【課題】 従来技術である静電対策をした収納ケースは、黒色で覆われているため、蓋を開かなければ内部に部品を確認することができない。さらに、微細部品の取り出しは、金属製ピンセットは発塵の問題があるために、セラミック製ピンセットを使用しているが、セラミック製ピンセットは滑り易く、微細部品を確実に捕えることが困難であり、微細部品の散乱や飛散の問題がある。一方、部品散乱防止対策として、樹脂シート等をパーツボックス内に敷いて使用している場合もあるが、収納ケースや合成樹脂シートなどは絶縁体であり、クリーンルーム内や微細部品の組み立てには適さない。
【解決手段】 合成樹脂製ケース２の内底部に部品保持用の導電性粘着ゴム６を設けると共に除電アースを設けた微細部品収納容器３。 （もっと読む）

半導体ウェファ収納装置又はウェファボックスは、平面の床と、そこから立ち上がる二重の同心円の円筒形壁構造とを備えた下部構造含む。二重の同心円の円筒形壁構造は、スロットを含んでいて、スロットを介して掛け金要素は、半径方向に軸回転する。掛け金要素は、内部パッド付きスペーサ要素を含む。掛け金要素は、パッド付きスペーサ要素がウェファ収納スペースから相対的に離れる外側の位置と、パッド付きスペーサ要素がウェファ収納スペースに突き当たる内側の垂直な位置との間で軸回転し、そこで半導体ウェファを押し付ける。蓋の傾斜部は、外側の位置にある掛け金要素を捕捉し、内側の垂直な位置へ軸回転するよう掛け金要素を押込めて、蓋に形成されたスロットによってこの位置で移動止めの係合をする。
（もっと読む）

【課題】フォトマスクの搬送、保管に使用されるフォトマスクケース起因によるフォトマスクの曇りを確実に防止するフォトマスクケースを提供する。
【解決手段】工程内のフォトマスクの搬送、保管用ケース及びフォトマスクのシッピング用ケースなどフォトマスクを搬送、保管するためのフォトマスケースであって、フォトマスクケースの内壁部にガスバリア層を設けており、前記ガスバリア層が酸化ケイ素膜もしくは酸化ケイ素膜と導電薄膜とからなるフォトマスクケース。 （もっと読む）

【課題】 板ガラスや液晶表示装置等に用いるカラーフィルター基板を傷、破損から守り、保管、輸送にガラス基板輸送用輸送体を提供する。
【解決手段】複数基板を積み重ねて構成した積重体を収納するための収納容器であって、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、該支持台に載置された積重体の上面に向かい合うように、前記支持台に連結して設けられる荷重支持板と、前記荷重支持板と前記積重体との間に配置され、前記荷重支持板に支えられて前記積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるエアバッグと、前記エアバッグ内の圧力を調節する調圧手段を有することを特徴とする基板収納容器。 （もっと読む）

【課題】 ガラス支持部材の凸部の長さを増大することなく、様々なサイズを有するガラス基板を収容できるガラス基板運搬用箱を提供する。
【解決手段】 複数の第１の溝を有してガラス基板を支持する支持部材と、内壁面に前記支持部材を配置するための複数の第２の溝を有する本体とを備えるガラス基板運搬用箱において、複数の第２の溝を本体内壁面の１つの部位に配置する溝間ピッチ寸法と、隣接する本体内壁面の他の部位に配置する溝間ピッチ寸法とが異なるように形成する。 （もっと読む）

【課題】液晶基板のような基板あるいは基板材料を安全に搬送するための搬送用容器の底上げ装置を提供する。
【解決手段】発泡樹脂製の容器本体部内に収納されて、容器本体部内の収納深さを調製すると共に、容器本体内の対峙する壁面に僅かな空隙を形成して配置される面壁面基板支持用樹脂シートと共同して、容器本体部に収納される基板を保持する保持溝３６が表面に形成されている発泡樹脂製の板状体であり、さらに、好適には、発泡樹脂製の板状体３０と、発泡樹脂製の板状体の表面の形状と略同一の形状に賦形された底部基板支持用樹脂シート２８とからなり、板状体の表面に僅かな空隙して底部基板支持用樹脂シートが配置されてなる。
【効果】液晶基材などを安定した状態で搬送することができ、また、この底上げ部材は、容器の側面に配置される面壁面基板支持用樹脂シートの倒れ込防止部材としても機能する。 （もっと読む）

【課題】損傷しやすい被搭載物品を適切に輸送等することのできる製造の容易な固定キャリアの製造方法を提供する。
【解決手段】剛性を有する平面円形の基材１と、基材１の表面３に積層被覆されて半導体ウェーハを着脱自在に粘着保持する変形可能な保持層とを備え、基材１に、複数の突起を所定の間隔で突出形成して保持層の裏面に接触させるとともに、複数の突起と保持層との間の区画空間に連通する給排孔を穿孔した固定キャリアの製造方法であって、基材１の周縁部２を除く表面３に、ネガ型のフォトレジスト層を積層状態に接着してその表面にはパターンマスク６１を重ねる。そして、パターンマスク６１に光線を照射して突起形成の予定部分を露光し、基材１のフォトレジスト層を現像して突起を形成しない不要領域を除去し、基材１に複数の突起を一体形成する。 （もっと読む）

