【課題】従来技術の欠点を解消すること。
【解決手段】チャンバ内には導電性材料からなる少なくとも４つの加熱素子または加熱素子の群が配置されており、各加熱素子または加熱素子の群は、電気エネルギー網の別個に閉ループおよび／または開ループ制御可能なサブシステムに接続されており、かつ直接的な電流通過によって加熱可能であり、別個に閉ループおよび／または開ループ制御可能な加熱素子または別個に閉ループおよび／または開ループ制御可能な加熱素子の群は、温度、加熱電力、電流、電圧、抵抗またはこの装置により影響される加熱素子のプロセス量からなる群からのパラメタの少なくとも１つの同じ値または異なる値に閉ループおよび／または開ループ制御可能であり、少なくとも４つの閉ループおよび／または開ループ制御可能なサブシステムがアースに対してガルバニック絶縁されている、腐食性ガスの温度処理装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】ガラスシステムを制御する処理装置の汎用性を向上することができるガラスシステム、処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】 ガラスシステム１００は、抵抗体１２を含むガラス体１０と、抵抗体１２に流れた電流の電流値を測定する電流測定部３２と、ガラス体１０の温度を測定する温度測定部３２と、抵抗体１２の大きさに基づく昇温プログラムデータを記憶した記憶部と、 電流測定部３２により測定された電流値と温度測定部３０により測定されたガラス体１０の温度とに基づき、昇温プログラムデータを参照して、ガラス体１０の状態を導出するための処理部２０とを含む。 （もっと読む）

【課題】サービス開口を開閉するカバーに連動して切り換わる電力遮断構造を簡素化して低コスト化でき、しかも、カバーを開放した状態では、加熱ローラの熱源への通電を確実に遮断してメンテナンス作業の安全性を向上できる画像形成装置を提供する。
【解決手段】加熱ローラおよび加圧ローラと、加熱ローラに組み付けられる熱源と、熱源に対して電力を供給する接触式の給電構造を含む定着装置を有する。定着装置に臨むサービス開口に、該開口を開閉自在に覆うカバーが設けてある。給電構造は、加熱ローラの側に設けられる受電体と、受電体に対して接離自在に支持される給電体と、給電体を受電体に向かって押し付け付勢する給電体ばねと、給電体を受電体に対して導通状態と分離状態とに切り換える遮断体を含む切り換え構造を備えている。カバーの開放動作に連動して、給電体を遮断体で分離状態に切り換えて通電を遮断する。 （もっと読む）

【課題】ガラスシステムを制御する処理装置の汎用性を向上することができるガラスシステム、処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】 ガラスシステム１００は、抵抗体１２を含むガラス体１０と、抵抗体１２に流れた電流の電流値を測定する電流測定部３２と、ガラス体１０の温度を測定する温度測定部３２と、抵抗体１２の大きさに基づく昇温プログラムデータを記憶した記憶部と、 電流測定部３２により測定された電流値と温度測定部３０により測定されたガラス体１０の温度とに基づき、昇温プログラムデータを参照して、ガラス体１０の状態を導出するための処理部２０とを含む。 （もっと読む）

漏出感知に応用するための二重壁軸流電気ヒータは、改善された腐食および漏出耐性のあるアセンブリを提供し、ヒータロッド外側の保護チューブと、プレナムを介して離隔した二重の保護チューブシートと、保護チューブの壁を介して漏出を感知するべく位置づけられた漏出検知器とを含む。その構造は、チューブシートおよびヒータを包囲するシェルの対向端内にそれぞれ挿入される１以上のチューブ束を随意に含む。構造は、ユニットが稼働中でも各ヒータロッドを独立して交換できることから、メンテナンスの容易さを提供する。直径を変えた保護チューブを備えることによって、標準的な単一の熱流束ヒータから可変の熱流束が提供される。内蔵式のサーモウェルを設けることによって、ロッドの温度を直接モニタすることが可能となる。方向転換バッフルを用いることによってホットスポットが回避され、クモ形バッフルを用いることによって振動が回避される。
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【課題】工具を使用することなく、構成部品毎に短時間で分解することができる保温器を提供する。
【解決手段】固定部材６と係止部５との間でシェード１を挟持し、ユーザが固定部材６を把持して回転させることで固定部材６をソケット４から取り外すことができ、工具を使用することなく保温器を短時間で分解することができる構成とした。その結果ユーザは保温器の洗浄を容易に行うことができ、保温器を頻繁に洗浄して衛生状態を保つことができる。 （もっと読む）

【課題】ロールの長手方向に沿って当該ロールの温度が均一となるようロールを加熱することができるとともに、製造コストやメンテナンスコストを低減することができる加熱装置および加熱方法を提供する。
【解決手段】ロール５０の表面の加熱を行うための加熱装置は、ロール５０の長手方向に沿って設けられた複数の加熱部１０ａ〜１０ｉと、ロール５０の長手方向に沿って設けられ、ロール５０の温度または直径を検出する複数の検出部２０ａ〜２０ｃと、を備えている。各々の加熱部１０ａ〜１０ｉは、その全体または少なくとも一部分がロール５０の回転方向および長手方向に対して斜めに延びるよう配置されている。制御部３０は、各検出部２０ａ〜２０ｃによる検出結果に基づいて、各加熱部１０ａ〜１０ｉにおけるロール５０に対する加熱の度合いを加熱部１０ａ〜１０ｉ毎に制御する。 （もっと読む）

