【課題】既存の設備を利用してフープ内を清浄化し、ウエハの汚染を防止して歩留まり率を向上させることができる基板収納方法を提供する。
【解決手段】基板処理システム１０は、ウエハＷにＲＩＥ処理を施すプロセスシップ１１と、ウエハＷを収納するフープ１４ａ〜１４ｃと、プロセスシップ１１とフープ１４ａ〜１４ｃとを連結するローダーモジュール１３及びローダーモジュール１３内に設けられた搬送アーム機構１９と、ローダーモジュール１３内にダウンフローを形成して異物を底部から排出するＦＦＵ３４と、ローダーモジュール１３とフープ１４ａ〜１４ｃとの連結部に設けられた開閉扉とを有する。基板処理システム１０のフープ１４ｂにウエハＷを収納する際、搬送アーム機構１９によってウエハＷをフープ１４ｂ内に搬入し、その後、所定の遅延時間が経過するまで開閉扉を開放状態のまま保持する。 （もっと読む）

【課題】ポリオレフィン系発泡体を用いたことによる好ましい特徴を有していることはもとより、ガラス基板のボックス本体からの突出部分が保護される上、ガラス基板を縦挿したボックス本体に蓋体をかぶせるときに溝外れを生ずることがなく、しかも、ボックスからのガラス基板の取り出し操作をアンパッカーを用いて自動的に行うことができるガラス基板搬送用ボックスを提供することを目的とする。
【解決手段】相対向する内壁に溝（ｇ）が形成された構造を有するポリオレフィン系製のボックス本体（１）と、ガラス基板（Ｇ）のボックス本体（１）からの突出部分を保護する溝（ｇ）付きのサポート部材（３）と、ポリオレフィン系発泡体製の蓋体（２）と、これらのサポート部材（３）および蓋体（２）に相対応するように設けた雌雄の面ファスナ（４），（４）とからなるガラス基板搬送用ボックスである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、コンパクトな構造とし、専用トレーラーを使用しなくても大型の板状体を収納し、輸送することができる板状体の積載装置及び運搬車両を提供する。
【解決手段】本発明の積載装置３０は、基台３２に軸支された積載台３４が、収納パレット１０を積載した状態で、水平状態と所定の傾斜状態との間で自在に傾動するので、積載台３４が水平状態のとき、フォークリフト８０を用いて収納パレット１０を積載台３４の積載位置に積載することができ、また、積載位置からの収納パレット１０の搬出を、フォークリフト８０を用いて行うことができる。また、トラック４０に積載装置３０を搭載して収納パレット１０を輸送する際には、積載台３４を所定の傾斜姿勢にして輸送する。これにより、大型マザーガラス基板が収納された収納パレット１０であっても、専用トレーラーを使用せずに輸送することができる。 （もっと読む）

【課題】検査部品の梱包構造を運搬する場合に、回転子が電極に接触しにくくすることで、回転子による電極の損傷を抑える。
【解決手段】検査部品の梱包構造は、細菌測定部材２１と、受けパット１４と、マグネットシート１３とを備えている。細菌測定部材２１は、測定セル１と、測定セル１内に露出した電極２と、測定セル１内で自由に移動可能な回転子３とを有する。受けパット１４は細菌測定部材２１を収納する。マグネットシート１３は、細菌測定部材２１が受けパット１４に収納された状態で回転子３を電極２に接触しない所定の位置に磁気吸着する。 （もっと読む）

【課題】 面方向、幅方向ともに均一で、薄手のシート状に形状付与が容易で、しかも吸着容量の大きなケミカルフィルタ及びその梱包体並びに前記ケミカルフィルタを設置したレチクル保管ボックスを提供すること。
【解決手段】 通気性シートで粒状吸着剤を挟持した板状ろ材を通気性袋体に収容してケミカルフィルタに構成する。このケミカルフィルタを密封化シートで脱気密封化して、ケミカルフィルタ梱包体とする。また、前記ケミカルフィルタをレチクル保管ボックスのレチクルの少なくとも下方中央部に設置するようにする。 （もっと読む）

【課題】部分的に高延伸度にて延伸しても、各部分での表面抵抗値のバラツキが小さい電子部品用容器を得ることができる多層樹脂シートと、この多層樹脂シートを熱成形してなる電子部品用容器とを提供する。
【解決手段】導電性フィラーを含む熱可塑性樹脂よりなる導電層（Ａ）と、導電性フィラーを含む熱可塑性よりなり、該導電層（Ａ）を覆っている厚さ１〜２０μｍの表面層（Ｂ）との少なくとも２層を有し、体積抵抗率が１０^０〜１０^７Ω・ｃｍであり、表面層(Ｂ)側の表面抵抗値が１０^３〜１０^１０Ωである多層樹脂シート。この多層樹脂シートを熱成形した電子部品用容器。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性が高く、外観にも優れる帯電防止性シートを提供する。
【解決手段】ポリプロピレン系樹脂（Ａ１）、ポリエチレン系樹脂（Ａ２）及び充填剤（Ａ３）で構成された基材層（Ａ）の少なくとも一方の面に、ポリエチレン系樹脂（Ｂ１）、ポリプロピレン系樹脂（Ｂ２）及び高分子型帯電防止剤（Ｂ３）で構成された帯電防止層（Ｂ）を積層して、帯電防止性シートを得る。前記帯電防止層（Ｂ）において、ポリエチレン系樹脂（Ｂ１）とポリプロピレン系樹脂（Ｂ２）との割合（重量比）は、ポリエチレン系樹脂（Ｂ１）／ポリプロピレン系樹脂（Ｂ２）＝５５／４５〜７０／３０程度である。この帯電防止性シートは、電子部品などの包装用成形品として適している。 （もっと読む）

