【課題】作動軸の中空部に接続部材が挿通する構造を採りながら、クリーンルームでも使用可能なロボットを提供する。
【解決手段】中空な作動軸５と、この作動軸５を回動と軸線方向への移動とのうち少なくともいずれか一方が可能となるように支持する揺動式アーム４と、アームを支持する基台２とを備える。作動軸５の中空部に、空気配管、電力供給用あるいは通信用のケーブルのうち少なくとも一つからなる配管等１０４を挿通する。この配管等１０４における作動軸５から導出された部位にコイル状の弾性変形可能な余裕部１１１，１１２を形成する。この余裕部の一端部を作動軸５に支持させ、他端部をアーム４に支持させる。アーム４に作動軸５と余裕部１１１，１１２とを覆うカバー９を備えさせる。このカバー９の内部を基台２まで延びる通路に連通させ、この通路に配管等１０４を通して基台２に導いた。 （もっと読む）

【課題】作動軸を貫通する配管等が作動軸の軸線方向への移動により損傷するようなことがなく、設置スペースが相対的に狭いロボットを提供する。
【解決手段】作業部材用取付座が一端部に設けられた作動軸５と、この作動軸５を軸線方向に移動自在に支持する揺動式アーム４とを備える。作動軸５の軸心部に、接続部材（配管等１０４）を通す中空部が形成される。アーム４に、作動軸５に沿うように柱状部材（支柱６２，６３）を立設する。接続部材を、所定本の空気配管、所定本の電力供給用ケーブルあるいは所定本の信号用ケーブルのうち少なくとも一つによって構成する。接続部材における作動軸５から導出された部位を、コイル状に形成し、柱状部材に貫通させて保持させる。このコイル状部分１４５，１４６を所定の曲げ弾性を有するように形成する。このコイル状部分１４５，１４６における柱状部材の一端部をアーム４に支持させ、他端部を作動軸５に接続した。 （もっと読む）

【課題】把持部を上下動させるための機構を構成する部材のアームからの突出長さを短縮する。
【解決手段】把持部を配設する昇降部材５を、テレスコープ状の直線移動支持機構９の第２の単位可動部材１５の下端部寄りに取り付ける。また、昇降用モータ１９の回転を直線移動支持機構９の第１，第２の単位可動部材１４，１５を直線移動に変換させるための機構をラック・ピニオン機構２０とし、そのピニオン２２とラック２３との接触伝導部分をアーム４の下端寄りに位置させる。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の振動を抑制するとともに、軽量かつ保守が容易で高い防塵性及び高い防滴性を有するロボット及びロボット用のアタッチメントを提供する。
【解決手段】スカラ型ロボット１０は、基台１１に回動可能な回転軸１２に固着された水平方向に延びる第１のアーム１３を備え、そのアーム１３の先端部である支持部１４には第２のアーム１５が回動可能に連結され、該アーム１５の先端部には上下方向に昇降するとともに、水平方向に回転可能な主軸１６が主軸筒に支持されている。主軸１６には、上端部に上部連結部材２１が、下端部に下部連結部材２２が各々回動可能に備えられている。両連結部材２１，２２は、主軸１６に平行な２本の補助軸２３にて接続されて、該アーム１５の先端下面に設けられた回転防止部材２４の嵌合溝２４ａに嵌合されている。この構造により、主軸１６の先端部の振動は好適に抑制される。 （もっと読む）

【目的】手術器具挿入点に沿って回転運動、また直動運動を行なう機構を備えた低侵襲手術ロボットを提供することを目的とする。
【構成】ベースと、このベースに装着された回転駆動アクチュエータと、マニピュレータ等の各種エンドエフェクタを装着するホルダと、前記駆動アクチュエータと複数のリンクを回転対偶により連結した２組のアーム、から構成される機構不動点を備える。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本発明は、外科用すなわち医療用ツールが６自由度までの動きをするよう操作することのできる外科用マニプレータを提供する。該マニプレータは、接触型インターフェースと、それに関係した位置検知システムとを有している。マニプレータ及び接触型インターフェースの互いに相対的な向きに基づく、動きの情報が、接触型インターフェースから与えられる。この動きの情報を調節するため使用することのできるコントローラが提供される。 （もっと読む）

