【課題】本発明は、低コストで実施することができ工業的な大量生産にも適用可能な火炎溶融法を用い、一般的な金属の酸化物からなる中実球状金属酸化物粒子を簡便かつ効率的に製造できる方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る中実球状金属酸化物粒子の製造方法は、１種以上の非気化性金属キレート粉体を熱流体中で加熱することにより、粉体中の有機成分を熱分解して除去し且つ金属成分を酸化させる工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、平均粒径がサブミクロン以下の金属酸化物超微粉末をエポキシ樹脂に充填した際、極めて流動性の高いスラリー組成物を提供する。
【解決手段】 体積平均粒径（Ａ）が０．０４〜０．４０μｍ、粒径分布標準偏差（Ｂ）が下記式（１）で表され、粉末の孤立シラノール（孤立ＯＨ）基の濃度が１．５〜４．０個／ｎｍ２である金属酸化物超微粉末である。

Ｂ≦Ａ×１／２ ・・・・・式（１）
［測定方法］
水分気化装置／ＶＡ‐１２２型に金属酸化物超微粉末を０．３ｇ入れ、加熱昇温し、発生した水分をカールフィッシャー電量滴定法にて測定したときに、温度２００℃までに発生した水分を「物理吸着水分」、２００℃をこえ５５０℃までに発生した水分を「水素結合ＯＨ基由来の水分」、５５０℃をこえ９００℃にまでに発生した水分を「孤立ＯＨ基由来の水分」、と定義し、測定された水分量とＢＥＴ比表面積値から、単位面積当たりの孤立ＯＨ基量を算出した。 （もっと読む）

【課題】ケイ素を含む多元素系無機化合物を製造する際に有用な水溶性ケイ素前駆体の製造方法、並びに多元素系無機化合物の製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのケイ素前駆体を含む、実質的にハロゲンを含まない、多元素系水溶性前駆体溶液を与えることと、このケイ素前駆体に熱プラズマ、火炎噴霧、ホットウォールリアクタまたは噴霧熱分解システムから選択される、熱源をあてて多元素系ケイ素材料を作成することとを含む、ケイ素材料を製造する方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ノズル部及び無機質球状化粒子製造用バーナを交換することなく、無機質原料粉体の融点及び大きさ（粒径）等に応じた温度（所望の温度）及び形状（所望の形状）とされた火炎を形成可能な無機質球状化粒子製造用バーナ、無機質球状化粒子製造装置、及び無機質球状化粒子の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】先端３３に火炎を形成するノズル部２８と、ノズル部２８の外周側面に配置された筒状部２９と、を備え、ノズル部２８の先端面３３ａ、及び筒状部２９の先端面２９ａは、ノズル部２８の延在方向に対して直交する平坦な面とされており、ノズル部２８の先端面３３ａと筒状部２９の先端面２９ａとが面一、或いはノズル部２８の先端面３３ａに対して筒状部２８の先端面３３ａが突出するように、ノズル部２８に対してノズル部の延在方向に筒状部２９を移動可能な構成とした。 （もっと読む）

【課題】他の気相法と比較して親水性の高い粒子が安価で大量に製造することができる酸化物ナノ粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】気化した原料物質を心棒に吹き付け心棒表面で酸化物を粒子状に生成させるとともに、該粒子を堆積させ、その後、堆積した粒子の凝集体を粉砕することを特徴とする酸化物ナノ粒子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】パルスジェットと噴霧原料液滴との接触を効率的に行うことができ、パルスジェットと原料液滴とのエネルギー効率を向上させることができるため、噴霧器により得られた原料の噴霧液滴をパルスジェットに接触させると同時に高温雰囲気下に接触させる際、より結晶化度の高い、凝集の少ない単結晶の分散したナノサイズの原料由来の微粒子を工業的に低コストで量産することができるパルス噴霧熱分解方法及び装置を提供する。
【解決手段】パルス燃焼器１から発生したパルスジェット９に、噴霧器２２から噴霧した原料液滴２３を接触させながら高温雰囲気下で熱分解し、原料由来の微粒子を得る噴霧熱分解方法である。パルス燃焼器１の周囲に配置された少なくとも１個以上の噴霧器２２から噴霧された原料液滴２３を、パルスジェット９の噴出方向Ｘの側面から接触させる。 （もっと読む）