【課題】配線系統を簡易なものとできる冷媒管、電極体および連続式通電加熱装置の提供。
【解決手段】内部に冷却媒体流路を設けた複数の電極体、電極体に冷却媒体を供給する冷媒管および複数のスペーサ管体を有し、電極体およびスペーサ管体の内壁が食品材料を流動移送させながら通電加熱するための加熱流路を形成する連続式通電加熱装置において、前記冷媒管が前記電極体に電力を供給可能であることを特徴とする冷媒管、当該冷媒管を取り付け可能な取付部を備えた電極体および当該冷媒管を備えた連続式通電加熱装置。 （もっと読む）

【課題】溶融ガラス中に導電性堆積物が存在しても電気的弊害や廃棄物処理能力の低下が生じないようにするとともに、溶融槽及び加熱電極などの交換を容易にし、交換部分を必要最小限に留め、廃棄物の円滑なガラス固化処理を可能にする。
【解決手段】直接通電用の加熱電極を備えた廃棄物ガラス固化処理用溶融炉であって、溶融槽１０は、耐火レンガを円錐状に組積した炉底浴壁部１２及びその上方に連続する耐熱合金からなる円筒状の上部浴壁部１４を組み合わせて構成され、加熱電極は、円筒を複数に縦分割した端面円弧形状で上部浴壁部の内側に間隔をあけて円筒状に配設されるセグメント電極３０と、溶融槽内の中央に垂下され先端部が紡錘型に膨出する中空構造の円柱電極３２と、円柱電極の先端部を対極とし炉底浴壁部と同一面内に円周状に配設される補助電極３４と、円柱電極の先端部を対極とし炉底に設置される排出口一体型のロート状底部電極３６からなる。 （もっと読む）

【課題】溶融ガラスの流下時における浴壁近傍の流れ形成を良好にし、十分な排出が行われるようにすると共に、溶融槽内における溶融ガラスの保有量の少量化を実現して導電性堆積物量を抑制し、通電異常や処理能力の低下が生じた場合には、容易に溶融槽を交換でき、かつ交換部分を必要最小限に留め、廃棄物の円滑なガラス固化処理を可能にする。
【解決手段】溶融槽１０は、円錐状の炉底浴壁１４とその上方に連続し一方の加熱電極を兼ねる円筒状の垂直浴壁１６からなり冷却手段を備えた耐熱合金製の一体構造であって、垂直浴壁を対極とする他方の加熱電極は、冷却手段を備え溶融槽内に垂下される円筒状の中央電極２６である。直管部分３０ａと紡錘型に膨出する先端部分３０ｂとが連続し中空構造をなす耐熱合金製の冷却棒３０を、その直管部分が中央電極内に電気絶縁体３４を介して位置し、先端部分が中央電極から突出するように溶融槽内に設置する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、管型白熱ランプを位置決めできると共に、固定体であるネジを少なくした加熱装置を提供することである。
【解決手段】
第１の発明に係る加熱装置は、中心軸にフィラメントが設けられたバルブと、該フィラメントの両端に電気的に接続された一対の端子とを備えた管型白熱ランプと、該端子を保持するランプ保持部を具備するフレームと、からなる加熱装置において、該一方の端子は、該管型白熱ランプの軸方向への移動及びその軸方向に対して直交方向への移動が規制されるように、該一方のランプ保持部に固定され、該他方の端子は、該管型白熱ランプの軸方向に対して直交方向への移動が規制されると共に、該他方のランプ保持部に対して該軸方向で相対的に移動されるように、他方のランプ保持部に設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型かつ簡単な構造でエネルギー消費が少なく、修理や交換が容易な迅速加熱装置及び方法を提供すること。
【解決手段】平板状の被加熱材（１）の加熱装置は、断熱性を有するベースプレート（３、４）上に複数の発熱要素（２）を所定の間隔をおいて平面的に所定のパターンをもって配列して加熱接触面（２ａ）を構成し、加熱接触面（２ａ）を被加熱材（１）に直接接触させて加熱することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、熱処理炉とチューブヒータとの間でシール不良を起こすことなく、チューブの変形を防止できる熱処理炉のチューブヒータを提供する。
【解決手段】例えば、ローラハース式連続真空熱処理炉の脱ワックス室１１に装入されたワークの加熱源となるチューブヒータ２１、２４であって、チューブ内に主ヒータ４１、４４とは別に該主ヒータのワークと対面する側に補助ヒータ５１、５４を挿入し、該補助ヒータへの通電を該主ヒータとは別に制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】作製、運搬および設置が容易であり、均熱性に優れたホットプレート及びこれを備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るホットプレート１０は、加熱源１３を内蔵した複数のヒーターブロック１１Ａ〜１１Ｈを相互に隣接配置させてなる加熱部１１と、加熱部１１の上面に配置されて被処理基板Ｗの支持面を形成する単一の伝熱板１２とを備えている。ホットプレート１０の主要部を構成する加熱部１１を複数のヒーターブロック１１Ａ〜１１Ｈに分割可能に構成することで、ホットプレート１０の作製、運搬および設置を容易に行うことが可能となる。そして、これら複数のヒーターブロックからなる加熱部１１の上面に伝熱板１２を配置することによって、被処理基板Ｗの支持面において個々のヒーターブロック間における温度勾配の発生を抑制し、支持面の均熱性を確保することができる。 （もっと読む）