少なくとも１つの駆動軸を有する駆動部と、少なくとも１つの駆動軸に動作可能に連結される少なくとも２つのスカラアームと、を有する基板搬送装置であって、少なくとも１つの駆動軸は、少なくとも２つのスカラアームの伸長および収縮を生じさせる少なくとも２つのスカラアームのための共通駆動軸であり、少なくとも２つのスカラアームは、少なくとも２つのスカラアームに連結される少なくとも１つの駆動軸によって、駆動軸の回転が、少なくとも２つのスカラアームのうちの別の１つの運動に実質的に関係なく、少なくとも２つのスカラアームのうちの１つの伸長および収縮を生じさせるように、互いに連結される。
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【課題】 プーリとベルトとを用いることなく、安定した動作を行うことが可能な伸縮アームを提供する。
【解決手段】 第１腕要素(20)が、第１回転中心(10)を中心として回転可能であり、第２回転中心(11)を画定する。第２腕要素(60)が、第２回転中心を中心として回転可能であり、第３回転中心(12)を画定する。第１平行リンク機構(21)で画定される相互に平行な一対の辺の一方が第１回転中心を中心として回転可能であり、他方が第２回転中心を中心として回転可能である。第２平行リンク機構(61)が画定する相互に平行な一対の辺の一方が第２回転中心を中心として回転可能であり、他方が第３回転中心を中心として回転可能である。間接機構(40)が、第１平行リンク機構の、第１回転中心を通過するリンクの姿勢を固定した状態で、第１腕要素が第１角度だけ回転したとき、第２腕要素を第１腕要素に対して、第１腕要素とは反対向きに、第１角度の２倍の角度だけ回転させる。 （もっと読む）

