【課題】砥石表面の切れ刃分布の定量的な評価を可能とする砥粒切れ刃分布測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】回転軸心周りに回転して外周の作業面１１ａで工作物を研削するための砥石１１の切れ刃分布を測定する砥粒切れ刃分布測定装置１であって、長手方向中間部に作業面１１ａを回転状態で接触させるセンサ本体３と、作業面１１ａの切れ刃が接触するセンサ本体３の接触点から入力された接触信号がセンサ本体３の両端部３ａ，３ｂに伝播された伝播信号を検出する第１、第２センサ５，７と、センサ本体３の接触点から両端部３ａ，３ｂに到達する両伝播信号の時間差とセンサ本体３の既知の信号伝播速度Ｖとにより接触点からセンサ本体３の両端部３ａ，３ｂまでの距離を演算して作業面１１ａの切れ刃分布を求める演算部９とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 音発生機構が特定の周波数の音を発しても制御手段に異常が生じることのない加工装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、被加工物を搬送する搬送手段と、磁気ディスク装置を備えた制御手段と、異常を知らせる音発生手段と、少なくとも該制御手段及び該音発生手段が取り付けられた枠体とを備えた加工装置であって、該制御手段又は該音発生手段の少なくとも何れか一方が該枠体に伝達される音を遮断する弾性部材を介して取り付けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】化学機械研磨装置において、コンディショニングディスクを駆動するアームおよび軸受け部を適切に管理できる方法を提供する。
【解決手段】研磨パッドを担持したプラテンを回転させながら、前記研磨パッドの表面をコンディショニングディスクによりドレッシングする工程を含み、前記コンディショニングディスクを前記研磨パッドの表面に押圧し、さらに前記アームを前記アームの回転軸回りで回転運動させ、前記コンディショニングディスクの位置を、前記プラテンの径方向上に、前記プラテンの中心部と外周部との間で変化させることにより実行され、前記ドレッシングの際、前記アームに作用するトルクの平均値＜Ｎ＞および変動幅Ｙを、前記コンディショニングディスクの、前記プラテンの径方向上における複数の位置にわたって求め、前記トルクの平均値＜Ｎ＞および前記トルクの変動幅Ｙの値をもとに、前記アームに対するメンテナンスの要否を判定する。 （もっと読む）

【課題】フローティングノズルの磨耗を簡単な位置検出器で検出できる加工液供給装置１を提供。
【解決手段】研削砥石３の外周面４をツルーイングやドレッシングするドレッサ５と、外周面に向かって加工液を供給するノズル２５を設ける。ノズルは外周面に開口する開口部２６と、開口部の両側に研削砥石両側面側に延出する鍔部２７ａ、２７ｂを設け、ノズルを研削砥石外周面に付勢する付勢部材１４と、ノズルを付勢方向自在に支持するノズル支持部材１１と、ノズル支持部材とノズルとの相対位置を検出する位置検出器３２と、を設け、ノズル支持部材をドレッサを軸支するドレッサ支持台６に固定する。ドレッサはロータリードレッサとする。さらに、単結晶ダイヤモンドドレッサを砥石軸方向に移動可能にし、ノズル支持部材を研削砥石に対して鍔部により位置保持できるように、砥石軸方向に移動可能にドレッサ支持台に取付ける。 （もっと読む）

【課題】ワークのチャックテーブルからズレを検出する。
【解決手段】ワークを保持する保持面が形成された保持手段と、該保持手段に保持された前記ワークを研削加工する加工手段とを有する研削装置であって、該保持面の所定位置に搬入されたワークが、研削加工中に該所定位置からズレた際に、該ズレ量を検出するズレ検出手段を有し、該ズレ検出手段は、ワークのエッジ近傍に検出光を照射する照射部と、ワークで反射した該検出光を受光する受光部と、該受光部での受光に基づいてワークのズレを算出する演算部と、該演算部で算出したズレが予め設定した閾値を下回っていた場合には研削加工を続行し、予め設定した閾値を上回っていた場合には研削加工を停止する制御部と、を有する研削装置とする。 （もっと読む）

