【課題】ウェーハの研磨時に欠陥の原因となる粗大粒子が従来に比べて大幅に低減された、また、これによりウェーハの研磨時において、ウェーハ表面のナノオーダーの欠陥を低減できる研磨スラリーの供給方法及び供給装置、並びに研磨装置を提供することを目的とする。
【解決手段】スラリー原液と純水とを混合した研磨スラリーを研磨装置に供給する供給方法であって、計量された前記スラリー原液に対して前記純水を単位時間当たりに所定量加えるように制御しながら前記スラリー原液と前記純水とを混合する工程と、該混合された研磨スラリーを前記研磨装置に供給する工程とを含むことを特徴とする研磨スラリーの供給方法。 （もっと読む）

【課題】濾過材料の局部的なスラッジの堆積を防止すること。
【解決手段】冷却媒体を循環させる循環経路に設けられ、冷却媒体を貯留させるコンベアタンク（濾過槽）２２と、前記コンベアタンク２２内にて前記冷却媒体に混在するスラッジを取り除く濾過材料２３とを有する冷却媒体濾過装置において、前記コンベアタンク２２に貯留される冷却媒体に浸された状態で冷却媒体を排出する排出部５０が、異なる複数方向に向けて排出口５０ｂを有する。 （もっと読む）

【課題】研磨砥粒回収装置のスクリューやボウルへのダメージが均一であり、かつ、制御精度良く、回収率が高い研磨砥粒回収装置を提供すること。
【解決手段】研磨砥粒を含むスラリから前記研磨砥粒を含む濃縮液を分離する研磨砥粒回収装置であって、当該研磨砥粒回収装置は、前記スラリを保持するボウルと、前記濃縮液をボウルからかき出すためのスクリューコンベアと、前記ボウル及び前記スクリューコンベアを回転駆動するための駆動手段と、前記駆動手段を制御する制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記ボウル又は前記スクリューコンベアを回転駆動するための、前記駆動手段の駆動電流値に基づいて、前記ボウルの回転速度と前記スクリューコンベアの回転速度との差を制御するものである、研磨砥粒回収装置。 （もっと読む）

【課題】使用済クーラントから各成分を再利用可能に分離するとともに、一次遠心処理工程及び二次遠心処理工程のそれぞれの処理時間を近似させ、生産効率の向上を図ることのできる分離回収装置の提供を課題とするものである。
【解決手段】分離回収装置１は、ボウル状の一次回転体７及び一次回転駆動部８を備える一次遠心分離部９と、使用済クーラント２を一時的に貯留する使用済クーラント貯留槽１０と、一次回転体７の回転速度を変化させる一次回転速度制御部１１と、回収砥粒３及び破砕砥粒４を分別する砥粒分別回収部１２と、ボウル状の二次回転体１３及び二次回転駆動部１４を備える二次遠心分離部１５と、一次遠心分離液１６を吐出する一次遠心分離液貯留槽１７と、二次回転体１３の回転速度を変化させる二次回転速度制御部１８とを具備する。 （もっと読む）

【課題】使用済クーラントからシリコン切削屑を除去し、再利用可能なクーラントを生成することが可能なクーラント再生方法を提供することを課題とする。
【解決手段】クーラント再生方法１ａは、縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニット２に使用済クーラント３の一部を供給し、固形分１７と遠心分離液１９とに遠心分離する遠心分離工程Ｓ２、及び遠心分離液１９を使用済クーラント３と混合する遠心分離液混合工程Ｓ３を備える遠心分離循環工程Ａと、濾過膜６を有する膜分離ユニット７に使用済クーラント３の残部を供給し、濃縮液２２と膜濾過液２１とに膜分離する膜分離工程Ｓ４、及び濃縮液２２を使用済クーラント３と混合する濃縮液混合工程Ｓ５とを備える膜分離循環工程Ｂと、循環させた遠心分離液１９、及び、回収した膜濾過液２１を混合し、クーラント４を生成するクーラント混合生成工程Ｓ６とを具備する。 （もっと読む）

