【課題】流体が第１の方向のみならず第２の方向に流されるときにおいても、上方向荷重（開弁方向に働く力）が発生するようにし得、もって、より小さなばね荷重の開弁ばねを使用できるようにして、小型化、大容量化、省電力化等を図ることのできる電動弁を提供する。
【解決手段】背圧室３０の室径と弁口９の口径とが略同一に設定されるとともに、弁体２０内に弁口９ないし第２入出口１２と背圧室３０とを連通させるべく直線状の均圧通路３２（３２ｃ）が設けられるとともに、該均圧通路３２を下方に延長するように細径の均圧導管２２が下向きに突設され、該均圧導管２２（直管部２２ａ）の下端開口が閉じられて側面開口３２ａ、３２ａが設けられている。 （もっと読む）

【課題】開閉操作について、よりスムースな操作性を実現できる不凍水栓を提供すること。
【解決手段】通水管の管路に接続される弁機構部本体１０と、その弁機構部本体１０に一体的に設けられ、下側給水路１１と上側給水路１２とを連通する通水孔２２を備える弁座部２１と、その弁座部２１のシール部に下方から当接することで通水孔２２を閉塞して止水することができる弁体部２５と、その弁体部２５が下端部に設けられ、ロッド状に形成されて上端部に操作部５０が連係され、下降した際に弁体部２５による通水孔２２の閉塞を解除することで通水状態とするロッド部３０と、そのロッド部３０及び弁体部２５と、弁機構部本体１０に一体的に設けられたスプリング受部３５ａとの間に配され、ロッド部３０及び弁体部２５を上方へ付勢するスプリング３３とを備え、弁体部２５が主弁体２６とコマ弁体２７とを備え、通水溝３２及びスプリングガイド３５を備える。 （もっと読む）

【課題】低温環境下においても、内部の流路が凍結により閉塞されることが抑制できる排気排水弁を提供する。
【解決手段】流入流路には、弁口側に向かって徐々に内径が小さくなる内径徐変部８５ｖが形成され、内径徐変部８５ｖとオリフィス孔８５ｆとの間には、オリフィス孔８５ｆの形成方向と直交する方向に延在し周方向に連続する環状の面である段差面８５ｐが形成されている。これにより、流入流路が水平となるように排気排水弁を配設すると、内径徐変部８５ｖの天井部８５ｗに残留した水滴９９９は、その自重により内径徐変部８５ｖの天井部８５ｗを伝って段差面８５ｐに流れ、段差面８５ｐを伝って下方に流れ落ち、水滴９９９の、オリフィス孔８５ｆ内への侵入が抑制され、低温環境下において、オリフィス孔８５ｆ内の水分の凍結に起因する閉塞が抑制される。 （もっと読む）

【課題】ウエハが出し入れされる方向に対して斜めに開閉駆動されるゲート弁において、プラズマが回り込みやすい側のシール部材の劣化を抑制する。
【解決手段】ゲート弁は、プラズマ処理装置のチャンバに対してウエハが出し入れされるゲートに設けられ、ウエハの出し入れの方向に対して斜めに交差する斜め方向に開閉駆動される。ゲート弁は、本体部１と、本体部１に設けられ、ゲート弁が閉じたときに、ゲート１０の周縁部に当接するシール部２と、本体部１におけるシール部２が設けられる面から突出し、シール部２の前方において、プラズマが回り込みやすい側に隙間の狭隘部３０を形成する突出部３とを備える。 （もっと読む）

【課題】弁の締め切りを行わせるとともに、弁のかじりをなくし、小さな力で弁軸を引き離せるようにする。
【解決手段】通路２の上部の開口部２ｂにリング状のピエゾ素子（リング）４Ａを組み込む。弁軸１を最後まで締め込んだ後、リング４Ａへの電圧の印加状態をオン状態とし、リング４Ａを縮小動作させる。これにより、リング４Ａの内径が縮小し、リング４Ａの内周面４ａが弁軸１の先端部１ａの全周に密着し、弁の締め切りが行われる。この状態から通路２を開く時は、リング４Ａへの電圧の印加状態をオフ状態とし、リング４Ａを伸長動作させる。これにより、リング４Ａの内径が拡大し、リング４Ａの内周面４ａが弁軸１の先端部１ａの全周から離れ、弁のかじりがなくなる。 （もっと読む）

