【課題】ディスクカッタに噴射される水の使用量を抑制する。
【解決手段】この携帯用切断機１０は、エンジン等の駆動源によりディスクカッタ２８を駆動して被削材の切断作業を行うために使用される。ディスクカッタ２８にはノズル３７から水が噴射され、ディスクカッタ２８が冷却されるとともに粉塵の発生が抑制される。ディスクカッタ２８が被削材に接触すると、歪みゲージ５３ａ，５３ｂからの信号により接触状態が判定されてノズル３７から水が噴射され、接触しなくなるとノズル３７に対する水の供給が停止される。 （もっと読む）

【課題】注水機構がない電動工具であっても、簡単且つ低コストで注水機構を付加する。
【解決手段】注水アタッチメント１０は、内部流路を任意に開閉操作可能なバルブを有し、内部流路の前端側に、ディスクサンダ１の工具カバー４に設けた集塵ノズル８に接続可能な前接続部１２を備える一方、内部流路の後端側に、ホース２３が接続可能なプラグ２２を備える。よって、注水アタッチメント１０を介して集塵ノズル８から工具カバー４内に注水可能となる。 （もっと読む）

【課題】ワークの研削動作が停止された後に、回転砥石の水切り動作及びクーラント供給装置による洗浄用のクーラントの供給を設定時間だけ自動的に適正に行い、研削作業能率を向上することができる研削盤を提供する。
【解決手段】回転砥石２１によるワークの研削加工が終了した後に、回転砥石２１を予め設定された第１の設定時間ｈ１だけ空回転させて、回転砥石２１に含浸されているクーラントを遠心力によって外部に飛散させる。この回転砥石２１が空回転を開始した後、クーラント供給装置を洗浄状態にして第２の設定時間ｈ２だけ継続して運転し、クーラント循環経路に残留している研削屑の洗浄分離を行った後、自動的にクーラント供給処理装置の洗浄運転を停止する。 （もっと読む）

【課題】基板上のレジスト膜を現像した後に基板外周と端部に残存するレジスト残りを研磨する装置の提供である。
【解決手段】少なくとも、円柱部材の外周上に円柱の軸を中心とする複数のＵ字形状の凹溝7が平行に形成され、該凹溝7内壁は壁に沿うように砥石4により被覆されるとともに、該凹溝内空間は、円柱部材の中心軸上に形成された開口部を有する空洞9と砥石4と円柱部材に形成された微細な排出用孔8を介して連通する、砥石ヘッドと、基板を載置して該基板を上下水平方向に移動自在な基板ステージ10と、純水あるいはエアーを凹溝内部方向に吐出するノズル５と、を備え、基板ステージ10上に載置した基板1の外周部を砥石ヘッドの凹溝7に収容したままの状態で、砥石ヘッド20が軸回転できるようにしたことを特徴とする基板端面付着レジスト研磨装置。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードの状態検出を行う検出手段の発光面及び受光面が加工屑によって汚れるのを抑制する。
【解決手段】切削ブレード３１を覆うブレードカバー３２と、発光面３８０と受光面３８１とを結ぶ光軸３８２が切削ブレード３１の刃先によって遮蔽される量に基づいて切削ブレード３１の状態を検出する検出手段３８と、切削により飛散する切削水を排出する排出手段とを備えた切削装置において、ブレードカバー３２は発光面３８０、受光面３８１にそれぞれ流体を供給する第一、第二の噴出口３９０、３９１を有し、第一、第二の噴出口３９０、３９１は、切削ブレード３１の半径方向外側かつ発光面３８０及び受光面３８１と排出手段との間に形成して発光面３８０、受光面３８１の汚れを抑制し、第一、第二の噴出口３９０、３９１から噴出される流体が発光面３８０、受光面３８１に到達するまでの経路が切削ブレード３１を避けるようにして切削ブレード検出の正確性を確保する。 （もっと読む）

