Fターム[2H025AA00]の内容
フォトレジストの材料 (104,520) | 目的 (13,098)
Fターム[2H025AA00]の下位に属するFターム
感度 (1,798)
解像度 (2,108)
パターン形状の改良 (1,130)
現像性・画像再現性 (1,814)
耐溶剤性 (316)
耐酸性 (158)
耐アルカリ性 (144)
耐ドライエッチング性 (280)
耐熱性 (885)
耐候性 (523)
耐刷性 (720)
膜強度・耐キズ性 (564)
密着性 (867)
非粘着性 (81)
剥離性 (124)
転写性 (90)
平滑性 (443)
導電性 (40)
絶縁性 (278)
Fターム[2H025AA00]に分類される特許
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ホログラフィック記録用組成物、ホログラフィック記録媒体、情報記録方法および新規化合物
【課題】体積収縮が小さく、感度が高いデジタルボリュームホログラフィに好適なホログラフィック記録用組成物および該ホログラフィック記録用組成物を用いた超高密度光記録が可能なホログラフィック記録媒体を提供すること。
【解決手段】下記一般式(1)で表される化合物を含有するホログラフィック記録用組成物。前記ホログラフィック記録用組成物から形成された記録層を有するホログラフィック記録媒体。前記媒体への情報記録方法。
[一般式(1)中、Mはラジカル重合性基またはラジカル重合性基を含む置換基を表し、Aは2価の連結基を表し、Lは、光照射により分解可能な置換基を表す。]
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赤色着色組成物、および該着色組成物から形成される赤色着色塗膜
【課題】視野角依存性が良好な赤色フィルタセグメントを形成できる赤色着色組成物、および視野角依存性が良好な赤色着色塗膜の提供。
【解決手段】透明樹脂、その前駆体またはそれらの混合物からなる顔料担体と、顔料とを含有する着色組成物であって、前記顔料が、チアジン系顔料とジケトピロロピロール系顔料との好ましくは90:10〜50:50の重量比率の固溶体であることを特徴とする赤色着色組成物、および該赤色着色組成物から形成され、好ましくは吸光度が最大となる波長が550nm±10nmである赤色着色塗膜。
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マイクロレンズ用感光性ガラスペーストおよびそれを用いたマイクロレンズアレイ
【課題】受光効率を著しく向上させ、低消費電力および薄型化に貢献することができるマイクロレンズ用感光性ガラスペーストを提供すること。
【解決手段】少なくともガラス粉末と感光性有機成分を含有し、前記ガラス粉末を焼成して得られるガラスの屈折率が2以上であることを特徴とするマイクロレンズ用感光性ガラスペースト。
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含フッ素樹脂、感光性樹脂組成物及びフォトレジスト
【課題】優れた撥インク性、その持続性、インク転落性、その持続性及び現像性を奏する含フッ素樹脂、及び優れた撥インク性、その持続性、インク転落性、その持続性に優れた塗膜を形成することができ、さらには微細なパターン形成が可能な感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】ポリフルオロエーテル構造からなるRf基(a)と、酸性基(b)とを有し、フッ素原子の含有量が5〜40%である含フッ素樹脂。該含フッ素樹脂(A)と、光酸発生剤(B)と、酸架橋剤(C)とを含有する感光性樹脂組成物。該含フッ素樹脂(A)と、光酸発生剤(B)と、酸架橋剤(C)と、アルカリ可溶性樹脂(D)とを含有する感光性樹脂組成物。
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チオール化合物
【課題】メルカプト基に対してα位および/またはβ位の炭素原子に置換基を有するメルカプト基含有基を有する新規なチオール化合物の提供。
【解決手段】一般式(2)
(式中、R1およびR2は各々独立して水素原子または炭素数1〜10のアルキル基を表わし、その少なくとも一方はアルキル基であり、mは0または1〜2の整数であり、nは0または1である。)で示されるメルカプト基含有カルボン酸と多官能アルコールとのエステル化物であるチオール化合物。
【効果】チオール化合物及び光重合開始剤組成物を含む感光性組成物は、高感度かつ保存性に優れた、また生産性向上によるコストダウンが可能となる。
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液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法
【課題】
カラーフィルタ用基板上に黒色樹脂組成物よりなるブラックマトリクスを形成し、その上に着色感光性アクリル系樹脂組成物溶液を塗布し、フォトリソグラフィ工程を用いて該着色感光性樹脂組成物よりなる画素部を形成する液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、該ブラックマトリクスの高さが高い場合に問題となる乗上げ段差を減少し、少なくとも0.5μm以下にする。
【解決手段】
ブラックマトリクスとしてブラックマトリクスの幅方向の垂直断面形状が該ブラックマトリクスの底面端部と最大膜厚到達点を結ぶ直線と該底面とがなす角度をθとするとき、θが45度以下であるものを使用し、また該着色感光性アクリル系樹脂組成物溶液として、少なくともグリコールジアルキルエーテルを1質量%から30質量%含有するものを使用する。
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顔料分散組成物、硬化性組成物、並びにカラーフィルタ及びその製造方法