【課題】流路を気密的に遮断する弁があるが、摩耗による外部漏れ、複数の作動部材のため、メンテナンスが困難であった。耐摩耗性に優れ、メンテナンスが容易な弁を提供する。
【解決手段】弁体８は、外側弁体部９および内側弁体部１１を有す。内側弁体部は、外側弁体部に対して相対的に直線的に移動可能であり、閉鎖設定において弁体への圧力差により、内側弁体部は、弁筺体に押し付けられ、外側弁体に対する差圧力は無くなる。弁座５は、放射状に内側を向いた第１内面１４を有し、外側弁体部は、放射状に外側を向いた第１外面１５を有する。第１外面は、閉鎖設定において、放射状に封止する接触が第１内面との間に存在する配置となる。外側弁体部は、放射状に内側を向いた第２内面１６を有し、内側弁体部は、放射状に外側を向いた第２外面１７を有する。第２外面は、放射状に封止する接触が第２内面との間に存在する配置となる。 （もっと読む）

【課題】 簡便な構成で、外気との接触なくガス供給流路のパージ可能に、かつ充填ガスのロスの少なく効率的に充填ガスを供給すること。
【解決手段】 ガスが充填される容器Ｂと、容器Ｂに取付けられた容器バルブＢａと、容器バルブＢａに接続されるガス供給流路Ｌｓ，ベントＬｖ，およびパージガス流路Ｌｐと、ガス供給流路Ｌｓに設けられた開閉弁Ｖａおよび圧力調整器Ｒｓと、ベントＬｖに設けられた開閉弁Ｖｂと、パージガス流路Ｌｐに設けられた逆止機構付のパージ弁１０と、を備え、パージ弁１０が、固定用ナット４と、パッキン５と、弁体６と、を有し、固定用ナット４の操作によって、パージ弁１０を介してパージガス流路Ｌｐへのパージガスの流通・封止の切換を行なうできることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧縮コイルばねに偏心等が生じている場合及び弁口に軸ずれ等が生じている場合でも、弁開閉時における圧縮コイルばね周りの摺動摩擦抵抗を可及的に低減することのできる電動弁を提供する。
【解決手段】圧縮コイルばね２４の下側巻端がばね受け部材２６により係止され、このばね受け部材２６と弁体２５との間にボール４０がその上下２カ所で（ばね受け部材２６と弁体２５に）点接触するように配在されるとともに、ばね受け部材２６の下面ほぼ中央にその最深部が位置するように，実質的に球面、楕球面、円錐面等の曲面で構成された調芯用凹部２６ｃが設けられる。この調芯用凹部２６ａ及びボール４０の作用により、上記摺動摩擦抵抗を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】弁体の振れや位置ズレを抑えるとともに弁体を含む可動部を軽くして、摩耗の発生を抑えて長期に亘って低弁漏れを実現する。
【解決手段】シャフト４の一端がハウジング３に固定され、弁体５に設けられたバルブパイプ５ａがシャフト４に対して摺動自在に支持される。このため、ＥＧＲ流路２に対して弁体５の偏心量を小さく抑えることができ、弁体５の振れや位置ズレを極めて小さく抑えることができる。そして、弁体５を含む可動部がシャフト４と別体であり、弁体５を含む可動部の重量が軽く設けられる。このため、弁体５を含む可動部に振動が生じても、振動による摩耗を抑えることができ、長期に亘って低弁漏れを実現できる。また、バルブパイプ５ａがシャフト４に摺動自在に支持されるものであるため、従来技術で用いていたボールベアリングやメタルベアリングを廃止でき、コストを抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】高い耐腐食性を呈し得ると共に、シリコンを製造する際の反応副生成物や反応用の原料を固体のシリコンとは相状態の全く異なる気体状態に維持しながら機械的に分離することができる簡便な構成の高温用バルブ装置を提供する。
【解決手段】シリコンを生成する反応器１０の下方に配置自在な高温用バルブ装置４０、１４０であって、反応器の内部空間に連通して、反応器において生成されたシリコンを導入自在な第１の管状部材と、第１の管状部材内に配置されたバルブと、反応器からバルブに至る第１の管状部材の一部及びバルブを含む加熱領域を、反応器におけるシリコンの生成に関連する関連物質の沸点以上に加熱自在な加熱器１００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤフラムが破損した場合であってもシール性が維持されることで、安全性を向上させたダイヤフラム弁を提供する。
【解決手段】 弁箱2と弁蓋8との間に設けられて両者間からの流体の漏れを防止するシール手段20を備えている。シール手段20は、弁蓋8の下端部近くに嵌め合わされて弁箱2の弁蓋下端部収容部14に嵌め入れられた環状のシール部材31と、シール部材31に当接してこれを下方に押す環状のシール押さえ32と、弁蓋8のフランジ部24に設けられた貫通めねじ部26にねじ合わされてシール押さえ32を下方に押圧する複数本のボルト33とからなる。 （もっと読む）

