Fターム[2H025AA00]の内容
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Fターム[2H025AA00]の下位に属するFターム
感度 (1,798)
解像度 (2,108)
パターン形状の改良 (1,130)
現像性・画像再現性 (1,814)
耐溶剤性 (316)
耐酸性 (158)
耐アルカリ性 (144)
耐ドライエッチング性 (280)
耐熱性 (885)
耐候性 (523)
耐刷性 (720)
膜強度・耐キズ性 (564)
密着性 (867)
非粘着性 (81)
剥離性 (124)
転写性 (90)
平滑性 (443)
導電性 (40)
絶縁性 (278)
Fターム[2H025AA00]に分類される特許
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被膜形成方法及びそれに用いるポジ型感光性樹脂組成物
【課題】段差シリコン基板等に設けられた微細な有底の孔部や溝部における内壁面及び底面に対して、均一な被膜を高精度且つ容易に形成することができる被膜形成方法及びそれに用いるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】本被膜形成方法は、[1](a)開口部の面積が25〜10000μm2であり且つ深さが10〜200μmである孔部11及び(b)開口部の線幅が5〜200μmであり且つ深さが10〜200μmである溝部12のうちの少なくとも一方を有する段差基板1に、溶剤13を塗布する溶剤塗布工程と、[2]ポジ型感光性樹脂組成物を、孔部11及び溝部12内の溶剤13と接触するように、段差基板1に塗布する樹脂組成物塗布工程と、[3]塗膜14を乾燥する乾燥工程と、を備えており、且つ、孔部11並びに溝部12における内壁面及び底面に樹脂成分を含む被膜16を形成する。
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カラーフィルタ及びそれを用いた液晶表示装置
【課題】微細分散性と分散安定性とを有する顔料微粒子の分散組成物を用いて作製した、色特性が良好でコントラストの高いカラーフィルタ、及びそれを用いた優れた表示特性を示す液晶表示装置を提供する。
【解決手段】良溶媒に有機顔料を溶解した溶液と該良溶媒に相溶する前記有機顔料の貧溶媒とを混合することにより形成した有機顔料粒子を含む顔料分散組成物と、グラフト型高分子化合物とを含有する画素を有して成るカラーフィルタ。
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高分子化合物及びその製造方法、樹脂組成物、感光性転写材料、離画壁及びその製造方法、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに表示装置
【課題】高い撥水性及び撥インク性が得られる高分子化合物を提供する。
【解決手段】下記一般式(1)で表される高分子化合物〔R1:(m+n)価の有機連結基;R2:単結合あるいは2価の有機連結基;A1:フッ素原子を3つ以上有する部位を含む1価の有機基(n個のA1、R2は、それぞれ独立に、同一であっても、異なっていてもよい);m:1〜8;n:2〜9;m+n:3〜10;P1:高分子骨格(m個のP1は、同一であっても、異なっていてもよい)〕。
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半導体装置の製造方法
【課題】
現像処理した後ウエハ周辺部を、現像液やイソプロピルアルコールのようなアルコール類の溶剤でリンスしても、ウエハ周辺部に異物が付着している。
【解決手段】
半導体装置の製造方法は、被加工層を有する半導体ウエハの表面上方に、周辺部を除いて、レジスト膜を塗布し、塗布したレジスト膜にパターンを露光し、潜像を形成し、潜像を形成したレジスト膜を現像し、現像後の半導体ウエハの周辺部にシンナを供給し、クリーニングした後、現像したレジスト膜を用いて半導体ウエハの被加工層に加工処理を行なう。
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青色カラーフィルタ用感放射線性組成物、カラーフィルタ及び液晶表示素子
【課題】光重合開始剤をより幅広く選択し輝度の高い優れた青色画素を形成し得る青色カラーフィルタ用感放射線性組成物の提供。
【解決手段】(A)青色着色剤を含有してなる着色剤と、(B)アルカリ可溶性樹脂と、(C)多官能性単量体と、(D)下記式(3)で表される化合物、オキシムエステル系化合物及びビイミダゾール系化合物よりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有してなる光重合開始剤と、(E)フェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤及びイオウ系酸化防止剤よりなる群から選ばれる少なくとも1種を含有してなる酸化防止剤とを含む青色カラーフィルタ用感放射線性樹脂組成物。
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着色感光性樹脂組成物
【課題】本発明は、着色感光性樹脂組成物並びにかかる着色感光性樹脂組成物を使用したカラーフィルター及び液晶表示ディスプレイを提供すること。
【解決手段】(A)光重合性化合物、(B)光重合開始剤、(C)リン酸エステル化合物及び(D)着色剤を含有する感光性樹脂組成物による。特に、(C)リン酸エステル化合物が、一般式(1)
