【課題】カップ形砥石の砥粒面と被加工物の摺接部である加工点へ研削液を効率よく供給し、加工点に給液された研削液を周辺に飛散させずに回収することができる給液構造を提供する。
【解決手段】カップ形砥石２０の全周を覆うように筒状のカバー３０が設けられ、カップ形砥石２０の台金２１には、中央壁部２２のスピンドル１０側の面に設けた受液部２５から中央壁部２２を貫通し、周壁２３の内側に開口した複数の給液穴２６が形成され、カバー３０は、台金２１の周壁２３及び砥粒層２４の外周を小間隙Ｓを介して取り囲む円筒状周壁３１を有し、カップ形砥石２０の回転により研削液を小間隙Ｓ内を通してカバーの内側方向に移動させるポンプ手段２７，３２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】極少量の液体で切削加工点に対する潤滑や冷却を効率よく行い、液体が高い粘性をもっていても途切れることなく安定して且つ、連続的にブレード周側面にピンポイントで供給しブレード周側面に該液体を薄く引き延ばすように供給することにより液体を蒸発させやすくして、気化熱による熱の発散を促すとともにブレード周側面とワークの摩擦点で起こる摩擦熱を取り除く。
【解決手段】所要の回転速度で回転するブレード５により、該ブレード５に対し相対移動するワークに個片化用の切削を施すとともにブレード５の周側面に潤滑用ないし冷却用の液体を供給する潤滑機構２１を備えたダイシング装置のブレード潤滑機構において、前記潤滑機構２１は、適宜の液体供給手段１９から潤滑用ないし冷却用の液体供給を受け、該供給を受けた潤滑用ないし冷却用の液体を毛細管現象により前記ブレード５の周側面に移送させる毛細管構造部材２０で構成した。 （もっと読む）

【課題】真円度、円筒度及び研削能率を向上させる配置の砥石を有する研削工具を提供する。
【解決手段】複数スリットを有する円柱状ホルダと、ホルダと同軸的に内包されるテーパコーンと、コーンに支承され複数スリットの各々に内包されるシューと、シューに取り付けられホルダから突出する砥石を備え、コーンの軸方向の進退によりシューが進退自在な研削工具で、ホルダは、ホルダ内部にクーラントを供給する流入口と、ホルダ内に流入したクーラントを排出するスリットに形成された複数の排出溝とを備え、隣接する砥石がなす角のうち少なくとも一箇所は角度が大きく、それ以外の箇所は角度が小さくなるようホルダの回転軸を中心とする円周上に砥石が配置され、砥石数は６枚であり、そのうち４枚の砥石は、回転軸に関して向かい合う９０度以上の二領域を区画するように配置され、残りの２枚の砥石は、各々９０度以上の領域以外の領域に１枚ずつ配置される。 （もっと読む）

【課題】管理の負担軽減およびコストの低減が図られる研削加工ツールとする。
【解決手段】複数の砥石４１９が配設されるとともに研削液供給用のノズル４２２が形成される基台部４０を、砥石４１９が配設された第１の部位４１と、第１の部位４１から分離可能でノズル４２２が形成された第２の部位４２とからなる構成とし、消耗する砥石４１９が配設された第１の部位４１のみが消耗品として扱われ、ノズル４２２が形成されている第２の部位４２は交換せずに使用できるものとする。 （もっと読む）