【課題】開閉動作が迅速で、かつ、正確に行うことができるバルブ及びそれを用いた塗工装置を提供する。
【解決手段】バルブ１０の第１の出口１６からダイ１０４に塗工液を供給し、バルブ１０の第２の出口１８から塗工液のタンク１１０に塗工液を循環させ、バルブ１０の第１の出口１６の第１の弁体２６を第１のボイスコイルモータ３０によって開閉し、第２の出口１８の第２の弁体２８第２のボイスコイルモータ３２によって開閉することにより、走行するウエブＷに間欠塗工を行う。 （もっと読む）

【課題】 弁軸部の上下動により発生する応力に抗して耐久性に富み、弁体の大きなストロークを実現できるダイヤフラム隔膜を提供する。
【解決手段】
液体製品が流通する管路内に設けられた弁座部を閉止又は開放する弁体部に接合された弁軸部の下端部において、弁軸部側と管路内部側とを隔離可能に被覆する隔膜本体部と、上記隔膜本体部の上端部に形成され、上記弁軸部が内装される弁軸支持部に固定される固定部と、上記隔膜本体部の中央部に形成され、上記弁軸が挿通され、上記弁体部が上記弁座部を閉止した際には上記固定部よりも下方に配置される弁軸貫通孔部とを備えたダイヤフラム隔膜であって、上記隔膜本体部において、弁軸貫通孔の周囲には、下方へ膨出する第一の膨出部が形成されると共に、上記第一の膨出部の上方には上方へ膨出する第二の膨出部が形成された。 （もっと読む）

【課題】ニードル弁をロックナットによってロックするように構成した流量調節弁において、流量調節時にロックを解除してニードル弁を回動操作しても、ロックナットが共回りすることなく、ロック解除位置に保持させておくことができる流量調節弁を提供する。
【解決手段】ニードル弁２を上下方向に進退自在に螺合させている弁本体１の上端側に弁本体１から突出した弁棒部分を囲むようにして円環部材５を突設している一方、ニードル弁２の弁棒2aに螺合しているロックナット８に内外周壁部9a、9bを有する突部９を形成してその外側周壁部9aの内周面下端部に装着したＯリング10をこれらの内外周壁部9a、9b間に挿入している上記円環部材５の外周面に摺動可能に密接させ、Ｏリング10による摺接す摩擦力によってロックナット８がニードル弁２と供回りするのを防止している。 （もっと読む）

【課題】吐出流による逆流防止弁を構成する弁体のふらつきによるポンプ運転点のふらつきがなく、吐出流量が安定するポンプ用逆流防止弁、該ポンプ用逆流防止弁を用いたポンプ装置を提供すること。
【解決手段】ポンプ吐出管の末端に取り付けられるポンプ用逆流防止弁であって、弁体６は上下方向に２以上分割されており、各弁体は弁胴１８にヒンジ機構１７を介して揺動自在に取り付けられており、各弁体６、６の外面には縦方向のリブ１５と横方向のリブ１６が設けられ、下方に位置する弁体６の横方向のリブ１６の略頂部と当該弁体６の外面の間に該外面に対して所定角度α傾斜して配置され、該弁体外面に沿って流れる液流を横方向のリブ１６の頂部を越えて該弁体６の先端部に導く誘導板２０を設けた。 （もっと読む）