ポリマーで形成される基板収納容器内で著しく乾燥した環境を維持するための、コンポーネント、システム、および方法は、基板収納容器の補助的な外部ガスパージを提供して、容器のポリマー壁を通した水分および酸素の浸透を最小にし、かつ、容器のポリマー壁に封じ込められた水の脱着を抑制する。
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【課題】有機機能層を備えてなる基板をより安価な装置で保管できる方法、運搬方法および保管装置を提供する。
【解決手段】有機機能層を備えてなる基板を不活性液体中に保管することを特徴とし、好ましくは前記不活性液体が、（イ）化学的に不活性であり、有機機能層を構成する化合物と化学反応を起こさず、（ロ）常温にて液体であり、かつ（ハ）常温において５０００Ｐa以上の蒸気圧を持つ基板の保管方法。該保管方法を適用する運搬方法。有機機能層を備えてなる基板を収納可能でありかつ密閉可能なチャンバー１０１と、チャンバー１０１に収納された不活性液体１０２と、チャンバー１０１に不活性液体１０２を出し入れするための手段１０３，１０４とを具備する基板保管装置。 （もっと読む）

【課題】開封からコンタクトレンズを眼に装着するまでの一連の動作をスムーズに行うことができるコンタクトレンズ用ブリスターケースを提供する。
【解決手段】ブリスターケース１０はコンタクトレンズＣＬ及び保存液Ｓを収納するとともに指掛け可能なレンズ収納部１４を有する容器本体１１を備える。ブリスターケース１０は容器本体１１に対して剥離可能に接着されて、レンズ収納部１４の開口部１４ａを密閉して覆うシート２０と、容器本体１１に対してスライド自在に配置されるとともにスライド時にシート２０に作用して同シート２０を容器本体１１から剥離させてレンズ収納部１４を開口する蓋板３０を備える。蓋板３０がレンズ収納部１４に指掛けした片手の押圧操作によりスライド可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】開封後の再利用をより有効に防止し得る、新規な構造のコンタクトレンズ用の流通保存容器を提供すること。
【解決手段】保存液２０を貯留してコンタクトレンズ１８を浸漬状態で保存する収容部を備えると共に、該収容部に収容された該コンタクトレンズ１８を取り出すことの出来る取出口３０ａが、平面への載置状態で該収容部の底壁と周壁の少なくとも一方を構成する部分を含む位置において開操作可能で且つ再封止不能に形成されて使い捨て使用されるようにした。 （もっと読む）

【課題】個体差が大きく、持ち運びやすく、左右が明確で、広告媒体や景品としても利用価値が高く、ピルケースとしても使えるコンタクトレンズケースを提供する。
【解決手段】コンタクトレンズケースの輪郭や形状を、物やキャラクター、上下が明確な画などの形状でもって、平面的、立体的にかたどる。また、本体基部をヒサシ状に拡大し、拡大部分に収納部の面積より広い印刷面を確保する。クリップを取り付けるための穴、クボミ、あるいは突起を作り、吊り具を取り付けられるクリップで直接挟みこむ。洗浄作業時はケースからクリップを外す。底面から溝の角をなくし、水が流動可能なゆるやかな凸凹をつける。コンタクトレンズケースとして使用していない時はピルケースとして使用する。これらの手段を組み合わせることによって、より個体差が増すと共に、利用価値の高いコンタクトレンズケースを提供できる。 （もっと読む）

