【課題】切断砥石で被切断材を切断する際の火花の拡散を効果的に防止し、火花に起因するこげつきや汚れ等の不都合を防止可能である。
【解決手段】被切断材Ｗを固定するバイス２及びこれを設置したベース１と、ベース１の前側にヒンジ３を介して取り付けられ、ベース１に対し離れる乃至接近する方向へ揺動自在に支持されたアーム１０と、これに設けられた駆動部及びこれによって回転駆動される切断砥石３０と、切断砥石３０の上側部分を覆うホイールカバー２５と、この前方側開口部２５ａから後方に延在していて、ホイールカバー２５に揺動自在に取り付けられた補助カバー４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ブレード及び被切削物における付着物の除去及び抑制を効果的に実行して、切削品質及びブレードの寿命性の向上を図る。
【解決手段】ノズル４１に接続した給水管４５には、純水中にマイクロナノバブルＢを発生させるマイクロナノバブル発生器４９が接続され、ノズル４１の先端はブレード２６とワークＷの被切削部近傍に配置されている。ノズル４１の吐出口部には圧力維持バルブ５１が設けられ、マイクロナノバブル発生器４９で生成した加圧過飽和状態のマイクロナノバブルＢを含む切削水Ｃが、切削加工中にノズル４１から吐出して、ブレード２６とワークＷの被切削部に至近距離から供給される。 （もっと読む）

【課題】ディスクカッタに噴射される水の使用量を抑制する。
【解決手段】この携帯用切断機１０は、エンジン等の駆動源によりディスクカッタ２８を駆動して被削材の切断作業を行うために使用される。ディスクカッタ２８にはノズル３７から水が噴射され、ディスクカッタ２８が冷却されるとともに粉塵の発生が抑制される。ディスクカッタ２８が被削材に接触すると、歪みゲージ５３ａ，５３ｂからの信号により接触状態が判定されてノズル３７から水が噴射され、接触しなくなるとノズル３７に対する水の供給が停止される。 （もっと読む）

【課題】被加工物上面が乾燥することを防止して被加工物上に切削屑が固着することを防止可能な切削装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブル１８と、スピンドルと、被加工物１１を切削する切削ブレード２８と、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、切削ブレード２８を覆うブレードカバー４６と、を含む切削手段と、該チャックテーブル１８と該切削手段とを相対移動させる加工送り手段と、該チャックテーブル１８と該切削手段とを該加工送り方向に直交する割り出し送り方向に相対移動させる割り出し送り手段と、を具備し、該ブレードカバー４６は、加工進行方向先頭側に配設されて該切削ブレード２８に向かって切削液を供給する切削液ノズル７０と、該ブレードカバー２８から加工進行方向後ろ側に伸長するように配設されて、被加工物１１を洗浄する洗浄液からなる洗浄液カーテンを形成する洗浄液カーテン形成手段５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ファンに加工屑等の異物が付着する恐れを低減してファンの吸引力の低下を防止可能な加工装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルと、加工手段２４と、加工液供給手段と、加工室３１と、一端が該加工室３１に連通すると共に他端がファン４５に連通して該加工室３１内の雰囲気を排気する排気路４４とを備えた加工装置であって、該加工室３１から該排気路４４に流入した排気に含まれる廃液を気体から分離する分離手段４８を更に具備し、該分離手段４８は、一端に該加工室３１に連通する吸気口５４を有する底部５０ａと、上端部に該ファン４５に連通する気体排出口５６を有する立ち上がり部５０ｂと、該底部５０ａと該立ち上がり部５０ｂとを連結する屈曲部５０ｃとから構成される筒状本体５０と、該筒状本体５０の該底部５０ａに形成された廃液を排出する廃液排出口５８と、該廃液排出口５８に連通する廃液排出路６０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】フラットドレスにおける作業の簡素化、生産性の向上を図る切削装置を提供すること。
【解決手段】チャックテーブル１０と、スピンドル２２ａに装着された切削ブレード２１ａを有する切削手段２０ａ，２０ｂと、スピンドル２２ａをＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段３０ａ，３０ｂと、スピンドル２２ａをＺ軸方向に移動させるＺ軸移動手段４０ａ，４０ｂとを備える切削装置１であって、チャックテーブル１０に隣接し、かつＹ軸移動手段３０ａ，３０ｂによる切削ブレード２１ａの移動経路上に配設されたドレス手段５０ａ，５０ｂをさらに備え、ドレス手段５０ａ，５０ｂは、研磨面がＺ軸方向のうち離間方向に向かって配設されるドレッサーボードと、ドレッサーボードを保持し、中心軸線を中心に回転可能な保持手段とを有し、保持手段により保持されているドレッサーボードの研磨面の高さＨ１は、チャックテーブル１０の表面の高さＨ２と同一または低い。 （もっと読む）