O=P(OR1)(OR2)(OR3) (1)
[式中、R1、R2及びR3は、それぞれ独立して、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシアルキル基、及び炭素数6〜20のアリール基からなる群から選択される。]で表される化合物又はその縮合物である感光性樹脂組成物による。
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感光性樹脂組成物、感光性ドライフィルム、感光性積層フィルムおよびそれらを用いたカバーレイ
【課題】高イミド化率を有する感光性ドライフィルム、感光性積層フィルムおよびそれらを用いた樹脂パターンを提供する。
【解決手段】特定の可塑剤を添加した感光性樹脂組成物を用いた、感光性ドライフィルム、感光性積層フィルムおよびそれらを用いた、樹脂パターン。
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感光性樹脂組成物、感光性ドライフィルム、感光性積層フィルムおよびそれらを用いたカバーレイ
【課題】高イミド化率を有する感光性ドライフィルム、およびそれらを用いた積層フィルム、樹脂パターンを提供する。
【解決手段】特定の可塑剤を添加した感光性樹脂組成物を用いた、感光性ドライフィルム、およびそれらを用いた積層フィルム、樹脂パターン。
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感光性ポリアミド樹脂組成物、感光性ドライフィルムおよびそれらを用いたカバーレイ
【課題】反りを低減する効果を有するポリアミド樹脂組成物、感光性ポリアミド樹脂組成物を提供する。
【解決手段】特定の構造を有するポリアミド樹脂を含む樹脂組成を用いた、感光性ドライフィルム、感光性積層フィルム、樹脂パターン。
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カラーフィルタおよびこれを備えた横電界方式の液晶表示装置
【課題】横電界方式の液晶表示装置用カラーフィルタの着色層の顔料由来の成分の液晶への溶出(耐液晶性)を改善し、液晶の比抵抗の低下を抑制し、表示品質を良好に保つ電圧保持率を確保するカラーフィルタ。
【解決手段】青色着色層中に顔料としてPB15:1、15:2、15:3、15:4を1種以上を含有し、又はPB15:1、15:2、15:3、15:4を1種以上とPV23を含有し、PB15:1、15:2、15:3、15:4の総重量をB、PV23の重量をVとするとき、B/Vが100/0〜75/25であること。B/Vが88/12〜80/20であること。
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パターン膜の製造方法
【課題】感光性樹脂組成物層を形成し、該感光性樹脂組成物層を部分的に露光した後に、現像を行うことなく、表面に凹凸パターンが形成されたパターン膜を得ることを可能とするパターン膜の製造方法を提供する。
【解決手段】感光性樹脂組成物からなる所定の厚みの感光性樹脂組成物層1を形成する工程と、感光性樹脂組成物層1が光の照射された露光部1aと、光の照射されていない未露光部1bとを有するように、かつ露光部1aの厚みが未露光部1bの厚みよりも相対的に薄くなるように、感光性樹脂組成物層1を部分的に露光する工程と、露光後、現像を行わずに、露光部1a及び未露光部1bの感光性樹脂組成物層1を焼成する工程とを備えるパターン膜1Aの製造方法。
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体積ホログラム積層体、体積ホログラム転写用シート、体積ホログラム貼着体および体積ホログラム積層体の製造方法
【課題】本発明は、単一波長のレーザー光でコンタクトコピーを試みても、体積ホログラムの模倣を困難とする体積ホログラム積層体および簡易な工程で製造できるその製造方法の提供を課題とする。
【解決手段】本発明の体積ホログラム積層体は、基材上に部分的に樹脂層が設けられると共に、該樹脂層上に隣接し、かつ前記基材上に体積ホログラム層が積層された体積ホログラム積層体であって、前記樹脂層には体積ホログラムが形成されると共に、体積ホログラム積層体における樹脂層が設けられた部分と樹脂層が設けられていない部分とで再生中心波長が相違するものである。
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上塗りされたフォトレジストとともに使用されるコーティング組成物
【課題】集積回路製造のための上塗りのフォトレジスト層と共に使用されるのに有用な反射防止コーティング組成物の提供。
【解決手段】第1の態様では、有機コーティング組成物が提供され、特にはスピンオン反射防止コーティング組成物であって、ポリエステル樹脂成分を有するものが提供される。さらなる態様においては、多ヒドロキシ化合物の重合により得られる樹脂成分を含むコーティング組成物が提供される。
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着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子
【課題】光透過率およびコントラスト比が高い画素を形成することができる着色層形成用感放射線性組成物の提供。