【課題】 緩衝機能を備えた配列手段を用いて光学部品を保持しつつ梱包することによって、振動衝撃による光学部品の損傷や、光学部品が容器内壁を削ることによるゴミ発生という不具合を解決することができる光学部品梱包容器を提供する。
【解決手段】 複数の光学部品Ｄを所定のピッチにて平行に直列配列する配列手段１１と、配列手段を保持したケース２と、を備えた光学部品の梱包容器において、配列手段として、所定の幅方向間隔を隔てて平行に配置した２つのコイルスプリング１２を用い、各コイルスプリングのピッチ間に形成される空隙内に光学部品の両端縁を差込んで弾性的に保持するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 異物の発生を抑制するとともに、コストを抑制しながらケースの保守メンテナンスと再利用が行えるより信頼性の高い梱包ケースを提供する。
【解決手段】 上面が開口し側壁と底面を有する収容部が形成されてなる下ケース１と、当該下ケース１の開口部と下ケース１に収納された光学デバイス４を被覆する上ケース３とからなる光学デバイス用梱包ケースであって、上記下ケース１の収容部に着脱自在の状態で係止され、上記光学デバイス４を搭載する台座２を有し、上記台座２の上面に、上記光学デバイス４の一側面を固着してなる接着部材Ｔを形成した。 （もっと読む）

【課題】 緩衝機能を備えた配列手段を用いて光学部品を保持しつつ梱包することによって、振動衝撃による光学部品の損傷や、光学部品が容器内壁を削ることによるゴミ発生という不具合を解決することができる光学部品梱包容器を提供する。
【解決手段】 複数の光学部品Ｄを所定のピッチにて平行に直列配列する配列手段１５と、配列手段を保持したケース２と、を備えた光学部品の梱包容器において、配列手段として、所定の幅方向間隔を隔てて平行に配置した２つのジャバラシート１２を用い、各ジャバラシートのピッチ間に形成される開放部内に光学部品の両端縁を差込んで弾性的に保持するように構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、搬送時にペリクルが動かず、容器を保管時にペリクルを変形させることなくしかもペリクルの出し入れに際し操作が簡単である容器を提供することにある。
【解決手段】ペリクルを容器の底面に対して平行に保持することができる平面を有し、該面は固定用の突起を有するものである箱と箱を覆う蓋からなり、箱と蓋はお互いに密着できるような部位を有するものであるペリクル用保管用容器である。 （もっと読む）

厚さ８０〜１３０μｍの合成樹脂製シートの表裏面にそれぞれ、凸部および凹部が数多く賦形されたウエハ保護シート１であって、前記多数の凸部と前記多数の凹部はそれぞれ、その各部が格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置され、また表面の凸部には裏面の凹部が、表面の凹部には裏面の凸部がそれぞれ対応するような波状断面を有し、そしてシートの剛軟度が３０〜８０ｍｍであることを特徴とするウエハ保護シート１。本発明のウエハ保護シート１は十分に薄く、また積み重ねた各ウエハ間に介在させてウエハを保護する際、ウエハと密着せず、容器に収納したウエハを輸送に伴う振動から保護することができる。
（もっと読む）

１対の外殻３を底部１と蓋部２とに使い分けて半導体ウエハ１７を収納する容器Ｂである。外殻３は、板面に内側立上り部４と、外側立上り部５とを有している。内側立上り部４は、内部にウエハの収納空間を形成する部分であり、外側立上り部５は、容器Ｂの外壁として外殻３に開口を形成し、内側立上り部４内のウエハを容器の外壁から隔離する。容器Ｂの外面側となる外殻３の板面には、線対称位置にボス８とボス穴９の対を有している。対の外殻３の開口を互いに向き合わせた状態で一方の外殻のボス８を他方の外殻のボス穴９に差し込み、両外殻３，３の組合せの位置決めを行なう。
（もっと読む）

【課題】簡単な構造で基板収納容器へのフィルタ部材の取り付け取り外しを容易にし、フィルタ保持部材を破損することのない基板収納容器を提供する。
【解決手段】蓋体３２に基板収納容器の内部と外部とを連通する貫通穴８が少なくとも1箇所設けられ、貫通穴８には、中空状の内部にフィルタ５を収納し両端には前記中空に連通する流通口を有するフィルタ保持部材１の一端部２が対向又は挿入され、蓋体３２には貫通穴８に対向又は挿入されるように位置するフィルタ保持部材１を他端側から保持する係止部１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 保管後の化合物半導体基板を用いて製造された半導体デバイスの電気特性の悪化を抑制することができる容器、包装体、これらの製造方法、およびこれらの容器、包装体によって収納された化合物半導体基板を提供する。
【解決手段】 化合物半導体基板を収納するために用いられる容器であって、容器中の錫の含有量が１ｐｐｍ以下である容器である。また、化合物半導体基板を収納するために用いられる容器であって、容器中のシリコンの含有量が１ｐｐｍ以下である容器である。また、化合物半導体基板を収納するために用いられる包装体であって、包装体中の錫の含有量が１ｐｐｍ以下である包装体である。また、上記の容器および包装体の製造方法、ならびに上記の容器、包装体によって収納された化合物半導体基板である。 （もっと読む）

基板容器は、囲み部と、該囲み部に形成されて囲み部を介する基板容器内部への流体アクセスを提供するアクセス構造とを有する。前記アクセス構造は開口部と内部表面とを有する。グロメットはアクセス構造の内部表面と接触するように設置されている。
（もっと読む）