【課題】異常状態への迅速かつ適切な対処を可能として、半導体デバイス製造工程における薬液漏れに起因する被害を最小限に抑えることができる監視システムを提供すること。
【解決手段】半導体デバイス製造工程において用いられる流体が正常に使用されているか監視して前記流体が人体に悪影響を与えることを防止する監視システムであって、気体濃度検出センサ（１０１ａ）、液体漏れ検出センサ（１０１ｂ）、液体を溜めるタンクの液面の高さを検出するセンサ（１０１ｃ）、のいずれかのセンサ（１０１）による異常状態の検出によって、アラームの発動、電子メールによるオペレータへの異常状態の通知、研削加工装置（１１）の停止、の少なくとも一つの動作を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】砥石のドレスを適切なタイミングで、かつ適切なドレス量で行う。
【解決手段】ある実施の形態における研削装置は、保持テーブル３に保持されたワークＷを研削加工する砥石７２を含む工具７とこの工具７を回転可能に支持する回転スピンドル６２２とを有する加工手段と、砥石７２を目立てするドレス手段９とを備える。ドレス手段９は、ドレス面９１１を有するドレス部９１と、このドレス部９１を、研削加工中の砥石７２にドレス面９１１が接触する作用位置と研削加工中の砥石７２にドレス面９１１が接触しない非作用位置とに選択的に位置付ける移動部９２と、回転スピンドル６２２の回転に供される電流値を検出する電流検出部９３と、電流検出部９３によって検出された電流値が予め設定された閾値を超えたときにドレス部９１を作用位置に位置付けるように移動部９２を制御する制御部９４とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な制御でありながら、精度よくフィレットローラの欠損を判定する。
【解決手段】逐次算出した所定時間あたりの電力変化量ΔＰｉを用いて電力変化量積算値ΔＰｊおよび電力変化量最大値ΔＰｍａｘｊを算出し（ステップＳ１０２〜Ｓ１０８，Ｓ１１４）、電力変化量積算値ΔＰｊと電力変化量最大値ΔＰｍａｘｊとを含む直近２０ケの電力変化量積算値ΔＰｊ−１９〜ΔＰｊおよび電力変化量最大値ΔＰｍａｘｊ−１９〜ΔＰｍａｘｊを用いて許容値範囲ΔＰｊｍａｖ±３σｓｊおよびΔＰｍａｘｊｍａｖ±３σｍｊを設定して（ステップＳ１１２〜Ｓ１１８）、電力変化量積算値ΔＰｊおよび電力変化量最大値ΔＰｍａｘｊが許容値範囲ΔＰｊｍａｖ±３σｓｊおよびΔＰｍａｘｊｍａｖ±３σｍｊの範囲内であるか否かによってフィレットローラＲが欠損しているか否かを判定する（ステップＳ１２０）。この結果、簡易な制御で欠損判定をすることができる。 （もっと読む）

【課題】 サファイア基板等に破損が生じる前に研削加工を停止可能な研削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石を有する研削ホイールが回転可能に装着された研削手段とを備えた研削装置であって、該研削手段は、該研削ホイールが連結されるスピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに装着された振動測定手段と、該スピンドルハウジングを支持し該チャックテーブルに対して該スピンドルハウジングを接近及び離反させる方向に移動する研削送り手段と、該振動測定手段から出力される振動情報を受信する受信部と、異常な振動情報が予め記録されている異常記録部と、該受信部が受信した振動情報と該異常記録部に登録された該異常な振動情報とに基づいて該受信部が受信した振動情報の異常を検出し、該研削送り手段を制御する制御部とを有する制御手段と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ドレッシングボードの厚みが規格の厚みに対して誤差範囲が大きくても、切削ブレードをドレッシングボードに所定の切り込み深さで切り込むことができるドレッシングボードおよびドレッシングボード収容ケースを提供する。
【解決手段】切削装置に装着される切削ブレードを目立てするためのドレッシングボードであって、所要位置に少なくともドレッシングボードの厚み情報を記録した記録媒体が配設されている。 （もっと読む）

