【課題】使用者の誤使用や装置の誤動作に伴う非正常事象を回避することができるプラズマ発生装置及びこれを用いた洗浄浄化装置を提供する。
【解決手段】洗浄浄化装置４０は、プラズマ発生装置１の使用時に発生する非正常事象を検知し、その検知結果に基づいてプラズマ放電を制御する。 （もっと読む）

【課題】薄片状の洗浄媒体を用いて被洗浄体の汚れを除去する洗浄装置において、被洗浄体に付着性の強い汚れが付いていたとしても、洗浄媒体の滞留を低減して移動させることができ、洗浄品質を向上させることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】気流を前記洗浄媒体および前記被洗浄体に吹きつける洗浄ノズルが非定常的な気流を発生させることにより、気流の向きや強さを変化させることができ、被洗浄体に貼り付いた洗浄媒体に対して様々な方向から気流を作用させることができるようにした。 （もっと読む）

【課題】多量の部品の表面に残存している処理液を能率よく拭き取ることができるようにする。
【解決手段】多数の部品Ｗと拭取り材１１とを処理容器７に収容し、処理容器７を回転駆動することにより処理容器７内で部品Ｗを回転攪拌し、これにより部品Ｗ表面の処理液に拭取り材１１を接触させることで当該部品Ｗの表面から処理液を拭き取る。 （もっと読む）

【課題】高度な表面製が要求されるガラス板の間に挿入されるガラス用合紙に関し、特に、合紙からガラス板へ転写される汚れの低減、及びガラス板に付着した汚れの洗浄による除去効果の向上を図ることができるガラス用合紙を提供する。
【解決手段】古紙を原料として抄造された合紙本体の表面に、フッ素コーティング皮膜を形成した。また、前記ガラス用合紙を、複数枚重ね合わせた各ガラス板の間に挿入して、ガラス用合紙からガラス板へ転写される不純物の汚れを、フッ素を介在させた状態でガラス板表面に付着させ、その後、水で洗浄処理した際に前記汚れをフッ素の疎水性を利用してガラス板表面から洗い流すようにしたガラス板に付着した汚れの除去方法。 （もっと読む）

【課題】通風部材の清掃成果を向上させながらも清掃作業時間の短縮も図ることができる洗浄装置等の提供。
【解決手段】洗浄装置１は、フィルタ１７を清掃するものであり、送風部５と、送水部７と、フィルタを支持する支持部９と、送風部からの送風及び送水部からの送水を制御する制御部１３とを備える。制御部は、フィルタに対する第１の送風と、その第１の送風の後、フィルタに対する送水と、その送水の後、フィルタに対する第２の送風とを行うように、送風部の送風及び送水部の送水を制御する。 （もっと読む）

【課題】処理対象基板を良好に迅速に基板処理溶液で処理することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１００は、溶液保持容器１３０に収容されている基板処理溶液ＴＬに処理対象基板ＰＢが浸漬される。このような溶液保持容器１３０に溶液供給機構１４１が基板処理溶液ＴＬを上方から下方に落下させて順次供給する。このように上方から下方に落下する基板処理溶液ＴＬを溶液乱流機構１４２が処理対象基板ＰＢの一面の基板処理領域ＴＳに圧送する。このため、処理対象基板ＰＢの一面の基板処理領域ＴＳは基板処理溶液ＴＬが単純に上方から下方へ落下するだけではなく、乱流となって圧送されることになる。 （もっと読む）

【課題】構成を簡素化することが可能な異物除去装置を提供すること。
【解決手段】ワーク４０を装着する容器体１０に形成された通気孔１４は、通路断面積の総和が排出通路３１の通路断面積よりも小さくなっており、吸引ブロワ２０による内部空間５０の空気の吸引に伴って、通気孔１４を介して内部空間５０へ流入する空気を高速流としてワーク４０の外周面４４に吹き付け異物を除去する。 （もっと読む）

【課題】玉の洗浄の仕上がり度合いを均一にすることが可能となる球体洗浄装置を提供する。
【解決手段】玉を保持するポケット７が複数形成され当該ポケット７に保持された玉を搬送する搬送装置１と、この搬送装置１によって搬送されている玉に接触するブラシ２１，２２を有しているブラシ装置４とを備えている。搬送装置１は、ポケット７が玉の搬送方向及びその直交方向に複数形成され、かつ、一対のプーリー１１，１２間に掛け渡され無限軌道を構成している無端ベルト１３と、この無端ベルト１３をプーリー１１，１２間で回転させる駆動部１４とを有している。 （もっと読む）