【課題】研削時に発生する研削屑の除去効果を向上させること。
【解決手段】回転軸４２には、液体を供給する液体源に連通する液体連通路４２１が上下方向に伸びるように形成され、工具マウント４４は、液体連通路４２１に連通する第１流路４４１と、第１流路４４１の下側先端部から回転軸４２に対して放射方向に分岐して形成され、ワークＷに向かって液体を噴出する噴出口５２２に連通する第２流路４４２と、第２流路４４２の中間部に気体を取り込む気体流入口４４３と、を有し、液体源から供給された液体が、回転軸４２の回転により第２流路４４２内で生成される遠心力によって気体流入口４４３から取り込まれた気体と第２流路４４２内で混合され、噴出口５２２からワークＷに向かって混合流体が噴出するようにした。 （もっと読む）

【課題】毎回調整や交換を必要とせず、ワイヤや溝ローラーに異物を巻き込まないようにするワイヤソーの異物除去装置を提供する。
【解決手段】複数の溝ローラー１間にて張設されたワイヤ２のワイヤ列に対して上方から加工物６を下降させながらワイヤ列の切断部に押し付けて切断するワイヤソーの異物除去装置であって、前記ワイヤ列の下方に切断後の加工物６が収納される受け部材３を設け、前記溝ローラー１と受け部材３の側板との間に溝ローラー１から受け部材３に向けて下向き傾斜した異物受け板２２を設け、ワイヤ２に対して上方から異物受け板２２及び／又は受け部材３に向かって加工液２８を吹き付けるようにした構成のワイヤソーの異物除去装置。 （もっと読む）

【課題】加工室内のスラッジを適切に除去することのできる技術を提供する。
【解決手段】周囲が囲こまれている加工室Ｒ内でウェーハＷを研削する研削処理方法において、加工室Ｒ内でウェーハＷを研削している時点、又は研削した直後の時点の少なくとも一方の時点において、扉用洗浄ノズル部１２が、加工室Ｒ内の扉７の内側面に対して、内側面に沿って流れるように洗浄液を供給するようにする。係る研削処理方法によると、所定の面に付着しているスラッジや、所定面に向かって飛んできたスラッジを、その面に流れる洗浄液により適切に洗い流すことができる。このため、所定の面に付着するスラッジが付着することを適切に防止することができる。また、飛散しているスラッジを適切に低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 坏土供給穴とこの坏土供給穴に連通する成形溝とを有する成形用金型の加工装置及び加工方法であって、金型素材に坏土供給穴を形成した後、治具に取り付けた金型素材に、円形薄刃砥石により成形溝を加工するにあたり、（ａ）成形溝の形成に伴って次々と発生する研削屑を成形溝の底部に残すことがなく、（ｂ）研削屑を除去するために大型のポンプを必要とせず、しかも研削屑がポンプ内に詰まることがなく、（ｃ）金型の製作効率を向上する、成形用金型の加工装置及び加工方法を得る。
【解決手段】 成形溝を形成する溝形成面と前記坏土供給穴を設ける穴加工面とを表裏に有する金型素材をセットする治具台を有し、前記治具台は、加圧室を有するとともに、前記加圧室を切削水で充満し前記切削水を０．０１〜１ＭＰａで加圧する加工装置。 （もっと読む）

【課題】 加工精度や加工屑の洗い流しの低下を損なうことなく、水の使用量を抑えることができる装置を提供する。
【解決手段】 眼鏡レンズを加工用の砥石が配置された加工室と、レンズ加工部分に水を供給する研削水供給手段と、加工室の壁側に水を供給する洗浄水供給手段と、レンズ材質選択手段と、を備え、プラレンズが選択されたときには粗／仕上げ加工時に研削水を供給し、加工に熱を要する材質が選択されたとき，仕上げ段階では研削水の供給を停止し、艶だし段階では研削水を供給する眼鏡レンズ周縁加工装置で、プラレンズが選択されたときには、粗加工開始から最終加工終了まで洗浄水の供給を停止したままとするか、加工途中又は最終加工終了時に一時的に研削水を供給させ、加工に熱を要する材質が選択されたときには、少なくとも粗加工では洗浄水を供給する制御手段を備える。 （もっと読む）