【課題】 ホイールマウントに研削屑が固着することのない研削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に支持する研削手段と、被加工物と該研削砥石とに研削水を供給する研削水供給手段とを備えた研削装置であって、該研削手段は、回転駆動されるスピンドルの先端に固定された該研削ホイールが着脱自在に装着されるホイールマウントを含み、該研削ホイールが着脱自在に装着される該ホイールマウントの装着面にはＤＬＣがコーティングされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
高い加工精度を実現する固定砥粒を用いた研磨装置を提供する。
【解決手段】
被加工物の被加工面を研磨する研磨装置は、第１の回転軸を中心に回転する定盤と、定盤の上面に取り付けられ、被加工物の被加工面と接触する加工面が設けられ、砥粒、結合材及び気孔を有する多孔質砥石と、第１の回転軸とずれた第２の回転軸を中心に回転し、定盤上の多孔質砥石の加工面と被加工物の被加工面を接触させた状態で多孔質砥石と被加工物とを相対的に摺動させながら複数の被加工物を保持する保持部と、定盤に形成され且つ定盤の上面に開口し、多孔質砥石の気孔を介して多孔質砥石の加工面と連通する通水用流体通路と、通水用流体通路と接続し、通水用流体通路に加圧された水を供給するポンプと、定盤と保持部の回転を停止させる停止信号を検出すると、ポンプを作動させ、ポンプから供給された水を通水用流体通路、さらには気孔を介して加工面に吐出させる制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転砥石を使用して乾式加工を行っても、回転砥石に目詰まりが生じにくい加工方法、及び、該加工方法に適した加工装置を提供する。
【解決手段】加工方法は、砥石本体を、砥石本体の重心を通る第一軸周りに回転させると共に、第一軸とは軸方向が異なる第二軸周りに回転させながら、砥石本体を被加工体に押し込むものである。加工装置１は、砥石本体１０と、砥石本体の重心を通る第一軸Ｐ１を軸心とし、砥石本体と一体的に回転する回転支軸１１と、回転支軸を回転させる第一回転駆動装置１４と、回転支軸を砥石本体の両側で回転自在に挿通させる一対の支持体１２と、支持体を、第一軸とは軸方向が異なる第二軸Ｐ２周りに回転させる第二回転駆動装置１９とを具備する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハ等の被加工物の研削時における研削砥石のドレッシングを不要として研削の生産性をより向上させる。
【解決手段】研削液供給手段２２から研削砥石２１３ｂに研削液を供給しながらチャックテーブル２０に保持された被加工物に対して研削砥石２１３ｂを作用させて研削を行う被加工物の研削方法において、研削砥石２１３ｂは、ダイヤモンド砥粒をビトリファイドボンドで固めたビトリファイド砥石とし、研削液供給手段２２から供給される研削液は、ビトリファイドボンドを浸食して研削砥石の自生発刃作用を促進する二酸化珪素溶融液とする。 （もっと読む）

【課題】加工液を供給しながらレンズを加工する加工技術において、加工液の供給経路の保守管理を容易化する。
【解決手段】スピンドル４に支持された砥石ホルダ３に固定された加工砥石２に加工液１０ａを供給しつつレンズ１を押圧して研磨加工するレンズ加工装置Ｍ１において、加工液１０ａの供給路であるスピンドル４の軸貫通穴４ａに隙間ｇをなして非接触に加工液供給管５の挿入端部５ａを挿入し、ポンプ９から加工液供給管５、軸貫通穴４ａ、砥石ホルダ３の貫通穴３ａ、加工砥石２の加工液供給穴２ａを通じて加工液１０ａを供給する構成とした。加工液１０ａの供給経路にスピンドル４の回転による摩擦や摩耗を伴う構成が存在しないため、メンテナンスを大幅に簡易化できる。 （もっと読む）

