Fターム[2H025AA00]の内容
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感度 (1,798)
解像度 (2,108)
パターン形状の改良 (1,130)
現像性・画像再現性 (1,814)
耐溶剤性 (316)
耐酸性 (158)
耐アルカリ性 (144)
耐ドライエッチング性 (280)
耐熱性 (885)
耐候性 (523)
耐刷性 (720)
膜強度・耐キズ性 (564)
密着性 (867)
非粘着性 (81)
剥離性 (124)
転写性 (90)
平滑性 (443)
導電性 (40)
絶縁性 (278)
Fターム[2H025AA00]に分類される特許
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着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子
【課題】水ムラのない画素を与えることができる着色層形成用感放射線性組成物を提供すること、およびプレベーク工程を省いても、十分な諸特性を有する画素及びブラックマトリックスを与えることのできる着色層形成用感放射線性組成物を提供すること。
【解決手段】着色層形成用感放射線性組成物は、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)2個以上の重合性不飽和結合を有する単量体、(D)オキセタニル基を有する化合物、(E)感放射線性ラジカル発生剤、並びに(F)特定のオニウムフッ素化アルキルフルオロリン酸塩を含有する。
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カラーフィルタ用シアン色感光性着色組成物、それを用いたカラーフィルタおよび液晶表示装置
【課題】高輝度かつ、色再現領域が広いカラーフィルタ、その製造に用いられるシアン色感光性着色組成物、およびメリハリのある鮮やかな色を表現し得る液晶表示装置を提供する。
【解決手段】透明樹脂、その前駆体またはそれらの混合物からなる色素担体と、C.I.Pigmeent Blue 15:3を含むフタロシアニン系青色顔料と、C.I.Pigment Green 58を含むフタロシアニン系緑色顔料とを、共に含有することを特徴とするカラーフィルタ用シアン色感光性着色組成物。このシアン色感光性着色組成物から形成されるシアン色フィルタセグメントを備えることを特徴とするカラーフィルタ。
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着色感光性組成物、並びにそれを用いた色フィルタアレイ及び固体撮像素子
【課題】分光特性が改善された色フィルタアレイを形成し得る着色感光性組成物を提供する。
【解決手段】着色感光性組成物は、式(I)で表される化合物又はその塩を含有する〔式(I)中、R1〜R4は、水素原子、C1-10飽和脂肪族炭化水素基又はカルボキシル基を表す。R5〜R12は、水素原子、ハロゲン原子、(ハロゲン化)C1-10飽和脂肪族炭化水素基、C1-8アルコキシル基、カルボキシル基、スルホ基、又は(N−置換)スルファモイル基を表し、R5〜R12の少なくとも1つは、N−置換スルファモイル基である。R13及びR14は、水素原子、シアノ基、又は(N−置換)カルバモイル基を表す〕。
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着色感光性組成物、並びにそれを用いた色フィルタアレイ及び固体撮像素子
【課題】耐光性が改善された色フィルタアレイを形成し得る着色感光性組成物を提供する。
【解決手段】着色感光性組成物は、式(I)で表される化合物又はその塩を含有する〔式(I)中、Z1及びZ2は、酸素又は硫黄原子を表す。R1〜R4は、水素原子、飽和脂肪族炭化水素基(ヒドロキシル基等が置換していてもよい)、アリール基、アラルキル基、又はアシル基を表す。R5〜R12は、水素原子、ハロゲン原子、(ハロゲン化)飽和脂肪族炭化水素基、アルコキシル基、カルボキシル基、スルホ基、又は(N−置換)スルファモイル基を表し、R5〜R12の少なくとも1つは、N−置換スルファモイル基である〕。
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着色感光性樹脂組成物
【課題】撥インク性がより向上した着色感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】光重合性化合物(A)と、撥インク性化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、着色剤(D)と、を含有する着色感光性樹脂組成物において、撥インク性化合物(B)として、エチレン性不飽和基及びケイ素原子に結合した少なくとも1つのアルコキシ基を有するケイ素含有モノマー(B1)と、該ケイ素含有モノマー(B1)と共重合可能なフッ素系モノマー(B2)とを少なくとも共重合させた共重合体を用いる。