【解決手段】(A)塩素が2〜6個および臭素が10〜14個含まれる亜鉛フタロシアニン顔料、(B)(b1)(メタ)アクリル酸と、(b2)N−位置換マレイミドと、(b3)特定のスチレン誘導体、特定の(メタ)アクリレート誘導体、ポリスチレンマクロモノマーおよびポリメチルメタクリレートマクロモノマーの群の単独または2種以上の混合物を含む、該(b1)成分および(b2)成分以外の重合性不飽和化合物との共重合体からなるアルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量体および(D)光重合開始剤を含有することを特徴とする着色層形成用感放射線性組成物。
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導体層転写シートおよび積層型チップ素子の製造方法
【課題】感光性導体ペースト中の感光性樹脂成分の含有量を少なくしても露光・現像に際して残査の問題のない積層チップ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 導体層転写シート22によれば、感光性導体ペースト18は転写支持体12の一面にビヒクル層10を介して塗着されていることから、所定のパターンの導体層18を形成するための露光および現像時において、必ずしも十分な露光・現像性能を必要とせず、感光性樹脂、重合開始剤等の樹脂成分である樹脂量の少ない導体ペーストを用いることができる。したがって、感光性導体ペースト18中の感光性樹脂成分の含有量を少なくしても露光・現像に際して残査の問題が生じない。
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光ラジカル重合開始剤及び光硬化性組成物
【課題】新規な光ラジカル重合開始剤、光硬化性組成物、及び感光性レジストを提供する。
【解決手段】 式(I)で表される、光ラジカル重合開始剤。
(式(I)中、Aは環状脂肪族炭化水素基、芳香環を有する基、又は複素環を有する基を表し、R1は鎖状又は環状脂肪族炭化水素基、芳香環を有する基、スチレン系ポリマー又は共役ジエン系ポリマーを表し、R2は水素原子、鎖状又は環状脂肪族炭化水素基、芳香環を有する基、アニオン重合ポリマー、又はリビングラジカル重合ポリマーを表す。)
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パターン形成方法
【課題】良好な形状を有する微細なパターンを得ることのできるダブルパターニングを用いたパターン形成方法を提供することにある。
【解決手段】基板101上に下層膜102、中間層膜103を形成した後、第1のレジスト膜104を用いた1回目のパターン露光、及び第2のレジスト膜107を用いた2回目のパターン露光で形成されたレジストパターンを中間層膜103に転写し、さらに中間層パターン103bをマスクに下層膜102をエッチングして下層膜パターン102bを形成する。ここで、下層膜102は、フッ素系の界面活性剤又は無機のナノパーティクルを添加物として含み、酸素系プラズマに対する耐性が付与されている。
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ホログラム記録材料及びホログラム記録媒体
【課題】緑色レーザのみならず青色レーザを用いたホログラフィックメモリ記録においても、多重記録特性に優れ、且つ、経時安定性に優れた体積型ホログラム記録に適したホログラム記録材料、及びホログラム記録媒体を提供する。
【解決手段】金属化合物微粒子と光重合性化合物とを少なくとも含むホログラム記録材料であって、前記金属化合物微粒子として、金属原子と有機基と酸素原子とを含み、金属原子と有機基の炭素原子との直接結合(金属−炭素結合)と、酸素原子を介した金属原子同士の結合(金属−酸素−金属)とを有する有機金属微粒子を含み、且つ 前記金属化合物微粒子同士は互いに架橋されていない、ホログラム記録材料。ホログラム記録材料層21を有するホログラム記録媒体11。
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フォトレジスト用高分子化合物及びフォトレジスト組成物
【課題】 レジスト用樹脂等に応用した場合に有機溶媒への溶解性が良好で、基板への密着性が良く、更に高い耐エッチング性を発揮できる樹脂、及びレジスト組成物、ならびに半導体の製造方法を提供する。
【解決手段】 下記式(1)
で表されるモノマー単位を有するフォトレジスト用高分子化合物。 更に、前記高分子化合物が、重合温度に制御された溶媒中へモノマー溶液及び重合開始剤溶液を添加しながら重合することを特徴とする前記記載のフォトレジスト用高分子化合物。
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感光性着色組成物、これを用いたカラーフィルタ、及び液晶表示装置
【課題】臭素イオンの溶出量が少なく、液晶表示装置に用いた場合に液晶汚染が少なく、表示ムラが発生しにくいカラーフィルタ用感光性樹脂組成物、これを用いたカラーフィルタ、及び液晶表示装置を提供すること。
【解決手段】(A)光重合性モノマー、(B)樹脂バインダー、(C)重合開始剤、(D)着色剤及び(E)溶剤を含有するカラーフィルタ用感光性着色組成物であって、前記(B)樹脂バインダーは、メラミン樹脂と、イソシアネート基を含有する化合物及び/又は酸無水物とを反応させてなる熱硬化性樹脂を含み、前記(D)着色剤は、少なくとも塩素化及び臭素化した金属フタロシアニン又は臭素化した金属フタロシアニンを含有し、該感光性着色組成物の硬化物をN−メチルピロリドンで溶出したときの臭素イオンが10ng/cm2以下であることを特徴とする。
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