【課題】薄膜形成材料の滞留による膜厚ばらつきを簡単に低減することができ、気流発生装置を不要とした簡単な構造の薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】被成膜体７を保持した状態で回転するホルダ２と、被成膜体７の被成膜面７ａに液状の薄膜形成材料９を供給する材料供給部８と、ホルダ２に立ち上がり状に設けられて被成膜体７の周囲に配置され、ホルダ２の回転と一体回転して被成膜体７の周囲に負圧を生じさせる複数の羽根体３とを備える。 （もっと読む）

【課題】厚さ方向に組成が変化する傾斜機能材料を用いた熱放射膜を効率よく生産する。
【解決手段】第１の材料を含む第１の機能性インクを第１の吐出ヘッドから吐出し、当該吐出された前記第１の機能性インクを基材(10)上に付着させて第１の材料層(21)を形成する工程と、第１の材料とは組成が異なる第２の材料を含む第２の機能性インクを第２の吐出ヘッドから吐出し、当該吐出された第２の機能性インクを基材上に付着させて第２の材料層(22)を形成する工程と、を含み、基材(10)上に第１の材料層(21)と第２の材料層(22)とを含む複数の層が積層された構造を有する傾斜機能材料（20）を形成する。 （もっと読む）

【課題】無駄になる液剤の量を少なく抑えつつ、液剤流路内に混入した空気を確実に外気に放出させることができる液剤吐出装置及び液剤吐出装置における空気抜き方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤流路２７から分岐して延びて接続部材２５のシリンジ２６とケーシング２１の間の外表面に開口した空気抜き管路２８と、空気抜き管路２８を閉塞し、液剤流路２７内に混入した空気を外部に放出する空気抜きが行われる際に空気抜き管路２８から取り外されて空気抜き管路２８を外気に開放するめくら栓２９を備える。 （もっと読む）

【課題】作業工程管理が容易で、安価な装置を使用したパターン形成方法を提供する。
【解決手段】紫外線硬化樹脂を含んだインクのみを用いて、紫外線照射炉にて硬化工程を一度に行うので、作業工程管理が容易で、加熱装置を必要とすることなく、安価な装置を使用したパターン形成方法が得られる。また、基板の表面に着弾した第１の液滴と大気との間に、表面自由エネルギーの低い液体材料の薄い層が移動し、隣接する第１の液滴同士の間に液体材料の層が介在するため、隣接する第１の液滴同士の結合が防止される。したがって、瘤状のバルジ等の発生が抑えられ、樹脂膜パターンの幅や膜厚が略均一になり、高密度で描画線幅の微細化が可能なパターン形成方法が得られる。 （もっと読む）

【課題】 ソルダーレジスト等の液状材料によってノズル詰まり等の不良が発生すると、装置の稼働率が低下する。
【解決手段】 基板に液状材料を吐出させる複数のノズルが設けられたノズルユニットが、基板に対向している。移動機構が、ノズルユニットに対し、基板を面内方向に移動させる。撮像装置が、基板に塗布された液状材料により形成されたパターンを検出する。制御装置が、ノズルユニットに対して基板を移動させながら、基板にノズルユニットから液状材料を吐出させ、基板に付着した液状材料によって検査パターンを形成する。撮像装置で撮像された検査パターンの画像データを取得する。この画像データを解析することによって、ノズルヘッドのノズルの良否を判定する。不良と判定されたノズルからは液状材料を吐出させない制御を行い、良と判定されたノズルから液状材料を吐出させることにより、基板に薄膜パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】無駄になる液剤の量を少なく抑えつつ、液剤流路内に混入した空気を確実に外気に放出させることができる液剤吐出装置及び液剤吐出装置における空気抜き方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤流路２７から分岐して延びて接続部材２５のシリンジ２６とケーシング２１の間の外表面に開口した空気抜き管路２８と、空気抜き管路２８を閉塞し、液剤流路２７内に混入した空気を外部に放出する空気抜きが行われる際に空気抜き管路２８から取り外されて空気抜き管路２８を外気に開放するめくら栓２９を備える。 （もっと読む）