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重合性含フッ素単量体および含フッ素重合体ならびにレジストパターン形成方法
【課題】半導体装置の製造等における微細パターンを形成するためのレジスト積層体のレジスト層や保護層などに好適で、さらには水を液状媒体に用いる液浸リソグラフィーにおいて特に有用な重合性含フッ素単量体および含フッ素重合体ならびにレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】式(1):
(式中、R1は水素原子または酸素原子、窒素原子、硫黄原子もしくはハロゲン原子を含んでいてもよい鎖状もしくは環状の飽和もしくは不飽和の1価の炭素数1〜15の炭化水素基)で示される重合性含フッ素単量体、その単独または共重合体、これらを用いた液浸リソグラフィー法によるレジストパターン形成方法。
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着色感光性樹脂組成物
【課題】高い撥インク性を有し、現像性も良好な着色感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】光重合性化合物(A)と、撥インク性化合物(B)と、光重合開始剤(C)と、着色剤(D)と、を含有する着色感光性樹脂組成物において、撥インク性化合物(B)として、エチレン性不飽和基及び下記式(b1)で表される構造を有するモノマー(B1)と、該モノマー(B1)と共重合可能なフッ素系モノマー(B2)とを少なくとも共重合させた共重合体を用いる。
(式(b1)中、R1bは炭素数1〜5のアルキレン基を示し、nは1以上の整数を示す。)
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光硬化性樹脂組成物用環状エーテル化合物
【課題】本発明は、階調マスクを用いて形成された厚みの差が大きい異種部材を、アウトガスの発生が少ないものとすることができる光硬化性樹脂組成物用環状エーテル化合物を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、エステル基を含まず、エポキシ基またはオキセタン環を含み、階調マスクを用いた厚みの異なる異種部材の一括形成に用いられることを特徴とする光硬化性樹脂組成物用環状エーテル化合物を提供することにより、上記目的を達成するものである。
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パターン形成方法
【課題】ダブルパターニング法によるパターン不良の発生を防止して、良好な形状を有する微細パターンを得られるようにする。
【解決手段】基板101の上にポジ型化学増幅レジストからなるレジスト膜102を形成し、その上にアルカリ可溶で芳香環を有するフッ素ポリマーを含む光吸収膜103を形成する。その後、第1のマスクを介した極紫外線からなる第1の露光光104をレジスト膜に光吸収膜を通して照射することにより第1のパターン露光を行う。続いて、第2のマスクを介した露光光105をレジスト膜に光吸収膜を通して照射することにより第2のパターン露光を行う。基板を加熱した後、レジスト膜を現像して光吸収膜を除去すると共にレジスト膜からレジストパターン102aを形成する。第2のマスクの開口部は、第1のマスクにおける開口部が形成されていない非開口部に相当する領域に形成されている。
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ホログラム記録材料及びホログラム記録媒体
【課題】回折効率が向上したホログラム記録材料、及び、このホログラム記録材料を用いて記録層を形成したホログラム記録媒体を提供する。
【解決手段】本発明のホログラム記録材料は、表面がアルコキシシラン化合物および/または有機酸により修飾されかつ平均分散粒径が1nm以上かつ20nm以下のジルコニア微粒子を含有し、このジルコニア微粒子における修飾部分の質量比を10質量%以上かつ200質量%以下とし、硬化前の粘度を10000mPa・s以下とした。
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スルホン酸誘導体及び光酸発生剤
【課題】光酸発生剤とフォトレジスト組成物の主成分である酸解離基を有するポリマーとの相溶性が悪いという問題点を伴うことがなく、光酸発生剤としての機能を有するスルホン酸誘導体を提供する。