【課題】基板の研磨後にチャンバ内を洗浄もしくは保湿して、スクラッチの発生を防止する。
【解決手段】研磨ヘッド１３に保持された基板１４を、回転するプラテン１１上の研磨パッド１２に押圧するとともに、研磨パッド１２にスラリを供給して基板１４を研磨する研磨部１０を備え、研磨部１０が密閉されたチャンバ１５内に収容されている研磨装置において、チャンバ１５内の壁面もしくは天井面に複数のノズル２０を配設し、ノズル２０から洗浄水を噴射して、チャンバ１５内の壁面もしくは天井面、ならびにプラテン１１を洗浄できるように形成する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの洗浄時間を短縮し、効率的で高品質な面取り加工を可能にするウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法を提供すること。
【解決手段】ウェーハＷの一端を入れることが可能な開口部２Ａが形成されているケース２により砥石の周囲を囲い、開口部２Ａの前にノズル６により液体３を平面状に噴射して砥石の設けられているケース２の内部と、ウェーハＷがウェーハテーブルに保持されているケース２の外部とを隔離しながらウェーハＷの外周面を切削する。 （もっと読む）

【課題】シュー組立体を支持する一対の開閉アーム及び前記開閉アームに取り付けられたアーム開閉装置を一体的に組付けたフイルムラップ装置において、フイルムラップ加工中にクーラントが飛散し、開閉アームと側板との間にクーラントが侵入し、支点軸が破損することがないフイルムラップ装置のクーラント侵入防止装置を提供。
【解決手段】モジュール本体21に固定された一対の側板 24,24と一対の側板 24,24の中央に固定された軸受け 3に回転可能に支持された一対の開閉アーム 6、6 と、各開閉アーム 6、6 にそれぞれ支持された一対の比較的剛性の凹面を有するシュー組立体 5、5 及び各アーム開閉用クランプシリンダ 7を有し、モジュール本体21のアーム開閉用クランプシリンダ 7側上下に１対のエアー流入口30及びエアー流入口30から連通穴31を通り一対の側板 24,24の間にエアーブロー33を噴出するエアー噴出口32を設けた。 （もっと読む）

【課題】作業空間を効率よく活用し、製作時間を短縮させ、生産性、製品精密度及び表面粗度は向上させながら加工誤差は低下させ、製品の品質を向上させ、設備コストと人件費及び維持補修コストを節減するガラスレンズの回転式自動研磨装置を提供する。
【解決手段】ガラスレンズ素材の供給及び加工品の排出、研削、精削、精磨、洗浄及び曲率測定、超精磨、研磨及び超研磨の八つの工程を単一装置で実行することができるように、上部回転ロータリー式主軸２２のアーム２１、２１’に八つのレンズホルダーＨ、Ｈ’を装着し、下部の一側にＸ−Ｙ軸トランスファー１５と回転チャッキング部１４を設置し、時計方向に研削、精削、精磨用の歯工具を設置し、洗浄及び曲率測定用計測器及び超精磨、研磨及び超研磨歯工具を順次設置することで、主軸２２のアーム２１、２１’が回転しながら自動でガラスレンズを球面に加工することができるようにする。
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【課題】研削時に、飛散する研削液に含まれる切粉によって、ガラス基板の表面に傷が生じるという事態を確実に抑制する。
【解決手段】ガラス基板３に対して相対移動しながらガラス基板３の端面を研削する回転砥石４と、ガラス基板３の研削部周辺に研削液７を供給する研削液供給手段６とを備えたガラス基板の端面研削装置であって、回転砥石４によってガラス基板３の端面を研削するに際して、飛散する研削液７に含まれる切粉のガラス基板３の表面に沿う流れを遮断するように、ウォーターカーテン９を形成する水噴出手段８を配設する。 （もっと読む）