本発明はボトル等の容器５０に関する。本発明によれば、容器が複数の中空の隔室１を有し、各隔室が、ボトルを受容するように構成されると共に、収束する２つの外側の側面１２と側面が共に側端を形成する１つの底面とを有し、隣接する２つの隔室が、側端（１１）間にヒンジで動くように相互接続され、容器は、当容器が多角形の底面の筒形要素の形状となるように、隔室の１つの側面が他の側面を支持する折り畳んだ状態と、隔室の底面が平らに延び、隔室が、１つの隔室の横に他の隔室が延び、各隔室が、１つのボトルを受容するのに適した状態のままである展開した状態と、を有する。
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【課題】 本発明は、保管、輸送中の外力に耐える十分な剛性を有し、なおかつ蓋体を開ける際の急激な外気の巻き込みを抑制して、ペリクルへの異物付着を防止するペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】 樹脂のシート材を成形してペリクル収納容器の蓋体１とし、この蓋体１の上面に蓋体の短辺と成す角度が１０°以内で、なおかつ他のリブと交差しないリブ３を設ける。各リブが他のリブにより切断されることが無いため、リブ３の上下方向（縦方向）の剛性は大きく向上し、外力による蓋体の変形ならびにペリクルの損傷が防止される。
また、リブをほぼ一方向のものだけで構成することになるため、リブと直交する方向の曲げ剛性は低くなり、これにより、蓋体は開蓋時においてごく初期の段階からしなやかに撓みを生ずる。そのため、開蓋時の初期の段階から蓋体と容器本体の内部へ空気はスムーズに流入し、急激な外気の流入が発生しないため内部のペリクルに異物が付着するおそれが大幅に低減される。 （もっと読む）

【課題】使用者の必要に応じて任意の数を携帯出来るように容器同士を嵌め込んで積層して用いることができ、かつ、安定した密閉性と開封性を有し、その上、大量使用の際において廃棄に手間がかからないコンタクトレンズ用出荷容器を提供する。
【解決手段】コンタクトレンズを収納するための窪み部９を有する容器本体部１０と、窪み部９を開放可能に密封できる蓋部８とからなり、本体部１０あるいは蓋部８のいずれか一方に支持部３，４を設け、かつ本体部１０と蓋部８の材質が合成樹脂であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】成形品の塩素やオリゴマー成分が極めて少なくシリコンウエハーやハードディスク等の半導体関連部品搬送の際にも性能低下を起こさないクリーン性に優れた射出成形された半導体関連部品搬送ケースの提供。
【解決手段】ハロゲン、好ましくは塩素含量が１０重量ｐｐｍ以下、炭素数１〜３０のオリゴマー成分含有量が１０重量ｐｐｍ以下である、好ましくはメタロセン触媒で重合されたポリプロピレン系重合体を成形してなることを特徴とする半導体関連部品搬送ケース。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ペリクルの運搬中に輸送容器に生じる様々な振動、衝撃からペリクルおよびペリクルケースを防護し、それらの構成部品からの発塵を防止することにより、ペリクルを清浄な状態に保持したまま安全に運搬できるペリクル梱包用緩衝体およびこれを用いたペリクルの梱包方法を提供する。
【解決手段】 本発明のペリクル梱包用緩衝体１は、ペリクルの輸送容器内６で、ペリクルケース３の下面に配置する前記緩衝体１のペリクルケース３と接触する表面に凹凸２を設ける。この緩衝体１を用いたペリクルの梱包方法により、従来使用の平板状の緩衝体と比較して緩衝効果を大幅に高めることができるため、運搬時の振動、衝撃が減少し、ペリクルに異物が付着して汚染することがなく、清浄な状態を保って輸送することができる。 （もっと読む）

【課題】片手で操作できように押しボタンを押しても、蓋体が勢いよく開口して反動で落下したり、化粧料が飛散したりせず、可変速度でスムーズに開口するヒンジ機構を備えた化粧料容器を提供する。
【解決手段】ヒンジ部３０は、容器本体側ヒンジ部５０の保持孔５３にねじりバネ６０を収納し、係止突起６０ａを係止穴５３ａに係止し、断面が略楕円形状を形成している挿通孔５２に支軸７０のスリップ部材７３側を挿入するとともに蓋体側ヒンジ部４０の挿通孔４２に頭部７２側を挿入し、係止突起６０ｂと係止穴７２ａとをねじりバネ６０に付勢力を持たせた状態で係止させた構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電柱等の高所に設置される照明器具の直管ランプを交換する作業の際に、直管ランプが破損するのを好適に防止して、交換作業の効率を高めることのできる直管ランプ収容具を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る直管ランプ収容具１は、電柱等の高所に設置される照明器具に取り付けられる直管ランプＬの交換作業の際に用いられる直管ランプ収容具１であって、少なくとも二つの直管ランプＬ，Ｌ…を別個に収容すべく一つの直管ランプＬに対応した収容空間Ｓが少なくとも二つ確保され、一端側から前記直管ランプＬが出し入れされるケース本体２と、該ケース本体２を作業者に保持させるための保持部材３とを備える。 （もっと読む）

【課題】締め付けトルクの管理の必要性が無く、組立作業の簡素化を図った逆止弁及び逆止弁を備えた基板収納容器を提供すること。
【解決手段】逆止弁８は、後端側に装着されハウジング１１に対して相対回転可能とされると共に、ハウジング１１を後方から容器本体２に固定する固定リング１９を備えている。この固定リング１９を後方から押し込むことで、ハウジング１１を容易に固定することができる。このような固定リング１９を備えることで、従前のようなねじによる結合部分を無くす。これにより、締め付けトルクの管理を不要とし、組立作業の簡素化を図ることができる。 （もっと読む）