【課題】カブリ故障を抑えつつ、良好な露光パターンを得る。
【解決手段】露光機４４は、金属製のバックアップロール４１と、光源５２と、光マスク板５６と、マスク支持板５７Ａ・５７Ｂとを備える。バックアップロール４１は、表面に硬化性膜２７が形成された支持フィルム１３の裏面を周面４１Ａで支持しながら搬送する。光源５２は、バックアップロール４１に支持されている支持フィルム１３上の硬化性膜２７に向けての硬化光を放つ。光マスク板５６は硬化光を遮る。光マスク板５６は、バックアップロール４１に近接するようにして光源５２及びバックアップロール４１の間に配され、Ｘ方向へ延びＹ方向に並ぶスリット５６Ｓを有する。マスク支持板５７Ａ・５７Ｂは、光マスク板５６及びバックアップロール４１の間に配され、バックアップロール４１側から光マスク板５６を支持する。マスク支持板５７Ａ・５７Ｂは、光マスク板５６よりも硬化光が散乱しやすい。 （もっと読む）

【課題】基板交換を迅速に行うことができる基板ステージを提供する。
【解決手段】基板ステージ２０が基板搬出装置７０を有しているので、基板Ｐの搬出を迅速に行うことができる。また、基板ステージ２０は、Ｙ粗動ステージ２３ｙと、Ｙ粗動ステージ２３ｙ上に搭載されたＸ粗動ステージ２３ｘと有し、基板搬出装置７０がＹ粗動ステージ２３ｙに取り付けられている。従って、基板搬出装置７０を備えているにも拘わらず、スキャン露光時に移動するＸ粗動ステージ２３ｘの制御性を損なわない。 （もっと読む）

【課題】ロール状基材に連続した画像を形成する筒状体マスク及びこれを使用した露光装置を提供する。
【解決手段】光透過性を有する筒状体と、該筒状体の周方向に連続して刻設された凹部からなるパターンと、該凹部に充填された遮光部材とから構成される筒状体マスクと、該筒状体マスクの中央に設置された光源とから構成され、少なくとも片面に感光性樹脂を塗布したロール状基材の該樹脂塗布面と、前記筒状体の表面とを接触回転させ、前記光源によって露光する。 （もっと読む）

【課題】 帯状の基板をその長手方向に連続的に移動させながら繰り返し投影露光することができ、スループットを向上させることができる露光装置及び露光方法を提供することを目的とする。
【解決手段】帯状の基板の長手方向に沿って該基板の複数のパターン転写領域に、第１部分パターン及び第２部分パターンを含むパターンを露光する露光方法である。また、その露光方法は基板を長手方向に連続的に移動させる工程と、パターン転写領域のうちの第１部分領域に第１部分パターンを露光する第１露光処理を、基板の長手方向への移動に同期して繰り返す工程と、パターン転写領域のうち長手方向に沿って第１部分領域に隣接する第２部分領域に第２部分パターンを露光する第２露光処理を、基板の前記長手方向への移動に同期して繰り返す工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】高い生産性を維持しつつ、設備費を軽減することができる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、互いに隣接して且つ平行に配置された一対の露光ユニット１，２と、該一対の露光ユニット１，２のそれぞれが共用する光源手段３と、を含む。露光ユニット１，２の各々は、帯状基板４をその長手方向に沿って間欠的に送るための搬送機構５，６，７，８と、帯状基板４の搬送経路に配置された露光部９にして、少なくとも一つのフォトマスク１０を有する露光部９と、を備える。光源手段３は、フォトマスク１０に描かれたパターンを帯状基板４の露光面に転写するために、一対の露光ユニット１，２におけるそれぞれの露光部９へと交互に光を照射可能となされている。 （もっと読む）

【課題】 プリント配線用基板の片面及び両面露光を効率的に行える露光装置を提供する。
【解決手段】上流露光機１は、プリント配線用基板を載置するプラテン１５を備え、露光光１６により、プリント配線用基板にフォトマスクのパターンを露光する。下流露光機３も同様に露光光３６により露光を行う。反転／搬送機２は反転機の機能と、単なる搬送機の機能を備えており、制御装置５から制御により、反転機モードと搬送機モードに切り換るように構成され、反転機モードの場合には、反転／搬送機２においてプリント配線用基板を表裏反転させ、プリント配線用基板の裏面側を表にして下流露光機３に送る。プリント配線用基板の片面露光の時は、反転／搬送機２を搬送機モードとし、反転／搬送機２はプリント配線用基板を反転せず、そのまま下流露光機３に送る。 （もっと読む）