【課題】本体弁に設ける弁及び配管を低減して設置作業を容易にする。
【解決手段】流水検知装置は配管の途中に設けられ、２次側圧力の低下により本弁を開放して加圧水を給水し、流水検知部により流水検知信号を出力する。流水検知装置の２次側に複合弁６０を設ける。複合弁６０は、手動操作により開閉する排水弁機構と排水弁機構の閉鎖状態で所定のリリーフ設定圧を越える２次側圧力を受けた場合に開放して排水するリリーフ弁機構を備える。複合弁６０は例えば排水弁機構の排水弁体６８にリリーフ弁機構を組み込み、排水弁機構の閉鎖状態で２次側圧力がリリーフ設定圧を超えた時に開放動作してピーク圧の発生を抑える。 （もっと読む）

【課題】流体に混入した気泡を弁閉中に出力ポートから排出して、流体供給量を安定させることができる流体制御弁及び弁部流路構造を提供すること。
【解決手段】弁体２９を弁座２５に当接又は離間させることにより流体制御を行う流体制御弁１を、入力ポート２２が地側、出力ポート２８が天側となるように設置し、出力ポート２８と弁室３０が、天地方向に設けられた出力側流路２７を介して連通しており、弁室３０の天側の内壁２１ａが、出力側流路２７へ向かって天方向に傾斜するようにする。 （もっと読む）

【課題】低温冷媒によりOリングが収縮しても、弁棒と弁棒受入部の隙間から冷媒が洩れることの無い三方弁を提供する。
【解決手段】Oリング２１が装着されると共にネジ部１５ａを有する弁棒１５と、ネジ部１５ａが螺着される雌ネジ部１６ａを有する弁棒受入部１６と、室内配管側ポート１２と、室外配管側ポート１３と、バルブコア１９を装着したサービスポート１４と、ロウ付配管部１３ａとを有し、ネジ部１５ａ及び雌ネジ部１６ａに特殊グリス２３を塗布したもので、ロウ付配管部１３ａに配管ロウ付けフラックス除去のための酸処理による三方弁１０の本体１１の筒部の面粗さが悪くなっても、ネジ部１５ａと雌ネジ部１６ａに低温流動性のよい特殊グリス２３を塗布することで、弁棒１５と弁棒受入部１６の隙間から冷媒が洩れないので、低温冷媒でOリング２１が収縮しても、冷媒が外部に洩れることが無い。 （もっと読む）

【課題】ヒータの発熱によりバルブ内への生成物の付着を防ぎ、バルブのボデーを分解することなく弁体部分等のメンテナンスを実施できるバタフライ式圧力制御バルブを提供する。
【解決手段】流路を有するボデー８１とこの流路を弁軸８９により開閉可能な弁体８３とを有し、真空チェンバと真空ポンプとの間に接続されるバタフライ式圧力制御バルブである。弁軸８９に弁体８３を着脱自在に取付けると共にこの弁軸８９にヒータを取付け、このヒータに接続した配線９２を介して外部より電流を流すことでヒータを発熱させ、この熱を弁軸８９から８３弁体に伝導した。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置において、組付性の向上を図ると共に小型化を図る。
【解決手段】流量制御装置１０が、圧力流体の供給される第１ポート１２を有する第１ボディ１４と、前記第１ボディ１４に対して組み付けられる第２ボディ１８とを備え、前記第１ボディ１４の内部には、第１ポート１２から第２ポート１６へと流通する圧力流体の流通状態を制御する弁機構２０が設けられている。また、第１ボディ１４の第１連結部３０が、第２ボディ１８の上端部に形成された第２連結部１２８の内部に挿入され係合されることにより、前記第１ボディ１４と前記第２ボディ１８とが一体的に連結される。 （もっと読む）