【課題】０．１μｍ以下の粒径のシリコン微粒子の比率を抑えた再生クーラント、及びクーラント再生方法の提供することを課題とする。
【解決手段】クーラント再生方法１ａは、遠心分離ユニット２に使用済クーラント３を供給するクーラント供給工程Ｓ１と、使用済クーラント３を遠心分離する遠心分離工程Ｓ２と、分離した遠心分離液１９を回収する遠心分離液回収工程Ｓ３と、遠心分離液５を膜分離ユニット７に供給する遠心分離液供給工程Ｓ５と、遠心分離液１９を膜分離する膜分離工程Ｓ６と、分離された膜濾過液２１を回収する膜濾過液回収工程Ｓ７とを具備し、再生クーラント４は、残存シリコン成分が再生クーラント全体の０．０１重量％以上、３．０重量％以下であり、残存シリコン成分に含まれる０．１μｍ以下の粒径のシリコン粒子が残存シリコン成分全体の０．０１重量％以上、３０重量％以下になる。 （もっと読む）

【課題】高い歩留まりでクーラントを再生し、回転体に付着したスラッジを除去する機能を有するクーラント再生方法の提供することを課題とする。
【解決手段】クーラント再生方法１は、縦型遠心分離装置に洗浄液を吐出する洗浄液吐出工程Ｓ０’と、洗浄液の吐出される縦型遠心分離装置の回転体を遠心分離工程時の回転数よりも低速で回転させ、縦型遠心分離装置に付着したスラッジを洗浄及び除去するスラッジ洗浄工程Ｓ０”と、縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニットに使用済クーラントを供給するクーラント供給工程Ｓ１と、遠心分離ユニットに供給された使用済クーラントをシリコン切削屑を含む固形分と遠心分離液とに遠心分離する遠心分離工程Ｓ２と、遠心分離ユニットの縦型遠心分離装置を稼動させた状態で使用済クーラントの供給を間欠的に制御する間欠制御工程Ｓ３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】切削油等の循環液体の濾過能力および冷却能力を高め、大型の機械類、あるいは複数の機械類における切削油等の循環液体の濾過および温度制御を可能にする。もしくは、同程度の濾過能力を得ながら、単位濾過部材面積あたりの設置面積を小さくして小型化を図る。
【解決手段】切削油循環装置１（循環液体濾過装置）は、切削油３（循環液体）が貯留される濾過タンク６と、濾過タンク６に切削油３が流入する流入部８と、濾過タンク６から切削油３が流出する流出部９と、濾過タンク６の内部空間を上下に区画し、その上方の空間を流入部８に繋がるダーティーサイドＤＳ、下方の空間を流出部９に繋がるクリーンサイドＣＳとするロールシート状の濾過部材１１と、濾過部材１１を濾過タンク６の水平方向一端側から送り出し、濾過タンク６の内部を上下に蛇行させながら通過させ、濾過タンク６の水平方向他端側で回収する濾過部材送給機構１２とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーにおいて、加工液に混ざった切削屑を除去し、切削屑の除去された加工液を再度ワイヤソーに供給する。
【解決手段】走行するワイヤ４１にワーク４４を押し当てて切断するワイヤソー２と、ワイヤソー２に加工液８を供給する供給槽６と、加工液８の回収槽５とを備えたワイヤソー２の加工液循環装置１であって、回収槽５は、回収された加工液８が供給される加工液貯留部１２と、加工液貯留部１２の一端に設けられた傾斜部１３と、回収槽５の幅方向両端に沿って周回可能な無端チェーン１８と、加工液貯留部１２の底面３５に沈降した切削屑２８を傾斜部１３上方へ掻き上げる複数のスクレーパー２３と、切削屑２８の排出口１１と、加工液貯留部１２の加工液８をオーバーフローさせて供給槽６に供給する加工液流出部７とから構成し、供給槽６は、回収槽５からオーバーフローする加工液８を貯留するとともにワイヤソー１に供給するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 研磨後のウェハの厚みばらつきを軽減する。
【解決手段】 センターギアと、このセンターギアを回転軸とする下定盤と、この下定盤の縁側に配置されるインターナルギアと、前記センターギアを回転軸としつつ前記下定盤と向かい合うように配置される上定盤とから構成される研磨装置と、前記研磨装置を内部に配置し研磨で使用した前記溶液を溜める溶液漕と、所定の溶液内にナノバブルを生成するナノバブル発生装置と、前記ナノバブルを含む前記所定の溶液を攪拌する攪拌部と、この攪拌部から前記研磨装置の上定盤に前記ナノバブルを含む前記溶液を供給する第一のポンプと、前記溶液漕に溜まった前記溶液を前記攪拌部へ供給する第二のポンプと、から構成される循環系設備と、を備え、前記研磨装置と前記溶液漕と前記循環系設備との前記溶液が接触する表面に、フッ素樹脂を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】イオン交換樹脂ボンベを交換した際に、イオン交換樹脂ボンベに溜まった空気を加工装置側に送ることなく排出することができる加工廃液処理装置を提供する。
【解決手段】廃液収容タンクと、加工廃液を濾過して清水に精製する廃液濾過手段と、廃液濾過手段によって精製された清水を貯水する清水貯水タンクと、清水を純水に精製するイオン交換樹脂を収容したイオン交換樹脂ボンベを含む純水生成手段と、純水生成手段によって精製された純水を上記加工装置に供給する加工液供給手段とを具備する加工廃液処理装置であって、純水生成手段のイオン交換樹脂ボンベと加工液供給手段とを結ぶ純水送出管と清水貯水タンクとを空気排出管によって接続し、空気排出管に開閉弁を配設するとともにイオン交換樹脂ボンベと加工液供給手段とを結ぶ純水送出管における空気排出管との接続部より加工液供給手段側に開閉弁が配設されている。 （もっと読む）