【課題】極少量の液体で切削加工点に対する潤滑や冷却を効率よく行い、液体が高い粘性をもっていても途切れることなく安定して且つ、連続的にブレード周側面にピンポイントで供給しブレード周側面に該液体を薄く引き延ばすように供給することにより液体を蒸発させやすくして、気化熱による熱の発散を促すとともにブレード周側面とワークの摩擦点で起こる摩擦熱を取り除く。
【解決手段】所要の回転速度で回転するブレード５により、該ブレード５に対し相対移動するワークに個片化用の切削を施すとともにブレード５の周側面に潤滑用ないし冷却用の液体を供給する潤滑機構２１を備えたダイシング装置のブレード潤滑機構において、前記潤滑機構２１は、適宜の液体供給手段１９から潤滑用ないし冷却用の液体供給を受け、該供給を受けた潤滑用ないし冷却用の液体を毛細管現象により前記ブレード５の周側面に移送させる毛細管構造部材２０で構成した。 （もっと読む）

【課題】 円筒状インゴットの四側面剥ぎ切断加工を行って角柱状インゴットに形成する際の切断屑の発生量を低下させたい。
【解決手段】 切断装置１の薄い厚みの回転切断刃９１ａ，９１ｂを挟む外周刃横揺れ自己補償機構９６を新たに設けるとともに、インゴットの切断方法を予め回転切断刃９１ａ，９１ｂで１／２カットする溝切加工を行った後、インゴットを回転させて残りの１／２の溝を回転切断刃９１ａ，９１ｂで加工し、側面を切断するハーフカット方法に変更した。 （もっと読む）

【課題】 複数種類のドレスボードを同時に保持可能なドレステーブルを備えた切削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、高速回転する切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を切削加工する切削手段と、該切削ブレードをドレッシングするドレスボードを着脱自在に保持するドレステーブルとを備えた切削装置であって、該ドレステーブルは、同一方向に階段状に配設された高さの異なる複数の吸着面を有し、隣接する吸着面と吸着面の間には隣接する該吸着面の段差からなる第１ドレスボード突き当て壁が形成され、最上段の吸着面の端部には該吸着面から立ち上がった第２ドレスボード突き当て壁が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイシングブレードの冷却すべき範囲を効率よく冷却可能とするとともに、ダイシングブレードに冷却水を供給することによるダイシングブレードの「ぶれ」と振動を抑制することができるダイシング装置を提供する。
【解決手段】円盤状のダイシングブレード１１０が被加工部材２００に当接する箇所を含む所定範囲を冷却水供給範囲Ａとして、当該冷却水供給範囲Ａに冷却水を供給しながらダイシングを行うダイシング装置１００Ａであって、冷却水を噴射する複数のノズル１２１，１２２，１２３を備え、複数のノズル１２１，１２２，１２３は、当該複数のノズル１２１，１２２，１２３の各ノズルが噴射する冷却水を冷却水供給範囲Ａに分散して供給可能とするように、冷却水の噴射方向が各ノズルごとに設定されている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハのダイシングを効率良く、確実にする。
【解決手段】半導体ウェハ２は、裏面にダイアタッチ材２５が貼り付けられた状態でダイシングシート２７に取り付けられる。ダイシングブレード４は、第１の砥粒３１を有し、半導体ウェハ２をダイアタッチ材２５と共に切削する。切削時には、冷却水と共に第２の砥粒３２が半導体ウェハ２及びダイシングブレード４に供給される。第２の砥粒３２は、第１の砥粒３１より粒径が大きく、ダイシングブレード４に張り付いたダイアタッチ材２５Ａを取り除く。 （もっと読む）

【課題】イオン交換樹脂ボンベを交換した際に、イオン交換樹脂ボンベに溜まった空気を加工装置側に送ることなく排出することができる加工廃液処理装置を提供する。
【解決手段】廃液収容タンクと、加工廃液を濾過して清水に精製する廃液濾過手段と、廃液濾過手段によって精製された清水を貯水する清水貯水タンクと、清水を純水に精製するイオン交換樹脂を収容したイオン交換樹脂ボンベを含む純水生成手段と、純水生成手段によって精製された純水を上記加工装置に供給する加工液供給手段とを具備する加工廃液処理装置であって、純水生成手段のイオン交換樹脂ボンベと加工液供給手段とを結ぶ純水送出管と清水貯水タンクとを空気排出管によって接続し、空気排出管に開閉弁を配設するとともにイオン交換樹脂ボンベと加工液供給手段とを結ぶ純水送出管における空気排出管との接続部より加工液供給手段側に開閉弁が配設されている。 （もっと読む）