ホットメルト接着剤材料供給システムに関連して使用する電子制御回路は、塗布器ヘッド内に設けられた第１の空洞内部に配置される第１の単一の加熱素子カートリッジ本体内に共に配置される冗長化加熱素子対と、塗布器ヘッド内に設けられた第２の空洞内部に配置される第２の単一の温度検出器カートリッジ本体内に共に配置される冗長化温度検出器対とを有する。冗長化加熱素子対の双方を第１の単一の加熱素子カートリッジ本体内に配置することおよび冗長化温度検出器対の双方を第２の単一の加熱素子カートリッジ本体内に配置することにより、塗布器ヘッドの大きさを小さくし、より小型化することができるとともに、冗長化加熱素子対および冗長化温度検出器対と電源回路との電気的接続をより簡素化することができる。 （もっと読む）

【課題】加熱体の加熱スタート時に異常を検知する。
【解決手段】制御装置は、加熱ロールの温度上昇速度Ｓの値を算出して状態対応表と比較し、温度上昇速度Ｓの値が３°Ｃ／秒以下であるか、３°Ｃ／秒と１０°Ｃ／秒との間にあるか、又は１０°Ｃ／秒から１３°Ｃ／秒までであるか否かを判定し、１０°Ｃ／秒から１３°Ｃ／秒までである場合は正常状態として定着温度制御処理を行い、その他の場合は異常を種類別に表示する。また、制御装置は、判定結果（情報）を記憶装置５２に書き込み、電源をオンした後に、異常温度上昇速度の情報が記憶装置５２にある場合には、定着温度制御処理を行うことなく、異常を種類別に表示する。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンの線幅がウェハ面内で均一に形成されるように，熱板の温度設定を行う。
【解決手段】ＰＥＢ装置の熱板は，複数の熱板領域に分割されており，各熱板領域毎に温度設定できる。熱板の各熱板領域には，熱板面内の温度を調整するための温度補正値がそれぞれ設定できる。先ず，フォトリソグラフィー工程が終了したウェハ面内の線幅を測定するＳ１。その測定線幅の面内傾向Ｚを，ゼルニケ多項式を用いて複数の面内傾向成分Ｚｎに分解するＳ２。次に，その算出された複数の面内傾向成分Ｚｎから，温度補正値の設定により改善可能な面内傾向成分を抜き出し，それらを足し合わせて，測定線幅における改善可能な面内傾向Ｚａを算出するＳ３。そして，現状の処理状態の面内傾向Ｚからその改善可能な面内傾向Ｚａを引き算して，改善後の面内傾向Ｚｆを算出するＳ４。 （もっと読む）

【課題】
メンテナンスが容易であり、且つ輻射熱等を有効に利用できる熱効率の高い加熱装置を提供する。
【解決手段】
加熱ランプと、該加熱ランプより照射された加熱光を反射して被処理物を加熱させる反射ガラスと、該反射ガラスを保護する透光性の保護ガラスとを備え、前記反射ガラスと前記透光性の保護ガラスとは、空隙を隔てて配置されてあり、前記反射ガラスと前記透光性の保護ガラスとの空隙に空気の流入が抑制された空気断熱層が形成されてなる輻射加熱装置を提供する。 （もっと読む）

冗長性を有する制御回路は、ホットメルト接着剤ホースアセンブリを既定の温度レベルに加熱するためのヒーター回路のペアと、ホットメルト接着剤ホースアセンブリの温度を検知すると共に、所望の温度レベルを維持するためにヒーター回路のエネルギー供給状態を制御するべく使用される温度センサのペアと、を有している。ヒーター回路の第１のものの内部に障害が発生した場合には、障害が発生した第１のヒーター回路をホットメルト接着剤ホースアセンブリの電気回路から有効に除去すると共に、ヒーター回路の第２のものをホットメルト接着剤ホースアセンブリの電気回路に対して電気的に接続するべく、電気スイッチメカニズムが起動される。又、温度センサのペアとの関連においても、類似のスイッチング手順が実行される。
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【課題】温度検知素子の加熱回転体との当接部分に付着物が堆積することを抑制する。また装置寿命の大幅な低下を引き起こすことなく、堆積した付着物を効率よく回収することを可能にする。
【解決手段】温度検知部品２６において、固定部材に一端部が固定されている一対の板バネからなる弾性支持部材３１の他端部に、加熱ローラ２１に当接する温度検知素子２７をテープ３２により保持し、さらに、温度検知素子２７の設置部分から、加熱ローラ回転下流側に延在する弾性支持部材３１の長さを２ｍｍ以下に設定する。 （もっと読む）