【課題】表面粗さが小さく平滑性の高いハードディスク用ガラス基板を安定して製造すること。
【解決手段】研磨砥粒を含む研磨液を用いてハードディスク用ガラス基板５０の表面を研磨する研磨工程を含むハードディスク用ガラス基板５０の製造方法において、研磨工程では、研磨液中の研磨砥粒の電荷と同じ符号の電荷を付与した研磨液貯留タンク１５，１７を用いる。研磨液のｐＨは１〜５である。研磨砥粒はコロイダルシリカであり、コロイダルシリカをマイナス帯電させた研磨液を用いる。研磨液貯留タンク１５，１７は樹脂製である。研磨工程は、研磨液を循環使用する循環使用工程と、この循環使用工程の後、研磨液を掛け流し使用する掛け流し使用工程とを含み、掛け流し使用工程において、電荷を付与した研磨液貯留タンク１７を用いる。 （もっと読む）

【課題】切削屑や研削屑が付着して寿命に達したフィルターを容易に交換することができる加工廃液処理装置を提供する。
【解決手段】加工廃液を収容する廃液タンク２と、加工廃液を送給する加工廃液送給手段８と、廃液を濾過するためのカセットフィルター４と、カセットフィルター４を支持するとともに清水流出口を備えたフィルターラック５，６と、流出した清水を貯留する清水タンク７とを具備する加工廃液処理装置であって、フィルターラック５，６は清水流出口を備えた底壁と、底壁の外周縁から立設して設けられ底壁とともに清水パンを形成する側壁５６と、底壁の上面に配設されカセットフィルター５，６を載置するための支持面を備えた複数個の支持部材５７とを備えており、複数個の支持部材５７は間隔がフォークリフトのフォークが侵入可能な間隔に設定され、支持面の高さ位置が側壁の上面からフォークの厚みより高い位置に設定されている。 （もっと読む）