【課題】 加工液供給ノズルの定量的な品質管理を可能とする加工液供給ノズルの品質管理方法を提供することである。
【解決手段】 被加工物に加工液を供給する加工液供給ノズルの品質管理方法であって、該加工液供給ノズルに加工液を供給して加工液噴出口から加工液を噴出させる噴出ステップと、該加工液噴出口から噴出した加工液を撮像手段で撮像して撮像画像を形成する撮像ステップと、該撮像ステップで形成した撮像画像を元に該加工液供給ノズルの良否を判定する判定ステップと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マルチブレードタイプの砥石に切磋液を供給する切削液ノズルの位置合わせの作業を容易に効率良くできるようにする。
【解決手段】切削液ノズル３０ａ乃至３０ｃが接続された可撓性ノズル配管３２ａ乃至３２ｃの配管取付部３４を固定する旋回可能な旋回台３６をベアリング部３８によって工作機械の主軸ヘッド２０のハウジング側に旋回自在に支持し、３６旋回台の旋回位置を任意の位置に固定するクランプ手段４２を設ける。 （もっと読む）

【課題】 切削ブレードに不具合を生じさせることなく、切削ブレードの側面をドレッシングできるドレス材を提供することである。
【解決手段】 被加工物を切削する切削ブレードをドレッシングするドレス材であって、該切削ブレードで容易に切削可能な材質からなる基台と、該基台の上面に形成された砥粒と該砥粒を結合する結合材とからなるドレス層とを具備し、該ドレス層の厚みと該基台の厚みの合計は、少なくとも該切削ブレードで被加工物に切り込む切り込み深さより大きい値を有し、該ドレス層の厚みは該切り込み深さより小さい値を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微細バブルを含む切削液を加工具の板状物に対する加工により有効に利用することができる機械加工装置を提供することである。
【解決手段】回転する円盤状の加工具１８が切り込んで板状物Ｗを加工する機械加工装置であって、回転する前記加工具１８の前記板状物Ｗに切り込む側の端面に対して微細バブルを含む第１切削液を吹き付ける第１の機構１４、１５と、回転する前記加工具１８の両側面の少なくとも一方に対して微細バブルを含む第２切削液を吹き付ける第２の機構１６、１７とを有し、前記第２切削液に含まれる微細バブルのサイズは前記第１切削液に含まれる微細バブルのサイズより大きい構成となる。 （もっと読む）

【課題】ステージの上に切削屑のない状態でのウエハの搬入を行うことができる半導体製造装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る半導体製造装置１は、ウエハ５を切削するブレード３と、ウエハ５のブレード３による切削が行われるステージ２と、ステージ２へのウエハ５の搬入、及びステージ２からのウエハ５の搬出を行う搬送機構８と、ウエハ５の搬出の後にステージ２を清浄化する切削屑除去機構１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】一度切削水ノズルを調整した後、ブレードカバーを取り外し再度装着しても切削水ノズルの調整を不要とする切削装置を提供する。
【解決手段】スピンドルハウジングと、スピンドルハウジングの端面に装着され、切削ブレードを覆うとともに切削ブレードに切削水を供給する切削水ノズルが配設されたブレードカバー６２と、スピンドルハウジングの端面に固定されてブレードカバー６２を位置決めする位置決めプレートとを具備し、位置決めプレートは、ブレードカバー６２のＸ軸方向を位置決めするＸ軸方向位置決め部と、ブレードカバー６２のＺ軸方向を位置決めするＺ軸方向位置決め部とを有し、ブレードカバー６２の装着面には、位置決めプレートのＸ軸方向位置決め部に嵌合するＸ軸方向嵌合部８６ａ、８６ｂと、位置決めプレートのＺ軸方向位置決め部に嵌合するＺ軸方向嵌合部８８ａ、８８ｂが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ドレッシングボードの厚みが規格の厚みに対して誤差範囲が大きくても、切削ブレードをドレッシングボードに所定の切り込み深さで切り込むことができるドレッシングボードおよびドレッシングボード収容ケースを提供する。
【解決手段】切削装置に装着される切削ブレードを目立てするためのドレッシングボードであって、所要位置に少なくともドレッシングボードの厚み情報を記録した記録媒体が配設されている。 （もっと読む）