【課題】基材上の塗工膜にスジ状欠陥が形成されることを抑制して塗工品質を向上させることができる塗工方法を提供すること。
【解決手段】搬送される基材２０の表面に塗工ダイ１１により塗工液２１を吐出して塗工膜２１ａを形成する塗工方法において、塗工膜２１ａにスジ状欠陥が発生した場合、塗工ダイ１１の吐出口１１ａと基材２０との間に形成される塗工ギャップを、一定時間だけ通常の塗工位置における塗工ギャップより小さくする。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストの消耗量が節減されるノズルユニット、基板処理装置、及び基板処理方法が提供される。
【解決手段】本発明による基板処理装置は、基板を支持するプレートと、前記プレートに支持された前記基板に薬液を塗布するノズルユニットと、前記プレートに置かれる基板と前記ノズルユニットとの間の相対位置が変更されるように前記基板又は前記ノズルユニットを移動させる駆動ユニットと、を含む。前記ノズルユニットは、横方向が第１方向に沿って形成され、前記基板に第１薬液を吐出する第１吐出部と、横方向が前記第１方向に沿って形成され、前記基板に第２薬液を吐出する第２吐出部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 高粘度材料に変揺性を与えることなく形状良好な点字を形成することが可能とする技術の提供。
【解決手段】 吐出装置とワークとを相対移動しながら、ワーク上に液体材料を滴下塗布して点字を形成する点字形成方法であって、前記吐出装置は、ノズル内流路と連通し、液体材料が供給される液室と、ノズル内流路の入口を閉鎖する進出位置および後退位置を有するピストンと、を備え、前記吐出装置のノズルの吐出口から吐出される１〜１０個の液滴により、ワーク上に点字を構成する一の点を形成する点字形成工程を有することを特徴とする点字形成方法および当該方法を実施可能な塗布装置。 （もっと読む）

【課題】複数の印刷層を積層させて形成された印刷物、およびその印刷方法に関する。
【解決手段】紫外線硬化性の液状インクを用いたインクジェット記録方式により液状インクに対して非吸収性の記録媒体上に画像を形成する印刷方法であって、印刷物として車両用表示パネル２００を製造する場合、インクジェットヘッドに第１の走査をさせながら第１の階調を含む第１のマスクによって前記記録媒体上へ車両用表示パネル２００の光学特性に応じた第１印刷層２３０を形成する第１印刷ステップと、前記インクジェットヘッドに第２の走査をさせながら前記第１の階調とは異なる第２の階調を含む第２のマスクによって前記記録媒体上に第１印刷ステップで形成した層よりも薄い第２印刷層２４０を形成する第２印刷ステップと、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】作業位置精度の高い基板用搬送ステージ、それを備えた描画装置、および、それを用いた描画方法を提供する。
【解決手段】基板用搬送ステージ５０は、ベース１と、主走査軸方向としてのＹ軸方向の走査を行なうＹ軸モーター５と、Ｙ軸モーター５の可動子としてのＹ軸テーブル１０に載置されＹ軸方向と交差する副走査軸方向としてのＸ軸方向の走査を行なうＸ軸モーター１５と、Ｘ軸モーター１５の可動子としてのＸ軸テーブル２０に載置されＹ軸方向やＸ軸方向と直交する直交軸回りの回転を行なうθ軸回転式モーター２５およびその可動子としての基板ステージ３０と、Ｙ軸テーブル１０と基板ステージ３０とをロックするロック手段としての摩擦ブレーキ部１８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】洗浄の必要性を減らし、衛星形成及び霧化を減らし、また、液体吐出出口からの液体の漏れを防止することができるディスペンサーを提供する。
【解決手段】
少量の液体を基材へ塗布するディスペンサー。ディスペンサー１０は、ディスペンサー本体１２と、ディスペンサー本体内のアクチュエーター１０ｂと、ディスペンサー本体に取り外し可能に連結される吐出要素本体５２を含む吐出要素５０とを含む。弁棒６０は、吐出要素本体内で往復移動するように取り付けられている。更なる態様は、変形可能な弁座と、変形可能かつ弾性的な弁棒の先端部と、個別量の液体を基材へ塗布する方法とを含む。 （もっと読む）