【課題】 研削砥石のドレッシングの回数を減らすことができるとともにウエーハにスクラッチを生じさせることの無い研削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削ホイールを回転可能に支持した研削手段とを備えた研削装置であって、該研削ホイールは、スピンドルの先端に連結されたホイールマウントに装着されるマウント装着部を有する環状基台と、該環状基台の自由端部にリング状に配設された複数の研削砥石とから構成され、該環状基台の該マウント装着部から該自由端部に至る外周側面及び内周側面を洗浄する洗浄手段が配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 研削砥石のドレッシングの回数を減らすことができるとともにウエーハにクラックを生じさせることの無い研削ホイールを提供することである。
【解決手段】 研削水を供給する研削水供給手段と、回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端に連結されたホイールマウントとを有する研削装置の該ホイールマウントに着脱自在に装着される研削ホイールであって、内周壁、外周壁及び該ホイールマウントに装着される装着部を有する環状基台と、該環状基台の自由端部にリング状に配設された複数の研削砥石とを具備し、該環状基台の前記外周壁には円周方向に所定の間隔を持って前記内周壁に貫通し、研削屑を研削水と共に排出する複数の貫通孔が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板に対する研磨パッド（およびポリッシングプレート）の浮き上がりを防止した研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る研磨装置は、ポリッシングプレート２２に貼り付けられた研磨パッド２３をチャック１１に保持された基板Ｗに当接させながら相対移動させて基板Ｗを研磨するように構成された研磨装置において、研磨パッド２３の中央部に形成された開口部２３ａより研磨用の液体を供給する研磨液供給機構４０を有しており、ポリッシングプレート２２の内部に、研磨パッド２３の開口部２３ａと接するポリッシングプレート２２の下面中央部と連通して、研磨液供給機構４０から供給される液体を開口部２３ａに向けて流下させる液体供給通路２２ａと、外部露出するポリッシングプレート２２の側面と液体供給通路２２ａとに連通した大気導入孔２２ｂとが形成されている。 （もっと読む）

【課題】研磨プロフィールの平坦性の向上と、研磨装置の小型化とを両立することができる両面研磨装置を提供する。
【解決手段】両面研磨装置１は、基板を囲み保持する基板キャリア２１と基板キャリアに保持された基板１０の上下面に対向し配設した一対の上ラップ定盤３１ａ、下ラップ定盤３１ｂと、基板キャリア、上下ラップ定盤を基板の上下面に沿った方向に直線揺動させるキャリア揺動機構２５、上下定盤揺動機構３６ａ，３６ｂと、基板と上下ラップ定盤とが対向当接する当接部に研磨剤を供給する研磨剤供給機構４１とを備え、研磨剤供給機構より上下側当接部に研磨剤を介在させた状態で上下定盤揺動機構により上ラップ定盤と下ラップ定盤とを互いに反対方向に直線揺動させるとともに、基板キャリアを上下ラップ定盤の直線揺動方向と略直交する方向に直線揺動させ、基板キャリアに保持された基板の上下面を研磨加工する。 （もっと読む）

【課題】二種類の研削砥石を必要に応じて同時に又は別個に装着可能な研削装置の研削ホイール装着機構を提供する。
【解決手段】研削ホイールは第１の寸法の内径を有する環状の第１ホイールベース３２に取り付けられた複数の第１研削砥石３４とから構成される第１研削ホイール３０と第１の寸法より小さな第２の寸法の外径を有する第２ホイールベース４０に取り付けられた複数の第２研削砥石４２とから構成される第２研削ホイール３８とを含む。ホイールマウント２８は第１ホイールベースが装着される環状の第１装着面２８ａと第１装着面の内周部に設けられ第２ホイールベースが装着される第２装着面２８ｂとを有し、第１研削ホイール及び第２研削ホイールをそれぞれ第１装着面及び第２装着面に装着した際第２研削ホイールの第２研削砥石の端面が第１研削ホイールの第１研削砥石の端面より所定距離突出する。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１本の傾斜溝を、砥石と工作物とが接触する接触面を上下に貫通させることにより、接触面に向けて供給された研削液に発生する動圧を開放し、工作物の加工精度を高めて研削能率を向上させる。
【解決手段】砥石の研削面と工作物とが接触する接触面に向けて研削液を供給しながら工作物を研削する研削加工において、研削面に刻設された傾斜溝と、接触面の砥石円周方向と平行な一方の縁の延長線との交点を一方交点、他方の縁の延長線との交点を他方交点と定義した場合、一の傾斜溝の他方交点と、一の傾斜溝と隣接する傾斜溝の一方交点とが砥石円周方向において所定のオーバラップ量だけオーバラップし、接触面の砥石円周方向長さがオーバラップ量よりも小さくなるようにする。 （もっと読む）