【課題】テープ幅を変更した場合においても押圧板を交換する作業などを必要とせず、位置合わせマークの近傍でテープを押さえることによりテープの反りや弛みを防ぎテープの位置合わせマークを観察できるようにする。
【解決手段】露光装置は、所定幅を有するロールフィルム状の被露光体Ｔを露光ステージ５０上に送り込んで、マスクの回路パターンを被露光体に露光する露光装置である。被露光体を押さえる押さえ板４２と、被露光体に形成された第１アライメントマークと回路パターンマスクに形成された第２アライメントマークとを観察するための画像認識部５４と、押さえ板と画像認識部とを被露光体の所定幅方向に同時に移動させる第１移動部４３とを備える。 （もっと読む）

【課題】帯状支持体の上に感光性層を有する感光材料を使用し、消費電力を低くし、所定のパターンを有するマスクを介して露光し、現像処理を経て、帯状支持体の上に連続した金属パターンを形成する電磁波遮蔽フィルムの製造方法及び電磁波遮蔽フィルムの提供。
【解決手段】帯状支持体の上に感光性層を有する感光材料を使用し、遮光部分と透過部分とから構成されたパターンを有する中空円筒状マスクを介して露光し、金属パターンを形成する電磁波遮蔽フィルムの製造方法において、パターンの内面側が、特定の式で示される感光材料の感光波長領域の光に対する平均反射率が７０％以上、１００％未満の鏡面を有し、中空円筒状マスクは内部に光源を配設し、中空円筒状マスクの周面に感光材料を密着させ、感光材料の搬送速度と中空円筒状マスクの周速度とを同じにして露光する電磁波遮蔽フィルムの製造方法。 （もっと読む）

【課題】装填されている平版刷版上に平版刷版を継ぎ足し装填する際に、平版刷版の感光層面に傷を付けることを防止する。
【解決手段】複数枚積み重ねられた平版刷版１０の束における平面を、装填台１４４の斜状に配置した支持台１６０上に載せ、平版刷版１０の束の底部を支持台１６０の表面から突出するよう装着した棚部材１６２に載せ、単数又は複数の傷防止シート１２を備えた傷防止シート配備手段１４における傷防止シート１２を装填台１４４上に装填されている平版刷版１０の表面に被せ、傷防止シート１２の上から新たに平版刷版１０の束を継ぎ足し装填できるようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、正確に像様に露光処理を行う連続露光装置を提供することであって、詳細には、露光位置において、透明円筒体の外周面と前駆体との間に空気、異物等の混入がない連続露光装置を提供すること。
【解決手段】ロール状の感光材料に画像パターンを繰り返し連続露光する装置であって、少なくとも透明円筒体と該透明円筒体の内部に配置された光源と、該光源から発せられる光を規制する遮光部材と、該透明円筒体の外周と前記感光材料を密着させる密着ローラで構成されている連続露光装置。 （もっと読む）

【課題】型のパターンの転写を効率良く行なうことが出来ると共に、型から転写されたパターンのアスペクト比が大きくても、前記転写されたパターンが崩れにくい、微細シートパターン作成装置を提供する。
【解決手段】シート状の基材３をこの長手方向に搬送することが可能な搬送手段５と、基材３の一方の面に、被成形物９を設ける被成形物設置手段７と、微細なパターンが形成されている平面状の転写面１３を備えていると共に基材３の厚さ方向に移動自在な型１１と、基材３に設けられている被形成物９に転写を行なうために、型１１と協働して基材３を挟み込むことが可能なベースユニット１５と、基材３を挟み込んでいるときに、被成形物９を硬化すべく被成形物９にエネルギーを供給するエネルギー供給手段１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】ほぼ平坦な基板を基板テーブルに装填したり、取り出したりする基板ハンドラを提供するシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、放射線ビームを調整する照明システム、放射線ビームを変調するパターニングデバイス、基板を支持する基板テーブル、および変調した放射線ビームを基板の目標部分に投影する投影システムを有する。リソグラフィ装置はさらに、基板を基板テーブルに装填したり、そこから取り出したりする基板ハンドラを有する。基板ハンドラは、支持面で基板を支持し、支持面にほぼ平行な方向に基板を移動させるコンベヤデバイスを有する。コンベヤデバイスは、示した方向に基板を押すか、引くように構成された把持デバイス、および示した方向に把持デバイスを駆動する駆動デバイスを有する。 （もっと読む）

