【課題】圧縮機に対する吸入空気の温度の低下を安定的に行なって、圧縮空気質量に対して消費電力を減らすとともに、吸込空気中の水溶性のガス成分を除去することができる空気圧縮装置を提供する。
【解決手段】空気圧縮装置１は、圧縮空気を生成する空気圧縮機２と、この空気圧縮機２の下流側に設けられ空気圧縮機２によって生成され温度の上昇した圧縮空気を冷却するアフタークーラー３と、空気圧縮機２によって生成された圧縮空気を貯留する空気タンク４とを備える。また、空気圧縮機２の乾球温度を気化冷却により冷却する気化式冷却エレメント５と、この気化式冷却エレメント５の下部に設けられた水槽６と、水槽６に貯留した凝縮水Ｃを気化式冷却エレメントの上部から滴下する滴下配管７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可変容量圧縮機用制御弁における高圧ポートと低圧ポートとの間のゴミ詰まりを効果的に抑制する。
【解決手段】本発明のある態様の制御弁１は、吐出室に連通するポート１１と吸入室に連通するポート２７との間に減圧室５３が設けられ、その減圧室への冷媒の導入が第２の弁部を介して行われる。すなわち、ポート１１とポート２７とが隣り合うことなく、その間に中間圧力（クランク圧力Ｐｃ）が満たされるようにすることで、主弁体の摺動部の前後差圧が小さくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】製造コストの増加や圧縮機の大型化、重量増加を抑えつつ、簡単な改良にて、異物が容量制御弁に流入しにくい機構を備えた可変容量圧縮機を提供する。
【解決手段】容量制御弁とガス供給通路を介して吐出室内の冷媒ガスをクランク室に供給してクランク室を調圧し、ピストンのストロークを可変させる圧縮機において、シリンダヘッドとシリンダブロックとの間のガスケット、吐出弁形成部材、弁板のいずれかの部材間に吐出室内の冷媒ガスを容量制御弁側に向けて導入するガス通路を形成するとともに該ガス通路の一端に吐出室内への開口を設け、ガス通路の他端を、シリンダヘッドに形成され容量制御弁に直接通じる制御用ガスの導入路の流入口に接続することで、吐出室から容量制御弁までの制御用ガス導入経路を、ガス通路とガス導入路によって形成し、ガス通路の吐出室内への開口を任意の上部位置に設定できるようにした可変容量圧縮機。 （もっと読む）

【課題】オイル循環量を広範囲の運転条件にて低減し、かつクランク室内の適正オイル量を保持することのできる可変容量斜板式圧縮機を提供する。
【解決手段】クランク室７と、該クランク室７を貫通する駆動軸８と、該駆動軸８の回転に同期して揺動する斜板９と、該斜板９の揺動に伴いシリンダボア１１内を往復動するピストン１２とを具備し、前記ピストン１２のストローク量が前記斜板９の傾斜角を変更することで可変される可変容量斜板式圧縮機において、前記駆動軸８を貫通して前記クランク室７と吸入室１６とを連通する抽気通路内に設けられた第1のオイルセパレータ機構と、吐出室１７から吐出口１８に至る吐出経路内に設けられた第2のオイルセパレータ機構と、前記吐出室１７と前記クランク室７とを常時連通し、前記第２のオイルセパレータ機構によって分離されたオイルをクランク室７に戻すオイル戻り経路３１とを設けた。 （もっと読む）

【課題】 水平方向に配置されたシリンダヘッドの左，右位置に吐出口を設けた場合でも、吐出室で発生したドレンを吐出口から排出して錆等の発生を抑える。
【解決手段】 高圧側シリンダ１６のシリンダヘッド２４には、吐出口２４Ｊを左壁面部２４Ｃに設け、吐出室２６の下側に位置する下壁面部２４Ｂには、吐出口２４Ｊに向けて下向きに傾斜した傾斜壁面２４Ｇを形成する構成とした。従って、圧縮運転を停止させ、吐出室２６内に残存した圧縮空気が冷えて結露によるドレンが発生したときには、傾斜壁面２４Ｇにより吐出室２６内のドレンを吐出口２４Ｊ側に移動させ、この吐出口２４Ｊから順次排出する。これにより、シリンダヘッド２４の左位置に吐出口２４Ｊを設けた場合でも、吐出室２６内で発生したドレンを吐出配管２８側に排出することができる。 （もっと読む）

【課題】空気分離ユニットにおいて冷却用冷媒としてＬＮＧを用いる場合、ＬＮＧの空気流への混合を防止する。
【解決手段】段間冷却のための天然ガスを含む冷媒１６６から得られる寒冷を用いて、空気流１００を複数段で圧縮する。すなわち、冷媒１６６と中間冷媒体１８６（ＩＣＭ）を熱交換器１８８で熱交換し、中間冷却媒体１８６は圧縮された空気流１０２、１０４を熱交換器４ｂ、４ｃで冷却する。圧縮された空気流１０６は、低温空気分離ユニット１に供給することができる。 （もっと読む）