【課題】硬度の高い材料であるサファイア等の基板外周部を安定した研削能力で高精度かつ長寿命に面取り加工が可能なホイール型回転砥石を提供する。
【解決手段】ホイール型台金１と、この台金外周面の周方向に亘り設けられたダイヤモンド砥石層２と、この砥石層表面の周方向に亘り互いに平行に設けられた断面略コ字形状を有する複数本の環状研削溝３とを備えるホイール型回転砥石であって、環状研削溝の各底面部には複数の貫通孔４が設けられ、各貫通孔の開放端にはホイール型台金の回転中心部から放射線状に設けられた研削液供給用穿孔５の開放端が接続されており、貫通孔の直径をＨ、底面部の幅寸法をＷとしたときＷ＞Ｈに設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スピンドル冷却式フライス盤を使用して研削操作を行うための改良された工具を提供する。
【解決手段】略円形の本体から垂れ下がる環状研削面を有する研磨研削砥石は、軸方向穴を通して下流方向に冷却剤を搬送するように構成された軸方向穴を画定する管状内壁を含む。内壁は、環状研削面の内周に終端する凹状本体部分に連結される。代表的な実施形態で、研削面の内周の約２０ｍｍ内に配置された外周を有するフランジは、凹状本体部分と重ね合わせられて、フランジと凹状本体部分との間の流体流通路を画定する。流体流通路は、軸方向穴と研削面とに流体連通しているので、研削砥石の動作可能な回転中に、穴を通して下流に流れる冷却剤は、研削面に供給するための流体流通路内に半径方向外側に搬送される。 （もっと読む）

【課題】ウエーハ等の被加工物の研削面に研削水を供給しながら研削する際に研削面に傷をつけることなく研削できる研削ホイールを提供すること。
【解決手段】セグメント状の研削砥石に代え、環状の研削砥石４１をホイール基台４３に固定するとともに環状の研削砥石４１が固定される固定部４２に研削水を放出する放出溝４８を放射状に形成することで、セグメント状の研削砥石のように欠けた砥石破片によって被加工物の研削面に傷をつけることなく研削でき、また、環状の研削砥石４１の内部に塞き止められた研削水は環状の研削砥石４１と交差するように放射状に形成された放出溝４８から外部に流出するので、環状の研削砥石４１の内部と外部が研削水で満たされて環状の研削砥石４１を十分冷却できるとともに内部の研削屑を排出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】ワークの被研磨面の平面度を良好に出し易くし、かつ、鏡面研磨加工の精度を向上する研磨工具を提供する。
【解決手段】ＮＣマシーンに装着して使用する研磨工具であって、ＮＣマシーンの出力軸４の回転動力で回転する回転軸１と、下端を開口した円筒カップ状に形成され、上端部を回転軸１に固定して設けた研磨ヘッド２と、ヘッド２の下端面に接着等で固着して設けた複数個の研磨チップ３…３とを備え、回転軸はヘッド内へ研磨液を導入する液体導入孔１３を備える。各研磨チップはヘッドの下端面に任意の間隔部３１を存して配置されている。 （もっと読む）

【課題】炭化ケイ素単結晶を効率よく、かつ割れ等の破損がない状態で容易に切り出すことができる炭化ケイ素単結晶の研削方法を提供する。
【解決手段】昇華法により形成された炭化ケイ素単結晶１０の種結晶側に対向する成長面に対して中空円筒状砥石３０の開口部を接触させる工程と、 上記中空円筒状砥石３０を回転させると共に上記中空円筒状砥石を上記種結晶方向に下降させて上記炭化ケイ素単結晶１０を研削する工程と、を含むことを特徴とする炭化ケイ素単結晶の研削方法。 （もっと読む）