本発明は、概してマシーンに関し、より具体的には、パーソナルアフェクターマシーンを提供するためのシステムおよび方法に関する。一実施形態において、本発明は、上面フレーム、横断部材（横断部材は、上面フレームから延び、上面フレームに対して並進および回転のうちの任意の運動をするように構成可能である）、アフェクターヘッド（アフェクターヘッドは、横断部材に結合され、上面フレームに対して並進、回転および旋回のうちの任意の運動をするように構成可能であり、アフェクターを有する）、底面フレーム（底面フレームは、上面フレームに結合されている）、およびカセット（カセットは、その中に材料を取り外し可能に固定するように構成可能であり、底面フレームに取り外し可能に装着可能である）を含み、アフェクターは、カセットの中の材料を複数の次元においてアフェクトするように構成可能である。
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【課題】 多数のＲＦコネクタを有した供試体において、供試体のＲＦコネクタから終端器を抜き差しする作業処理を自動化し、ＲＦ信号の電気特性試験における手作業の所要時間を短縮する自動装置を得る。
【解決手段】 終端器及びＲＦコネクタの端末位置を計測する画像処理装置と、終端器を把持する把持部と把持部を３次元方向に移動させる駆動部を有したロボットハンドと、計測用ケーブルを３次元方向に移動可能な計測用ハンドと、ロボットハンドにおける把持部の把持または解放動作、上記ロボットハンド及び計測用ハンドの移動動作を制御する制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】ワークストック等の搬送元、搬送先の装置の出し入れが狭い環境であっても、迅速、確実にワークを搬送する半導体製造用搬送装置を提供する。
【解決手段】駆動部を格納する本体部２と、回動中心３０、４０、５０を中心として水平方向に回動自在に取り付けられた第１アーム３、第２アーム４、第３アーム５と、ワークを吸引する吸引口６４，６５を設けた爪６２、６３を有するハンド部６と、開口部５１内にハンド部後端６１を支持するスライド部とを備え、ワークストックの棚に差し込んだワークを出し入れする。また、ワーク検出センサ５２を備え、ハンド部６が第３アーム５へ後進したときにワークの有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】 高真空状態下において、半導体基板等を複数の処理チャンバーにおいて効率よく搬送でき、プロセスチャンバーのフットプリントを大幅に縮小可能な基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 真空環境２内に、回転駆動軸Ｒ₄回りに旋回可能な第１アーム１３０と、第１アーム１３０に対して所定角度で回動する第２アームと、第２アームの先端で基板を把持可能なツインハンドとが配置された基板搬送装置であって、第１アーム、第２アーム、及びツインハンドを駆動する複数の駆動モータ２１，２２，２３，２４の駆動力を同軸配置された複数の各回転駆動軸Ｒ₁，Ｒ₂，Ｒ₃，Ｒ₄にそれぞれ伝達する伝達ベルト４０，４１，４２，４３により、第１アーム１３０、第２アーム、及びツインハンドは、第１アーム１３０が旋回中心点として旋回し、第２アームとによるアーム伸縮により所定位置に移動し、ツインハンドがチャンバー間での基板の受け渡しを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】重力による前後軸の垂直方向へのたわみが大きくなっても、薄板をラックへ挿入するロボットの前後軸、上下軸及び回転軸の動作を停止することなく、薄板をラックへまっすぐ挿入することができる搬送ロボットシステムのたわみ補正装置を提供。
【解決手段】ラック４の基準部材とハンド３の先端との距離を測定するハンド３の先端部に取り付けられた変位検出器7a、又は、ラックの基準部材とハンドの先端との距離を測定する各ラック入口に取り付けられた変位検出器7bを有し、変位検出器7a、7bからの距離情報により、上下軸５及び回転動作軸６の重力によるたわみ量を補正する上下軸５及び／又は回転動作軸６の補正動作量を決定し補正する補正制御回路により、ハンドの先端下面と薄板を格納するラックの基準部材との垂直方向距離ｄを、薄板２の搬入、取り出しを行う動作中を通じて一定に保つようにした。 （もっと読む）

【課題】移載部に設置すべきセンサの配線に起因する断線、パーティクルの問題が発生しない伸縮式移載装置を提供する。
【解決手段】基台１に対して移載部５が水平方向に進出後退する伸縮式移載装置３０であって、この移載部５に設置すべきセンサ６Ａ、６Ｂを無線式とし、このセンサ６Ａ、６Ｂに電源を供給する充電池７を移載部５に備え、この移載部５が待機位置にあるときに、充電池７を充電する非接触充電手段８を基台１に備えた。 （もっと読む）

【課題】騒音や塵埃の発生を抑制することができる共に被駆動部材を三軸方向に高速で動かすことのできる三軸駆動装置を提供する。
【解決手段】ベース１上に設置された支柱５ａ，５ｂ及び梁部材により水平に支持されたガイドレール２１ａと同ガイドレールによりＸ軸方向に案内されるＸ軸スライダとを有するＸ方向リニアガイド２と、Ｘ軸スライダから水平に延出するガイドレール３１ａと同ガイドレールによりＹ軸方向に案内されるＹ軸スライダとを有するＹ方向リニアガイド３と、Ｙ軸スライダに鉛直に支持された送りねじ軸４３を有するＺ方向位置決め機構４と、Ｘ軸スライダ及びＹ軸スライダをタイミングベルト７，９及びプーリを介して駆動する駆動モータ１３，１４と、送りねじ軸４３をタイミングベルト１１及びプーリを介して駆動する駆動モータ１５とを備え、駆動モータ１３，１４，１５が支柱５ａ又は５ｂに固定されている。 （もっと読む）