【解決手段】例えばトリフェニルスルホニウム4−ビニロキシエトキシフェニルスルホン酸塩、トリ(tert−ブチルベンゼン)スルホニル4−ビニロキシエトキシフェニルスルホン酸塩及びトリフェニルスルホニウム4−ビニロキシオクトキシフェニルスルホン酸塩のようなスルホン酸誘導体。
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パターン形成方法並びにこれに用いるレジスト材料
【解決手段】フェノール基含有繰り返し単位と酸によりアルカリ溶解性が向上する繰り返し単位とを共重合してなる高分子化合物を含む第1のポジ型レジスト材料を基板上に塗布して第1のレジスト膜を形成し、加熱処理後に高エネルギー線で露光し、加熱処理後に現像液で現像し、その後波長300nm以下の高エネルギー線の照射により第1のレジスト膜を架橋硬化させ、その上に第2のポジ型レジスト材料を基板上に塗布して第2のレジスト膜を形成し、加熱処理後に高エネルギー線で上記第2のレジスト膜を露光し、加熱処理後に現像液を用いて第2のレジスト膜を現像する工程を有するパターン形成方法。
【効果】本発明によれば、上記第1のポジ型レジスト材料で第1のパターンを形成後不溶化し、その上に第2のレジスト材料を塗布し、第1パターンのスペース部分に第2パターンを形成することでダブルパターニングを行い、一度のドライエッチングで基板を加工できる。
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ホログラフィック記録用化合物、ホログラフィック記録用組成物、およびホログラフィック記録媒体
【課題】短波長光による記録において記録容量が大きく、かつ感度が高いデジタルボリュームホログラフィに好適なホログラフィック記録用化合物、上記化合物を含むホログラフィック記録用組成物、および上記化合物を用いた超高密度光記録が可能なホログラフィック記録媒体を提供すること。
【解決手段】下記一般式(I)で表されるホログラフィック記録用化合物。上記化合物を含むホログラフィック記録用組成物およびホログラフィック記録媒体。
[一般式(I)中、R1およびR2は、それぞれ独立に水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基またはスルホニル基を表し、R3、R4およびR5は、それぞれ独立に水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、AおよびBは、それぞれ独立に電子求引性の置換基を表し、R1、R2、R3、R4、R5、AおよびBの少なくとも1つは重合性基を含む。ただし、AとBは共に連結して環状構造をとることはない。]
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回折構造形成体の製造方法
【課題】位置合わせなしに回折構造による絵柄と金属層による絵柄の位置が合った回折構造形成体を製造できる方法を提供する。
【解決手段】基材表面の一部に回折構造を形成する工程と、前記回折構造が形成された表面全面に金属層を形成し、前記金属層の全面にレーザー光を万線状または網点状に照射し、回折構造における吸収を利用して回折構造上の金属層の一部を選択的に破壊する工程と、前記回折構造が形成された表面全面にフォトレジストを形成し、露光光を金属層の一部が選択的に破壊された部分を通すことによって生じた回折光を前記フォトレジストに照射して前記回折構造上のフォトレジストを硬化させ、現像して前記回折構造を覆うレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンをマスクとしてエッチングを行い、前記回折構造以外の部分の金属層を除去する工程とを有する回折構造形成体の製造方法。
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プリウェット剤及びそのプリウェット剤を用いたレジスト保護膜形成方法
【課題】液浸露光プロセスに必要なレジスト保護膜形成用組成物の消費量を削減することができるレジスト保護膜用プリウェット剤及びそのプリウェット剤を用いたレジスト保護膜形成方法を提供する。
【解決手段】レジスト膜上にレジスト保護膜形成用組成物を塗布し、レジスト保護膜を形成する前に、前記レジスト膜上に塗布又は散布される溶剤であるプリウェット剤として、アルコール系溶剤及び/又はエーテル系溶剤を用いる。アルコール系溶剤としては4−メチル−2−ペンタノールが特に好ましく、エーテル系溶剤としてはジブチルエーテル、ジイソアミルエーテル、1,8−シネオールが特に好ましい。