【課題】容易かつ確実に電解ドレッシング用電極に付着した付着物を除去する効率的なクリーニングが得られる研削加工方法及び研削加工装置を提供する。
【解決手段】メタルボンド砥石３でワークＷを研削すると共にメタルボンド砥石３及び電解ドレッシング用電極５がそれぞれ陽極及び陰極となるように印加してメタルボンド砥石５を電解ドレッシングする加工時間と非加工時間とを繰り返す研削加工装置１において、非加工時間にメタルボンド砥石３と電解ドレッシング用電極５の極性を反転して電解ドレッシング用電極５のクリーニングを行い、続いて電極ドレッシング用電極５とメタルボンド砥石３との間の電流測定値と電流閾値との比較結果に基づいてクリーニング完了として加工時間に移行し、電流測定値が電流閾値以下の場合は電解ドレッシング電極５のクリーニングを電流測定値が電流閾値より大きくなるまで繰り返す。 （もっと読む）

【課題】切削屑の混じった切削水の飛散の影響を受けることなく、環状ブレードの切り刃の摩耗及び欠けの検出を正確に行う切削装置を提供する。
【解決手段】基台１２０から外周側に突出した切り刃１２１を有する環状ブレード１２と、環状ブレード１２に切削水を供給する切削水供給ノズル１３２と、環状ブレード１２の状態を検出するブレード検出手段１４とを備えた切削装置において、ブレード検出手段は、切り刃１２１が進入するブレード進入部において互いに対向して配設される発光体及び受光体を備え、ブレードカバー１３には、切削水供給ノズル１３２より環状ブレード１２の回転方向Ａ下流側でかつブレード検出手段１４より環状ブレード１２の回転方向Ａ上流側に、切削水供給ノズル１３２とブレード検出手段１４との間を仕切るためのブラシ状仕切り部材１５を配設し、環状ブレード１２の高速回転に伴うブレード検出手段１４への切削水や切削屑の回り込みを遮断する。 （もっと読む）

【課題】迅速にワイヤの断線を検出可能なワイヤソー切断装置を得ること。
【解決手段】ワイヤ２が複数回掛け回されるガイドローラ１と、ガイドローラ１を回転させてワイヤ２を走行させるモータ９と、ワイヤ２の表面に通電性を有するアルカリ性スラリー４を付着させるスラリーノズル７と、を有し、アルカリ性スラリー４が表面に付着したワイヤ２によってシリコンインゴット６を切断するワイヤソー切断装置であって、アルカリ性スラリー４が表面に付着した走行中のワイヤ２がシリコンインゴット６を切削している際の切削抵抗を測定し、切削抵抗の検出結果に基づいてワイヤ２の断線の有無を判断する演算機１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】ワークを研削することなく、砥石の砥粒の突き出し量をより容易に測定することが可能な、砥石における砥粒の突き出し量の測定方法、及び、求めた砥粒の突き出し量に基づいて適切な時期にドレッシングを行うことができる研削盤、更に、砥石の砥粒の突き出し量に限定されず、より容易に回転体の表面粗さを測定する方法を提供する。
【解決手段】回転体の表面に連れ回っている流体の物理量を測定可能な流体検出手段を用い、検出した流体の物理量に基づいて、回転体の表面粗さを求める回転体の表面粗さの測定方法であって、予め表面粗さに対応する流体の流速または圧力の少なくとも一方を測定した表面粗さ−流体物理量特性を記憶しておき、回転体の表面から所定距離だけ離れた位置の流体検出手段を用いて、測定した流体の流速または圧力の少なくとも一方と、表面粗さ−流体物理量特性と、に基づいて回転体の表面粗さを求める。 （もっと読む）