【課題】真空処理室内での異物の混入を効果的に抑制することができる真空ポンプ、半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】固定翼領域１１に、ハウジング１の外側からハウジング１の内側を加熱する第１のヒータ２１が設けられ、スペーサ領域１２に、ハウジング１の外側からハウジング１の内側を加熱する第２のヒータ２２が設けられている。ヒータ２１による加熱の設定温度は９５℃であり、ヒータ２２による加熱の設定温度は１１５℃である。この設定温度は温度制御部により制御される。温度制御部は、固定翼領域１１及びスペーサ領域１２に夫々設けられた温度センサに基づいて設定温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】冷凍装置が放熱する廃熱を循環回路で所定箇所に伝達するにあたり、循環回路に設置された容積型循環ポンプの騒音を効果的に抑制できる冷却庫を提供する。
【解決手段】冷却庫１はスターリング冷凍機１１０で断熱筐体１０内の収納室を冷却する。スターリング冷凍機１１０が放熱する廃熱は高温側第２循環回路１５０で断熱筐体１０の防露部１６０に伝えられる。高温側第２循環回路１５０は容積型ポンプである循環ポンプ１５７で冷媒を循環させる。循環ポンプ１５７の吸込側には吸込側気液分離器１５８が設けられ、吐出側には吐出側気液分離器１５９が設けられる。吸込側気液分離器１５８と吐出側気液分離器１５９は、それぞれ、器体の長軸を傾斜させて上方を入口側、下方を出口側としている。循環ポンプ１５７、吸込側気液分離器１５８、及び吐出側気液分離器１５９は遮音空間１８０に収容される。 （もっと読む）

【課題】圧縮機における軸封装置の潤滑を、十分に、かつ、潤滑油中の異物を除去した状態で適切に行うことが可能な、圧縮機の軸封装置部の改良構造を提供する。
【解決手段】流体を吸入、圧縮する圧縮機構と、該圧縮機構を駆動するシャフトと、該シャフトからの駆動力を圧縮機構へ伝達する駆動力伝達機構を収容したクランク室と、シャフトのシールを行う軸封装置とを備えた圧縮機において、クランク室と軸封装置の間に、クランク室内から軸封装置に潤滑油を供給可能な潤滑油供給通路を設け、該潤滑油供給通路に、潤滑油中の異物を捕捉可能な異物捕捉手段を設けたことを特徴とする圧縮機。 （もっと読む）

蠕動ポンプ（１６、６４）がパッケージ（１２）から液体を汲み上げ、そしてディスペンサ（１０）に組み込まれ得る、汲み上げ及び分与方法及び装置が提供される。蠕動ポンプ（６４）は精度、クリーニング及び保守を改善するようにされる。また、自己シール分与弁（９２、１０４、１１０、１２０）に結合する蠕動汲み上げ用の改良された管（１８）が提供される。
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【課題】２つの流体用の給排装置を容器に形成した１つのソケットに形成することができ、且つソケットの外径を小さく形成できる流体用の給排装置を提供する。
【解決手段】気体と液体等の２種の流体を収容するようにした容器からそれぞれの流体を排出又は容器内へ供給するようにした流体給排装置であって、容器に形成したソケット６又はこのソケット６に装着するニップル１０に開口７を形成して、この開口７を介して前記２つの流体の１つを給排させるようにするとともに、前記ソケット６又はニップル７の前記開口７内に外径が前記開口７の内径よりも小径の中空パイプ１１を前記ソケット６又はニップル１０を貫挿させて装着し、前記中空パイプ１１を介して前記２つの流体の他の流体を給排させる。 （もっと読む）

【課題】 電力の供給を受けずに駆動できると共に、運転時の異常振動を防止することで、より静粛性を必要とする病院等の医療施設においても好適に使用できるようにした真空発生装置とその運転方法を提供する。
【解決手段】 真空発生装置Ａは、真空ポンプ１と、真空ポンプ１を駆動するエンジン２と、上記真空ポンプ１と接続され、外部から吸気を取り入れる外部吸気口４３を備えた真空タンク４と、真空タンク４内の圧力を検知する圧力センサ４４ａ，４４ｂと、圧力センサ４４ａ，４４ｂが検知した真空タンク４内の圧力に基づいて、エンジン２の回転数を予め設定された設定回転数に制御する手段を備えている。エンジン２の設定回転数は、真空発生装置Ａが共振を起こすエンジン２の回転数を避けるように段階的に複数設定されている。 （もっと読む）