【課題】容易に厚盛り膜を積層形成することができる印刷物を製造方法を提供する。
【解決手段】印刷物の製造方法は、第１凸部形成工程では、基材の表面に第１機能液を点在させて塗布する第１塗布工程と、塗布された第１機能液を固化して、複数の第１突起部を形成する第１固化工程と、少なくとも複数の第１突起部によって囲まれる第１仮想領域内に第２機能液を塗布する第２塗布工程と、塗布された第２機能液を固化して、第１厚盛り膜を形成する第２固化工程と、を有し、第２凸部形成工程では、少なくとも第１凸部上の一部を含む位置に第３機能液を点在させて塗布する第３塗布工程と、塗布された前記第３機能液を固化して、第２突起部を形成する第３固化工程と、第２突起部によって囲まれる第２仮想領域内に第４機能液を塗布する第４塗布工程と、第２仮想領域内に塗布された第４機能液を固化して、第２厚盛り膜を形成する第４固化工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】混色が低減されたパターン膜形成部材の製造方法を提供する。
【解決手段】パターン膜の材料を含む機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと基材とを相対的に移動させながら前記基材上に前記液滴を吐出するパスを所定回数行い、前記基材上に前記パターン膜を形成するパターン膜形成部材の製造方法であって、前記基材上に形成された区画部によって区画されたパターン膜形成領域に前記液滴の着弾を許可する着弾許可領域を設定する着弾許可領域設定工程と、設定された前記着弾許可領域に前記機能液を塗布する機能液塗布工程と、を含み、前記着弾許可領域設定工程では、前記パスの回数に応じて前記着弾許可領域の位置を設定する。 （もっと読む）

【課題】塗料の使用量を低減し、且つ、経時的に反応性が低下する塗料であっても反応性を経時的に低下させることなく対象物に塗布することができる塗布装置及びその塗布装置を用いた塗布方法を提供すること。
【解決手段】塗料が塗布される板状の基材１８を安定保持する載置台１３と、載置台１３上の基材１８の上方位置に配置された塗布ユニット２０と、送液手段と、移動機構とを有する塗布装置１０である。塗布ユニット２０は、下方へ突出する突出部２８の先端面２８ｂに設けられた塗料供給口３２と、塗料含浸用布４４を先端面２８ｂに当接させた状態で張架支持すると共に、張架方向へ移動可能な支持・移動手段と、を有する。これにより、塗料供給口３２から流出した後に速やかに塗料を基材１８に塗布することができるので、経時的に基材１８との反応性が低下する塗料であっても反応性を経時的に低下させることなく塗布することができる。 （もっと読む）

【課題】所望の画像の輪郭部分に沿って確実に厚盛り膜を形成し、画像が立体視され、画像品質の優れた印刷物を提供する。
【解決手段】基材上に形成された画像に対応する位置に第１凸部を形成する第１凸部形成工程を含み、前記第１凸部形成工程では、前記基材上に形成された前記画像の輪郭部分に対応する位置に第１突起部の材料を含む第１機能液を点在させながら塗布する第１塗布工程と、塗布された前記第１機能液を固化して、複数の前記第１突起部を形成する第１固化工程と、前記第１突起部によって囲まれた第１領域に第１厚盛り膜の材料を含む第２機能液を塗布する第２塗布工程と、塗布された前記第２機能液を固化して、前記第１厚盛り膜を形成する第２固化工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】混色が低減されたパターン膜形成部材の製造方法を提供する。
【解決手段】パターン膜の材料を含む機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと基材とを相対的に移動させながら前記基材上に前記液滴を吐出するパスを所定回数行い、前記基板上にパターン膜を形成するパターン膜形成部材の製造方法であって、前記基材上に前記パターン膜が形成されるパターン膜形成領域に対して前記吐出ヘッドの移動方向側に、前記パスにおける前記液滴の着弾を禁止する着弾禁止領域を設定する着弾禁止領域設定工程と、設定された前記着弾禁止領域に応じて、前記液滴を吐出して、前記パターン膜形成領域に前記機能液を塗布する機能液塗布工程と、を含み、前記着弾禁止領域設定工程では、前記パスの回数に応じて前記着弾禁止領域の広さを設定する。 （もっと読む）