【課題】容器内に残留している有害物質を取り除くことができるようにする。
【解決手段】有害物質が付着している筒状の容器１０内を洗浄するための洗浄本体部１を備えている。洗浄本体部１は、有害物質を吸収させる吸収材７を収容するタンク２と、タンク２に収容される吸収材７の上方に設けられ、容器１０を下に開口した状態で配置させると共に、流体を上から下へ通過させ得る配置部３と、配置部３に配置された容器１０内に挿入させ当該容器１０の内周面に過熱水蒸気を吹き付ける噴出手段４とを有している。 （もっと読む）

【解決手段】 被加工物を洗浄するためのブラシを提供する。ブラシは、互いに貼り付けられた第１部分及び第２部分を有する硬質コアを含む。硬質コアは、硬質コアの回転軸線を中心に画成された開口を有する。流体チャンネルが、第１部分及び第２部分の反対面の間に画成される。流体チャンネルは、開口を画成する面から半径方向に延びる。第１膜及び第２膜が、第１部分及び第２部分の外側面に貼り付けられ、第１膜及び第２膜の運動は、流体チャンネルを通る流体の導入によって制御される。一実施形態では、膜は多孔質であり、流体は、洗浄のための磁気ディスク又は半導体基板等の被加工物に接触する洗浄液である。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁や端面に残りやすい切粉等を、基板に損傷を与えることなく確実に除去する。
【解決手段】基板Ａの洗浄トレー１は、線条体７を張設した収容部５内に基板Ａを収容するセットトレー２と、複数の線条体１１を張設したネットトレー９とを一体としてなり、該セットトレー２の収容部５内に収容された該基板Ａを揺動自在に保持するので、吹き付けられた高圧の洗浄媒体によって基板が収容部内で大きく揺動しても、基板への衝撃は該両トレーに張設された線条体により十分に緩衝されることから、基板に損傷を与えることなく、基板の周縁や端面に付着する切粉等を確実に除去できる。 （もっと読む）

【課題】簡略且つ小型の構成で洗い残しや洗浄ムラの発生を防止する。
【解決手段】底部フレーム１上に洗浄室６を有する洗浄用ケース１００の底面２に回転軸１１が貫通して下部を駆動装置により駆動し、上端に回転軸の直径方向に延びる回転板１２を固定した回転駆動機構９を設け、下面に備えた自在車輪１６で走行可能な台フレーム１７上に介護用機器を収容可能な篭体１８を備えたケージ台車２００の下部に突出され、ケージ台車が洗浄室に進入する際に回転板の長手方向両側面に係合するガイド板と、ケージ台車の中心が回転軸の軸線上に到達すると回転板の前後端に係合してケージ台車の移動を拘束する係止部材と、係止部材の係合を解除する係合解除フレームとを有する係脱機構を設け、洗浄室内に備えて回転軸の軸線Ｓに向かい且つ洗浄室内の上下をカバーするようカーテン状に洗浄液を噴射する噴射ノズル３４を設ける。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ用マスクの開口部に形成されているテーパ面に付着している蒸着物質を高い洗浄度でクリーニングすることを目的とする。
【解決手段】テーパ面５Ａ乃至５Ｄを有する開口部３を複数形成した有機ＥＬ用マスク１のクリーニングを行う有機ＥＬ用マスククリーニング装置であって、各開口部３に形成される４つのテーパ面５Ａ乃至５Ｄのうち相互に隣接する２つのテーパ面に向けて、開口部３の対角線Ｄ１を挟んで反対側から第１のレーザＬ１を入射させて開口部３の斜め方向に走査させる第１のレーザ光学系１７Ａと、対角線Ｄ１を挟んで２つのテーパ面の反対側から第１のレーザＬ１が入射するように、有機ＥＬ用マスク１と第１のレーザ光学系１７Ａとを相対的に移動させる第１のレーザ移動部２４Ａと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスクの表面を傷つけることなく、磁気ディスク上のパーティクルを効果的に除去する方法を提供すること。
【解決手段】磁気ディスクよりも大きな表面エネルギーを有するクリーニング部材を接触し、そのまま放置した後に引き離すことで、磁気ディスク上のパーティクルを除去する。
特に好ましい接触方法は、磁気ディスクとクリーニング部材を筺体内に挿入し、筺体を真空装置で排気し、該筺体の一部が磁気ディスクとクリーニング部材を押圧する方法である。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象物に付着した付着物を、水又は溶剤を使わずに固体洗浄媒体を用いて除
去する装置はすでに提案されているが、はんだ付け工程で発生するフラックスの固着、画
像形成装置で用いられるＯＰＣドラムの感光体層、又は定着ローラの離型層のような樹脂
製の膜を除去するのに適した洗浄装置は未だ実用化されていない。
【解決手段】洗浄対象物の樹脂製の膜よりも鉛筆硬度が大きい薄片状の洗浄媒体Ｍを用い
、これを高速気流で飛翔させて洗浄対象物に衝突させることで、膜状の付着物の方が凹み
易く、かつ接触力が洗浄媒体Ｍの端部に集中するため、質量が小さいにもかかわらず膜状
の付着物に洗浄媒体Ｍが食い込む。その結果、複雑な形状の部品の洗浄、膜状の付着物の
除去、又は洗浄媒体の清浄度を高め洗浄品質を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】微細化した水粒子の粒径が大きくなることを防止して、被洗浄面に水膜が形成されることを防止し、被洗浄ノズルを効率的に洗浄可能なノズル洗浄装置を提供する。
【解決手段】複数の被洗浄ノズル１を着脱自在に保持するノズルホルダ１１と、微細化した水粒子と圧縮空気とを混合してなる二流体を生成する二流体生成装置１２と、二流体生成装置１２に接近配置され、ノズルホルダ１１に保持した被洗浄ノズル１へ向けて二流体を噴き付ける二流体噴射ノズル１３と、二流体噴射ノズル１３が被洗浄ノズル１に順次対面するように、二流体生成装置１２及び二流体噴射ノズル１３をノズルホルダ１１に対して相対移動させる移動手段１４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】洗浄によって高温となったワークに直接触れることなく、ワーク保持治具からワークを取り出す等の作業を行う。
【解決手段】洗浄ステーション１４に組み込まれたワーク搬送装置１８は、ワークとしてのシリンダヘッド１２のバスケット１０（ワーク保持治具）までの搬送、バスケット１０に収容されたシリンダヘッド１２の洗浄装置１６への投入、洗浄が終了したシリンダヘッド１２の洗浄装置１６からの導出、シリンダヘッド１２のバスケット１０からの取り出しを行うためのものである。シリンダヘッド１２をバスケット１０から取り出すための払出コンベア２８には、取出機構を構成する払出レバー１５２、引出レバー１５６等が設けられ、シリンダヘッド１２は、これらが変位する際、バスケット１０の内部に設けられた案内用ローラ８４に案内される。 （もっと読む）