【課題】 長年の経験を必要とする偏心量、揺動角度及び揺動位置の決定を容易にでき、研磨の再現性精度を高めることができ、高精度の平面研磨を容易に持続可能にできる研磨方法及び研磨機を提供する。
【解決手段】 回転駆動モータにより回転駆動される下研磨定盤３に対し、ワークを貼り付けた上定盤７を揺動アーム１２の一端部側に設けられたエアシリンダ１１で加圧圧力を加え、かつ研磨液を供給しつつ研磨するオスカー式の研磨機において、揺動アーム１２には、下研磨定盤３に対する上定盤７の所定の研磨位置を調整する揺動駆動モータ３４を設け、研磨位置におけるエアシリンダ１１の加圧圧力に基づく揺動駆動モータ３４の駆動電力値として予め実測した値を記録した研磨パターンデータ記憶部を有し、研磨するときにエアシリンダ１１の加圧圧力を制御することで駆動電力値を再現するよう揺動駆動モータ３４を制御する制御装置を有する。 （もっと読む）

【課題】研削加工時に無端金属ベルト表面に付着した研削ゴミを確実に除去することのできる研削加工装置および研削加工システムを提供する。
【解決手段】研削加工装置１００は、金属ベルトｂを掛け渡して回転させる駆動ローラ１および従動ローラ２と、２つのローラ１，２の間で、かつ金属ベルトｂ下方の内周面の一部と当接して該金属ベルトｂの内周面を研削する研削ローラ３と、研削ローラ３と金属ベルトｂを挟み込む位置に配設されたバックアップローラ４と、駆動ローラ１と金属ベルトｂを挟み込む位置に配設され、該金属ベルトｂの外周面を研削する研削ローラ５と、金属ベルトｂが回転して研削ローラ３とバックアップローラ４との間に入り込む上流側に配設され、金属ベルトｂ下面の外周面にクーラントを供給するクーラント供給用ノズル６１ａと、研削ローラ３および研削ローラ５のそれぞれにクーラントを供給するクーラント供用ノズル６３ａ，６２ａとを具備している。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイ基板の切断時の面取り加工において発生するガラスカレットの基板の表面への固着を防止するカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】樹脂膜が形成されたガラス基板１を切断する切断工程、次いで切断されたガラス基板１の樹脂膜が形成された側の面に水を供給して基板全面を水で被覆しながら切断面を研磨により面取り加工する面取り工程、を有するディスプレイ基板１の製造方法において、面取り工程の前にガラス基板の樹脂膜が形成された側の全面を大気圧下もしくは大気圧近傍下で生成した大気圧プラズマに曝すプラズマ処理工程を有するディスプレイ基板１の製造方法。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の研磨処理中に飛散した研磨屑やスラリーが飛散防止カバーを経て研磨パッドへ再付着することを防止し、スクラッチなどの欠陥を防止する。
【解決手段】ワークＷを保持する研磨ヘッド１と、研磨パッド２が取り付けられる回転自在な研磨定盤３と、研磨定盤３上の研磨パッド２の研磨面に研磨スラリーＳを供給するスラリー供給部４と、研磨定盤３の周囲を囲んだスラリー飛散防止カバー５とを備えた研磨装置において、研磨処理中にスラリー飛散防止カバー５の内壁を覆う流水膜６を形成する流水膜形成部７を設ける。形成した流水膜６によって、飛散したスラリーＳや研磨屑をスラリー飛散防止カバー５の内壁に到達させることなく流し去ることができるので、スラリーＳや研磨屑が飛散防止カバー５から跳ね返ること、そして研磨パッド２へ再付着することを防止できる。 （もっと読む）

【課題】目詰まりを防止し得る金属容器のヘアライン加工方法及び加工装置を提供する。
【解決手段】円筒状の容器胴部１１表面に弾性砥石２０によって多数の微細な凹凸線条１３を形成する金属容器のヘアライン加工方法において、弾性砥石２０の加工部に洗浄液を流し、弾性砥石２０による切粉を洗い流しながら加工することを特徴とする。また、洗浄液として界面活性剤の入った中性洗剤を用い、切粉と同時に成形工程での油分を含む潤滑剤も同時に洗い流すことを特徴とする。 （もっと読む）