【課題】酸性分散樹脂と塩基性分散樹脂のいずれを用いた場合でも、高分散性および高分散安定性を有する顔料分散組成物、これを用いた硬化性組成物を提供することを目的とする。さらに、本発明の硬化性組成物を用いることにより、高分散性、高分散安定性および高現像性を両立できるカラーフィルタおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】(A)塩基性基または酸性基を有する樹脂、(B)顔料部分骨格または顔料類似骨格と、塩基性基および酸性基を同一分子内に有する顔料誘導体、(C)顔料、および、(D)溶剤を含有することを特徴とする顔料分散組成物。
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ジピロメテン系ホウ素錯体化合物及びその互換異性体、感光性着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法
【課題】青色、緑色、赤色に配置された原色カラーフィルタ用に有用であって、色純度に優れ、薄層化可能な高いモル吸光係数を有し、且つ堅牢性に優れた感光性着色硬化性組成物を提供する。
【解決手段】着色剤として、下記一般式(I)で表されるジピロメテン系ホウ素錯体化合物を含有する感光性着色硬化性組成物。
〔一般式(I)中、R1〜R6は各々独立に、水素原子、又は置換基を表し、R7は、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、又はヘテロ環基を表し、X1、及びY1は各々独立に、ハロゲン原子、アルコキシ基、アリールオキシ基、水酸基、アルキルチオ基、アリールチオ基、又はヘテロ環チオ基を表す。〕
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カラーフィルターの製造方法
【課題】簡便で工程数を短縮でき、高いパターン精度及び生産性で、カラーフィルターを製造できる方法に関する。
【解決手段】感光性組成物3で表面が被覆されたガラス基板1の裏面から露光して、親液性の露光部5と撥液性の非露光部6とを前記ガラス基板1の表面に形成し、着色液7により露光部5を顕像化してカラーフィルターを製造する。また、前記感光性組成物3として、ポリシランとシロキサン化合物とで構成された感光性組成物3を用いる。前記製造方法において、ブラックマトリクス2が表面に形成され、かつ少なくとも前記ブラックマトリクス2が形成されていない領域に感光性組成物3の被覆層を形成し、透光性基材の裏面から露光してもよい。
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ポリオルガノシロキサン
【課題】電気・電子材料、例えば、半導体デバイス、多層配線基板の製造用として有用なポリオルガノシロキサン及びそれを用いた感光性樹脂組成物で、優れたキュア残膜率を有し、アルカリ現像可能な樹脂膜を形成することが可能なポリオルガノシロキサン及び感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】特定シラノール化合物(a)、特定アルコキシシラン(b)、及び特定酸無水物構造を含むアルコキシシラン(c)を触媒の存在下、積極的に水を添加することなく縮合させる方法で得られるポリオルガノシロキサン、及びこれを含有する感光性樹脂組成物を用いる。
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光塩基発生剤およびネガ型感光性樹脂組成物
【課題】光塩基発生剤および、該光塩基発生剤を用いたブロードバンド光により露光可能であり、200℃という低温での硬化でポリイミドを得ることのできるネガ型感光性組成物の提供。
【解決手段】(A)下記一般式(1)で表される光塩基発生剤。
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液浸露光用ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法
【課題】新規な化合物、および該化合物を用いた液浸露光用として好適な疎水性を有するポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】一般式(F1)[式中、Xはフッ素原子を有する酸解離性溶解抑制基を示し;nは1〜4の整数を表す。R50はn価の有機基であって、置換基を有していてもよい。ただし、nが1の場合、R50は重合性基を含まない有機基である。]で表される化合物。酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基材成分(A)と、露光により酸を発生する酸発生剤成分(B)と、前記一般式(F1)で表される化合物(F)とを含有することを特徴とする液浸露光用ポジ型レジスト組成物。
[化1]
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塗布装置
【課題】予備吐出面を洗浄する洗浄液の使用量を抑えることが可能な塗布装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る塗布装置は、基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、前記基板搬送部により搬送中の前記基板に対して液状体を塗布する塗布部と、前記塗布部の予備吐出動作に際して前記塗布部から前記液状体を塗布される略平面の予備吐出面を備えた予備吐出部と、を有することを特徴とする。基板を浮上させて搬送する基板搬送部と、基板搬送部により搬送中の基板に対して液状体を塗布する塗布部と、塗布部の予備吐出動作に際して塗布部から液状体を塗布される略平面の予備吐出面を備えた予備吐出部とを有することとしたので、洗浄液を大量に配置させること無く、予備吐出を行うことができる。
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感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性エレメント