本発明は、密封された筐体内に用意されたオブジェクトの洗浄および／または殺菌方法に関し、筐体の内部容積と周囲との間に気圧差をもたらし、オブジェクトの前記洗浄および／または殺菌方法のための筐体内部のみにプラズマを発生させる。また、本発明は、これを可能にする装置に関する。装置１０は、真空ポンプ２を使って空気が抜かれる真空チャンバ１と、筐体８内に適切なガスのプラズマを発生させるように構成されたプラズマ源３とを備え、筐体８は、真空チャンバの周囲に対して略密封して閉じられる。筐体８は、可塑性タイプでも、剛性材料から製造されてもよい。筐体が剛性のときの場合、筐体内部の気圧は、外の気圧より低くてもよい。
（もっと読む）

【課題】洗浄媒体の漏れや滞留を確実に防ぎ、気流のエネルギーを有効に利用して高い洗浄能力を発揮する。
【解決手段】洗浄槽本体１０の空気を吸引している状態で洗浄槽本体１０の開口部方向に高速気流を噴出して洗浄媒体５を加速して洗浄対象物４を洗浄するとき、洗浄対象物４と洗浄槽外縁部１１の間隙２９を通り洗浄槽本体１０内に流入する気流を、洗浄槽本体１１の開口部を通過させずにバイパス流路２６を通して洗浄槽本体１０内に流入させて洗浄対象物４と洗浄槽外縁部１１の間隙２９を流入する気流により洗浄媒体５を飛翔させる気流が乱されたり弱められたりすることを防止するとともに洗浄槽本体１０の内壁に沿う循環気流Ａを強めて洗浄能力の向上と安定化を図る。 （もっと読む）

【課題】一定の幅を有する無端状ベルトを、複数本同時に均一かつ強力に、すすぎ洗浄する洗浄方法及び洗浄装置を提供すること。
【解決手段】すすぎ液槽内に一定方向に流れるすすぎ液流を形成し、無端状ベルトを、その幅方向がすすぎ液流の流れ方向に沿うようにすすぎ液槽内に配置する。その結果、無端状ベルトと水との間に発生するせん断力により、無端状ベルトが、すすぎ洗浄される。 （もっと読む）