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インクジェット法カラーフィルター用ブラックマトリックス形成用組成物、およびこれを用いたブラックマトリックスの形成方法、ブラックマトリックス、カラーフィルターおよび液晶表示装置
【課題】 ブラックマトリックスのプラズマ処理において、高い親液プラズマ耐性を有するインクジェット法カラーフィルター用ブラックマトリックスを提供する。
【解決手段】 少なくとも色材、バインダー樹脂および溶媒を含むインクジェット法カラーフィルター用ブラックマトリックス形成用組成物であって、該組成物から溶媒を除いた固形分の軟化点が110℃以下であることを特徴とする、インクジェット法カラーフィルター用ブラックマトリックス形成用組成物。
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感光性樹脂印刷版原版
【課題】カバーフィルム剥離時に感熱マスク層に破れやキズ、ピンホールを生じず、赤外レーザーの照射時に感熱マスク層が速やかに融除する、高品位な樹脂凸版印刷版を作製できるコンピューター製版可能な感光性樹脂印刷版原版を提供することにある。
【解決手段】基板上に、水に溶解または分散可能な樹脂および紫外光により硬化可能なモノマーを含有する感光性樹脂層(A)、接着力調整層(B)、および赤外線吸収物質を含有する感熱マスク層(C)、剥離補助層(D)、剥離補助層(D)に接する面の表面粗さRaが0.1〜0.6μmであるカバーフィルム(E)を有する感光性樹脂印刷版原板において、剥離補助層(D)が特定の官能基を有する陰イオン界面活性剤を含有することを特徴とする感光性樹脂印刷版原版による。
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印刷原版用感光性樹脂積層体及びそれから得られる感光性樹脂原版
【課題】
厚み精度も良好でソリのない印刷原版用感光性樹脂積層体を工業的に生産することを可能にし、その結果として新聞印刷適性に優れた印刷原版の提供を可能にするものである。
【解決手段】
(1)少なくとも金属支持体、合成ゴム系感光性樹脂層およびカバーフィルムを有する感光性樹脂積層体において、該感光性樹積層体の厚みが700μm以下であり、且つ前記金属支持体が80〜200μmであって、前記カバーフィルムとして100℃におけるカバーフィルムの加熱収縮率が0.1%未満の厚さ75〜188μmのフィルムを用いることを特徴とする感光性樹脂積層体。(2)該カバーフィルムが100〜125μmのポリエチレンテレフタレートであることを特徴とする(1)の感光性樹脂積層体。(3)該感光性樹積層体の合成ゴム系感光性樹脂層が(A)水分散ラテックスから得られる少なくとも2種の疎水性重合体(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤を含み、また、上記の成分に加えて、(D)親水性重合体などを含有した感光性樹脂組成物からなることを特徴とする(2)の感光性樹脂積層体。(4)(1)〜(3)の感光性樹脂積層体より得られることを特徴とする新聞印刷用感光性樹脂原版。
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新規な化合物、酸発生剤、レジスト組成物およびレジストパターン形成方法
【課題】レジスト組成物用の酸発生剤として有用である新規な化合物、該化合物の前駆体として有用である化合物、酸発生剤、レジスト組成物、およびレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】一般式(I)で表される化合物。一般式(b1−1)で表される化合物。式中、Q1は二価の連結基又は単結合であり;Y1は置換基を有していてもよいアルキレン基又は置換基を有していてもよいフッ素化アルキレン基であり;Xは置換基を有していてもよい、フッ素原子を有する炭素数5〜30の芳香族環式基である。M+はアルカリ金属イオンである。A+は有機カチオンである。
[化1]
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カラーフィルタ及びそれを用いた液晶表示装置
【課題】微細分散性と分散安定性とを有する顔料微粒子の分散組成物を用いて作製した、色特性が良好でコントラストの高いカラーフィルタ、及びそれを用いた優れた表示特性を示す液晶表示装置を提供する。
【解決手段】良溶媒に有機顔料を溶解した溶液と該良溶媒に相溶する前記有機顔料の貧溶媒とを混合することにより形成した有機顔料粒子を含む顔料分散組成物と、グラフト型高分子化合物とを含有する画素を有して成るカラーフィルタ。
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