【課題】半導体移送装備を提供すること。
【解決手段】半導体移送装備において、ウエハ移送ロボット１０００は、フレーム内に装着され、所定の昇降軸に沿って上下移動する昇降部材を含むロボットボディー１００と、駆動リンクと複数の被動リンクとからなり、駆動リンクは昇降部材に装着され、被動リンクの末端部はロードポートが装着されたフレーム面に沿って水平方向に線形移動する関節アーム２００と、被動リンクの末端部に装着され、垂直の回転軸を中心に回転するスイングユニット３００と、スイングユニットに装着されるベース、ベースに装着されて水平方向に直線往復運動する複数のスライディングユニット、およびウエハカセットからウエハを引き出し、収納するウエハハンドを含む直交アーム４００とを備える。 （もっと読む）

【課題】アーム駆動時における、ケーブルを内包する中空部材のアームへの接触を防止できるロボットを提供する。
【解決手段】スカラロボット１は、ベース２と、ベース２よりも上方側において、ベース２に対して第２軸Ａ２回りに回転可能で、第２軸Ａ２から水平方向へ延びる第２アーム４と、第２アーム４内部の回路と、ベース２内部の回路とを接続するケーブル３１と、第２アーム４から上方へ延びてから湾曲してベース２まで垂れ、ケーブル３１を内包する可撓性のダクト６と、ダクト６のうち第２アーム４から上方へ延びる部分を、第２軸Ａ２に対して第２アーム４の延びる方向とは反対側へ傾斜するように第２アーム４に対して固定する保持部材３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 安価に製造でき、小型軽量化が可能なロボットアームを得る。
【解決手段】 駆動源として水平アーム部材の回転軸と同軸の第１及び第２駆動軸を各々備えた第１及び第２原動機と、水平アーム部材に配置されて第１及び第２駆動軸に各々連結された第１及び第２駆動プーリと、回転軸に対する水平アーム部材の相対回動を阻止するアームストッパと、第１駆動プーリと水平アーム部材の一端部に設置された第１固定従動プーリとに掛け渡された第１駆動ベルトと、第２駆動プーリと水平アーム部材の一端部に設置された第２固定従動プーリとに掛け渡された第２駆動ベルトと、スライド部材に配置され第２駆動ベルトの移動に追従回転する第３従動プーリと、第３従動プーリの回転によって回転される送りナットと、送りナットの回転によって軸方向移動する送りネジとを備え、スライド部材は第１駆動ベルトに結合され、ヘッド部材は送りネジの回動に応じて上昇又は降下されるロボットアーム。 （もっと読む）

【課題】押出し加工を利用しつつ、回転動作に適した形状の筐体を実現できるロボットを提供する。
【解決手段】スカラロボット１は、ベース２と、ベース２に対して第１軸Ａ１回りに回転可能な第１アーム３とを備え、ベース２の外形を構成する筐体８のうち第１軸Ａ１に沿う外周部１０は、第１軸Ａ１の軸方向への押出し加工により形成されている。 （もっと読む）

【課題】加圧駆動手段による加圧制御と共に、該加圧駆動手段に電流を流すことなく、吸着ノズルの上下方向の動きを規制することにより、非加圧制御を実現する。
【解決手段】Ｘ軸駆動手段及びＹ軸駆動手段により平面方向に移動可能な搭載ヘッドが、部品を吸着保持する吸着ノズル２０と、加圧駆動部８ｂをＺ軸方向に進退動させ、該吸着ノズル２０を同方向に移動させる加圧駆動手段８と、該加圧駆動手段を固定し支持する支持フレーム１５と、該支持フレームをＺ軸方向に進退動させ、前記加圧駆動手段８と一体で前記吸着ノズル２０を同方向に移動させるＺ軸駆動手段１１と、前記吸着ノズル２０に加わる接触荷重を検出する荷重検出手段１６とを備え、前記加圧駆動部８の前記支持フレーム１５に対するＺ軸方向の進退動を、機械的に規制する加圧規制手段３３を備えた。 （もっと読む）