【課題】
就航中の船舶のプロペラをドックに入れて研摩するのではなく、係留している状態の船舶を、水中で海洋性付着物の着床を遅らせる効果がある粗度までプロペラを研摩する技術とプロペラの保守管理に必要なプロペラ表面の粗度を計測する技術が求められていた。
【解決手段】
水中でプロペラの表面の粗度を計測する水中粗度計と、研磨精度をＲａ１μｍ以下まで研磨できる水中プロペラ研磨機と、発生した剥離物を、水面にある剥離物貯留装置に回収できる剥離物回収装置を備える船舶プロペラの水中補修設備を発明した。 （もっと読む）

【課題】研磨装置において、従来は、研磨用流体中の微生物の存在の有無、微生物の繁殖傾向、および微生物汚染防止手段の駆動による実際の効果を、常に迅速に把握、確認することができないため、研磨装置でのウエハの安定した研磨に課題があり、常に安定した研磨を維持することができるスラリー供給装置を提供することを目的とする。
【解決手段】研磨原液の供給ライン７から前記複数の研磨原液の混合液であるスラリーの研磨装置３４、３７への供給ライン３２、３５に至るいずれかの部位に、微生物を検出する微生物検出手段２００を備えたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム環境下において、低コストで迅速かつ確実にガラス板のエッジを自動で研磨する。
【解決手段】本発明は、クリーンルーム環境下においてガラス板のエッジを自動で研磨する装置及び方法に関し、以下の構成を含む。ａ）ガラス板（１１）を受け取るために、複数の吸引ユニット（１０）を有する吸引フレーム（９）を保持したグリッパアームを備えた多軸ロボット（２）、ｂ）ロボット（２）のグリッパアームの回転範囲内に導入され、少なくとも１つの回転可能な研磨輪（１３）を備え、固定された様式で設置された研磨ユニット（１）、ｃ）研磨ユニット（１）の操作により生じた研磨塵を排出する排出システム、ｄ）検知機器に連結され、研磨輪（１３）の摩耗の程度及び状態を監視する較正機器（１８）、並びに本方法を実行するためのコンピュータプログラム。 （もっと読む）

一実施形態では、基板処理表面を維持するための方法が提供される。本方法は、一般に、基板処理表面に対して測定の第１のセットを実行する工程と、ここでは、測定のセットが処理表面コンディショニングアームに結合された変位センサを使用して行われ、測定のセットに基づいて処理表面プロファイルを決定する工程と、処理表面プロファイルを最小プロファイルしきい値と比較する工程と、プロファイル比較の結果を伝達する工程とを含む。
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【課題】 可動部が基台に接触した際にこの接触を確実に検知することのできる気体軸受けの接触検知機構を提供することである。
【解決手段】 基台に対して可動部を絶縁状態で支持する気体軸受けの接触検知機構であって、該基台に一端が接続された抵抗値Ｒ１を有する第１抵抗体と、一端が電源に接続され他端が該第１抵抗体の他端に接続された抵抗値Ｒ２を有する第２抵抗体と、一端が該第１及び第２抵抗体の他端に接続され、他端がグランドに接続された抵抗値Ｒ３を有する第３抵抗体と、該第３抵抗体の前記一端と他端との間の電位差を検出する電位差検出手段と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 モータのロック時にモータの保護と作業者の安全確保が可能な電動工具を提供する。
【解決手段】 回転数センサ１０６は、モータ１０３の回転数を検出する。回転数増幅回路１０５は検出された信号を増幅し、マイコン１２３に出力する。マイコン１２３はモータ１０３の回転数をサンプリングし、回転数低下率を算出する。また、マイコン１２３はシャント抵抗１２７による電圧値によりモータ１０３の電流値をサンプリングし、電流値増加率を算出する。回転数低下率または電流値増加率がそれぞれの規定値を超えると、マイコン１２３はトライアック１２５へのゲート信号を制御してモータ１０３を停止させる。これにより、モータ１０３は保護され、作業者の安全も確保される。 （もっと読む）