【課題】 三次元目的物の造形において、低コストのソリッド・イメージング技術と目的物の形状を維持しエッジを平滑化するデジタル画像投影法とを組み合せることにより従来技術における問題を解決する。
【解決手段】 固化性液状材料にデジタル的に光を投影した三次元目的物の断面画像の多重露光にサブピクセル・シフトを採用したソリッド・イメージング装置を提供する。多重露光により、解像度の向上、三次元目的物の画像形状の保持、および当該サイズにおける投影画像のピクセル数が限定されているデジタル光プロジェクターを使用した場合に生じる粗い、即ち、不規則なエッジの平滑化が図られる。アルゴリズムを用いて露光断面に投影される各々の画像の境界内における露光ピクセルが選択される。 （もっと読む）

【課題】 生産性を向上可能とし、装置の構成を簡素化すると共に小型化可能とし、廉価に製造可能とした、感光性印刷版の自動供給装置を新たに提供する。
【解決手段】 一方の感光性印刷版１０表面の感光面１０Ａ上に他方の感光性印刷版１０の裏面を直接接触させて積層した状態で運搬や保管が可能な特性を持つ感光性印刷版１０が所定複数枚重ねられて束にされたものを、感光性印刷版１０の自動供給装置内に装填した状態で、枚葉供給装置１１２により、感光性印刷版１０の束から、感光性印刷版１０を１枚づつ分離して露光装置１１４へ搬出する。よって、合紙取り出し機構によって感光性印刷版の感光面上から合紙を分離し、この分離した合紙を合紙搬送機構によって合紙集積部へ搬送し、合紙集積部の合紙廃棄場所にストックさせるための構成を、自動送給装置内に配置する必要を無くすことができる。さらに、合紙を分離し、搬送してストックさせる工程を省略して、感光性印刷版１０を次々に搬出できる。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置、デバイス製造方法及びそれによって製造されたデバイスを提供すること
【解決手段】基板処理装置は、放射の投影ビームを供給するための照明システム、投影ビームの断面にパターンを付与するべく機能する個々に制御可能な複数のエレメントのアレイ、及びパターン化されたビームを基板の目標部分に投射するための投影システムを備えたリソグラフィ装置を備えている。また、基板処理装置は、少なくとも１つの完全な長さの基板を送り出すようになされた基板サプライと、投影システムがパターン化されたビームを個々の完全な長さの基板に沿った一連の目標部分に投射することができるよう、基板サプライから送り出される個々の完全な長さの基板を投影システムの先へ搬送するようになされた基板搬送システムとを備えている。特定の実施例では、長さの長い基板がロールから供給されるが、別法として一連の個別シートを供給することもできる。 （もっと読む）

【課題】 レーザ熱転写工程装置を不活性気体の常圧雰囲気に造成することで、有機電界発光表示装置の寿命及び発光効率特性を向上させるレーザ熱転写装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係るレーザ熱転写装置は、基板が位置するステージ４００と、ドナー基板の移送装置３００ａ、３００ｂ、３００ｃと、前記基板と前記ドナー基板を結着させるラミネータ５００と、レーザ熱転写のためのレーザ光学部６００とを備え、前記ステージ、前記ラミネータ及び前記レーザ光学部は、不活性気体の常圧雰囲気を提供するチャンバ１０内に位置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、基板の幅方向位置及び搬入方向位置を検出することが可能な基板位置決め機構及び基板位置決め方法と、この基板位置決め機構を備えた基板搬送装置、及びこの基板搬送装置を備えた画像記録装置を得る。
【解決手段】 搬送支持ローラ１６の下流側に、幅方向に沿って複数の位置決め用センサが取り付けられた先端位置決めユニット５０が配置される。昇降ステージ２８の幅方向への移動によって、幅方向への移動距離（実測値）が分かる。基板材料２００が搬送方向に対し傾斜している場合には、先端位置決めユニット５０を搬送方向下流側へ後退させると、基板材料２００の検出状態に時間差が生じるので、傾き量が分かる。 （もっと読む）