【課題】固定砥粒ワイヤソーに供給するスラリの調整が容易で且つ安定した切断が図れるようにする。
【解決手段】スラリ廃液３を受ける第１槽５Ａと、第１槽５Ａのスラリ廃液３ｂを導入してスラリ２を分離する遠心分離機１４と、遠心分離機１４のスラリ２を受ける第２槽５Ｂと、第２槽５Ｂのスラリ２を固定砥粒ワイヤソー１に供給するスラリ供給系路２６と、第２槽５Ｂのスラリ２を取り出して循環する循環流路２８に備えた比重計２９と粘度計３０による検出値からスラリ濃度を検出する制御器４１と、第２槽５Ｂのスラリ２の一部を廃スラリ３１として排出するスラリ排出系路３３と、新スラリ２ａを第２槽５Ｂに供給する新スラリ供給系路３８とを備え、制御器４１で検出するスラリ濃度が規定濃度を保持するように、スラリ排出系路３３による廃スラリ３１の排出と新スラリ供給系路３８による新スラリ２ａの供給とを行う。 （もっと読む）

【課題】研磨砥粒を固まらせることなく研磨液を研磨装置の研磨パッドに供給することができる研磨液供給装置を提供する。
【解決手段】底壁と天井壁および側壁とを有する研磨液収容タンクと、研磨液収容タンク内に収容された研磨液を研磨装置に供給する研磨液送給手段とを具備する研磨液供給装置であって、研磨液収容タンクを構成する少なくとも壁の内面に付着した研磨液を洗い流す洗浄水を噴射する洗浄手段を具備している。 （もっと読む）

【課題】本発明は研磨パッドの全面に研磨用液を安定供給することを課題とする。
【解決手段】研磨用液供給装置１００は、研磨用液を貯留する液貯留部１１０と、液貯留部１１０に研磨用液を補給する液補給部１２０と、両面研磨装置２００の上定盤２０１と下定盤２０２との間に研磨用液を供給する複数の液供給チューブ１３０とを有する。液貯留部１１０は、環状に形成された多重溝１４０と、多重溝１４０を支持する支持部材１６０とを有する。多重溝１４０は、内側溝部材１４２と、外側溝部材１４４とが同心円状に配されている。内側溝部材１４２及び外側溝部材１４４は、複数の液供給チューブ１３０を通して上定盤２０１に保持された上側研磨パッド３３０に連通される。 （もっと読む）

【課題】砥液供給装置における混合比率の設定値の変更操作を必要とせずに、希釈液との混合比率が互いに異なる砥液原液を収容する２種類の原液タンクを砥液供給装置で使用することを可能にする。
【解決手段】砥液供給装置１０は、原液タンクＴからの砥液原液を混合タンク１１に供給する原液供給部１２と、希釈液流路１３ａを通じて希釈液を混合タンク１１に供給する希釈液供給部１３と、砥液原液と希釈液とが所定の比率で混合された砥液が混合タンク内に生成されるように、原液供給部１２および希釈液供給部１３の制御を行う制御部１５とを有する。混合比率制御装置３０は、希釈液流路１３ａを流れる希釈液を混合タンク１１の上流側で排出する排出部３１と、所定の種類の原液タンクが使用される場合に、上記制御が行われる際、砥液原液と希釈液とが上記所定の比率と異なる比率で混合されるように排出部３１の制御を行う排出制御部３２とを有する。 （もっと読む）

【課題】 分離効率、回収率及び回収純度の向上を図ることが可能であり、タンクとポンプなどの付属機器が必要最小限で済む湿式分離装置及びこれを用いた研磨材回収システムの提供。
【解決手段】 研磨材廃液などのスラリーを、液体サイクロン本体１に投入することにより、液体サイクロン本体１の筒状部１Ａにて遠心力により旋回流を生じさせるスラリー投入口２をサイクロン本体１に設置するとともに、筒状部１Ａに投入されたスラリーを遠心力によって分級し、スラリーのうち主として粗粉を含むスラリーを下方へ排出するアンダーフロー排出口３を筒状部１Ａに設け、液体サイクロン本体１の下方に調整チャンバ５を取り付けることにより、アンダーフロー排出口３を介して筒状部１Ａと調整チャンバ５とを連通させ、調整チャンバ５にスラリーを排出する粗粉スラリー排出口７、並びに第１の希釈用流体投入口８を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）