表す。〕
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ポジ型感光性組成物
【課題】高感度で、パターンのエッジラフネスが改良されたポジ型感光性組成物を提供する。
【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、(C)分子内に少なくとも炭素数8以上の置換又は無置換の脂肪族炭化水素基を含有する塩基性化合物及び(C)成分の塩基性化合物以外の含窒素塩基性化合物を含有するポジ型感光性組成物。
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光硬化性樹脂組成物およびその硬化物
【課題】銅回路の酸化による変色に起因する外観不良の隠蔽性に優れたソルダーレジスト層を形成可能な着色光硬化性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(A)カルボン酸含有樹脂、(B)光重合開始剤、(C)分子中に2個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物、および(D)赤色着色剤を含有する希アルカリ溶液により現像可能な光硬化性樹脂組成物。
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含フッ素高分子化合物、液浸露光用ポジ型レジスト組成物、及びレジストパターン形成方法
【課題】露光後加熱後には親水性となるような液浸露光用として好適な疎水性と、良好なリソグラフィー特性とを有する液浸露光用ポジ型レジスト組成物に好適な含フッ素高分子化合物、該含フッ素高分子化合物を含有するレジスト組成物、及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】R2O基がエチルアルコール残基の1位に置換したエチル(メタ)アクリレートのみを重合して得られる含フッ素高分子化合物。但し、R2はフッ素原子で置換された脂肪族炭化水素基、又はフッ素原子で置換されていてもよい脂肪族炭化水素基の複数個がヘテロ原子を含む連結基を介して結合した基である。R2において、フッ素原子で置換されていてもよい脂肪族炭化水素基の複数個がヘテロ原子を含む連結基を介して結合する場合、該フッ素原子で置換されていてもよい脂肪族炭化水素基の少なくとも1つはフッ素原子で置換された脂肪族炭化水素基である。
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平版印刷版原版
【課題】高感度により、高速のレーザーによる書き込みが可能であり、充分な保存安定性を有し、合紙を介在させずに複数枚を直接積層した場合にも、当該積層に起因する感光層側の最表面とそれに隣接する支持体の裏面との接着およびこすりキズの発生を抑制し、且つ形成される画像におけるキズの発生を効果的に抑制した平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】重合性化合物と、赤外線吸収剤と、オニウム塩化合物および炭素−ハロゲン結合を有する化合物から選択される少なくとも1種の重合開始剤と、有機ホウ素化合物と、を含有する感光層、並びにフィラー(好ましくはシリカで表面を被覆された有機樹脂微粒子)を含有する保護層を、支持体上に順次積層し、前記感光層の表面に形成された層の酸素透過性が25ml/m2・day・atm以上200ml/m2・day・atm以下である平版印刷版原版。
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化合物、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターン形成方法
【課題】レジスト組成物用酸発生剤として好適な化合物、該化合物からなる酸発生剤、該酸発生剤を含有するレジスト組成物及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】レジスト組成物用酸発生剤として、下式の化合物(式中、R40はハロゲン原子、特にフッ素原子;R41〜R43はアルキル基等;n0は1〜5;n1〜n3は0等;X−は1価の有機アニオン)。
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パターン形成方法
【解決手段】フォトレジスト材料を基板上に塗布する工程と、加熱処理後、炭素数4〜10の高級アルコールを含む溶液でフォトレジスト膜表面を濡らした後に、保護膜を塗布し、加熱処理後、高エネルギー線で露光する工程と、現像液を用いて現像する工程とを含むことを特徴とするパターン形成方法。
【効果】本発明のパターン形成方法によれば、フォトレジスト膜は、保護膜を適用する液浸リソグラフィープロセスにおいて、保護膜を塗布する前にレジスト膜表面を炭素数4〜10の高級アルコールで濡らしておいてから保護膜を塗布することによって、レジスト添加物の保護膜層への移動を防ぐことによってパターン形状の変化を最小限に抑えることができる。また、アルコール処理によってレジスト膜表面を親水性化することによってブロッブ欠陥の発生を防ぎ、保護膜を塗布するときのディスペンス量を削減することができる。
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塗布装置
【課題】ガントリが走行するレールを分割構造にした場合であっても、レールの分割部がガントリの定速走行性に与える影響を抑えるとともに、分割されたレールの組付け作業を容易にすることにより、組付け精度の向上を図ることができるとともに作業時間の短縮化を図ることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を保持するステージと、前記ステージに沿って特定方向に延びるとともに複数に分割されたレールと、基板上に塗布液を塗布する塗布ユニットと、を備えており、前記レールは、前記塗布ユニットが塗布液の吐出開始から吐出終了まで走行する塗布走行部と、この塗布走行部から特定方向に延長された延長部とを有しており、この延長部に、前記レールを分割する分割部を形成する。
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アルカリ現像型樹脂、フォトスペーサ用感光性樹脂組成物、及びこれを用いた液晶表示装置用基板
【課題】ODF方式の液晶注入でも気泡なく、パネル化マージンを持ち、低温下にても気泡がなく、外圧でも表示不良を生じ難いフォトスペーサを形成する感光性樹脂組成物用のアルカリ現像型樹脂、フォトスペーサ用感光性樹脂組成物、液晶表示装置用基板を提供する。
【解決手段】1分子に1個以上のエポキシ基を持つエポキシ化合物と、1分子に2個のカルボン酸を持つジカルボン酸化合物との交互共重合体であって、前記ジカルボン酸化合物はジスルフィド基を持つジカルボン酸化合物である交互共重合体に酸無水物を付加させてなるアルカリ現像型樹脂。該アルカリ現像型樹脂を含有したフォトスペーサ用感光性樹脂組成物。
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