【課題】優れたアルカリ現像性を有するとともに、難燃性に優れた硬化膜を形成可能であり、且つ、基板上に硬化膜を形成した際の基板の反りの発生及び反発力の増大を十分に抑制することが可能な感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(A)ビフェニル骨格を有するノボラック型酸変性ビニル基含有エポキシ樹脂と、(B)分子内にウレタン結合及びエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、(C)リン含有化合物と、(D)光重合開始剤と、を含有する、感光性樹脂組成物。
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感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
【課題】優れた接着強度が得られるとともに、感度、密着性及び解像性が良好であり、吸水率が十分に低い感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】(A)エポキシ樹脂と、(B)フェノール性水酸基及びビフェニル骨格を有するノボラック樹脂と、(C)光重合性化合物と、(D)カルボキシル基を有する樹脂と、(E)光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物。
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制電性組成物、それを用いた成形品、塗料、制電性被覆物、液晶パネル用カラーレジスト組成物およびその製造方法
【課題】ブリ−ディング、ブル−ミング、及び移行汚染が発生せず、湿度に依存せずに、即効性に優れ、物性の低下を招かず、かつ優れた制電性が持続する制電性組成物を提供することを主要な目的とする。
【解決手段】本発明の制電性組成物は、重合性化合物、樹脂又はエラストマ−を含む組成物中に、フルオロ基及びスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩が分散されてなる制電性組成物に係る。上記フルオロ基及びスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩は、揮発性有機溶媒に溶解された状態で分散されていることを特徴とする。本発明によれば、ブリ−ディング、ブル−ミング、及び移行汚染が発生せず、湿度に依存せずに、即効性に優れ、かつ優れた制電性が持続する制電性組成物を得ることができる。
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パターン形成方法
【課題】同一のレジスト膜上に複数回露光を行う多重露光プロセスにおいて、パターンの膜減りを抑えられる、多重露光に好適な、ポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法を提供することである。
【解決手段】同一のレジスト膜上に複数回露光を行う多重露光プロセスにおいて、レジスト膜の、水に対する接触角が75°以上であることを特徴とするパターン形成方法。
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感光性樹脂組成物及びその積層体
【課題】露光直後に極めて良好なコントラストを有する感光性樹脂組成物、及びそれを用いた感光性樹脂積層体を提供すること。
【解決手段】(a)カルボン酸を含有し、酸当量が100〜600であり、重量平均分子量が5,000〜500,000のアルカリ可溶性高分子:20〜80質量%、(b)エチレン性不飽和付加重合性モノマー:5〜60質量%、(c)光重合開始剤:0.1〜20質量%、及び(d)ロイコ染料:0.1〜3質量%を含有する感光性樹脂組成物であって、(b)エチレン性不飽和付加重合性モノマーとして特定の化合物を含有し、(c)光重合開始剤として特定の2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性樹脂積層体を用いる。
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レーザー彫刻可能な印刷原版用樹脂組成物、及びかかる組成物から得られるレーザー彫刻可能な印刷原版
【課題】 印刷不良を生じずかつ解像度に優れた印刷版を製造できるレーザー彫刻用印刷原版の原料となる樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(A)水分散ラッテクスから得られる疎水性重合体、(B)光重合性化合物、(C)光重合開始剤および(D)数平均分子量が1000〜30000の架橋基をもたない共役ジエン重合体を含有することを特徴とする、レーザー彫刻可能な印刷原版用感光性樹脂組成物。
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パターン膜の製造方法
【課題】感光性樹脂組成物層を形成し、該感光性樹脂組成物層を部分的に露光した後に、現像を行うことなく、表面に凹凸パターンが形成されたパターン膜を得ることを可能とするパターン膜の製造方法を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物からなる所定の厚みの感光性樹脂組成物層1を形成する工程と、感光性樹脂組成物層1が光の照射された露光部1aと、光の照射されていない未露光部1bとを有するように、感光性樹脂組成物層1を部分的に露光する工程と、露光後、現像を行わずに、未露光部1bの厚みが露光部1aの厚みよりも相対的に薄くなるように、未露光部1b及び露光部1aの感光性樹脂組成物層1を焼成する工程とを備える、パターン膜1Aの製造方法。
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