【課題】異物の量、特に着磁性異物の量を低減した球状金属酸化物粉末の製造方法を提供すること。
【解決手段】金属酸化物粉末及び金属水酸化物粉末の少なくとも一方からなる原料粉末を火炎中に噴射して球状化し、それを捕集系で回収する工程を含む球状金属酸化物粉末の製造方法において、上記原料粉末中の粒径４５μｍ以上の異物を、異物除去装置を通過させることにより４５０個／５０ｇ以下に減ずる工程を含むことを特徴とする球状金属酸化物粉末の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、原料粉末をバーナーを用いて火炎中で球状化する球状金属酸化物粒子の製造方法において、高溶融率かつ高球形度の球状金属酸化物粉末を高効率で製造する製造方法を提供する。
【解決手段】 金属酸化物粉末及び金属水酸化物粉末からなる群より選ばれる１種以上の原料粉末を、バーナーを用いて火炎中で球状化する球状金属酸化物粒子の製造方法において、バーナーは燃料ガス供給手段、助燃ガス供給手段及び原料粉末供給手段を備えた複数本で１群を構成し、且つバーナーを複数群設置することを特徴とする球状金属酸化物粉末の製造方法。バーナーの複数群が２群から６群であり、隣り合う各バーナー群の最近接バーナーの中心間の設置距離が、原料の平均粒径が３〜１５μｍの場合、バーナー半径の２．５倍〜５．６倍、原料の平均粒径が１５μｍを超え５０μｍ以下の場合、バーナー半径の２．５倍〜３．７倍であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】成形時の流動性に富み、かつ電気的なショートを発生させない半導体封止材が提供される。またそのような組成物を調製するのに好適な球状金属酸化物粉末が提供される。
【解決手段】金属酸化物粉末及び金属水酸化物粉末の少なくとも一方からなる原料粉末を炉内に形成された火炎中に噴射して熱処理をし、それを炉に直結された捕集装置で回収する球状金属酸化物粉末の製造工程において、平均粒子径５０μｍ以下の粒子が４０ｍ／秒以上の速度で通過する部分の材質を、粒子径１．０μｍ以下のタングステンカーバイド原料とＣｏを焼結させた成形体で構成し、原料供給から捕集・回収に至る製造工程において４５μｍ以上の着磁性異物の増加量を１０個／５０ｇ以下にすることを特徴とする球状金属酸化物粉末の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高い固体含有量と高いｐＨを有する、安定なフュームド金属酸化物分散体の製造方法を提供する。
【解決手段】液体キャリア中に分散するフュームド金属酸化物分散体の製造方法は次の連続的段階を含む。（a）ｐＨ約８での金属酸化物の水への溶解速度以上の速度で該金属酸化物が溶解するｐＨを有する液体キャリアを用意し、（ｂ）フュームド金属酸化物および金属イオン源の両方につき、その１アリコート以上と液体キャリアとを、いかなる順序でも、混合して分散体が凝固しないような分散体を形成し、そして（ｃ）任意で、段階（ａ）における液体キャリアのｐＨに分散体のｐＨを調節する。この方法によれば、高固体含有量と高ｐＨの分散体が得られ、２５℃で少なくとも１時間の貯蔵寿命を有することが可能である。 （もっと読む）

【課題】高熱伝導な酸化マグネシウムを多く含有しながら、緻密で球形度が良好で、封止樹脂への高充填が可能な球状粒子、それを含む樹脂組成物及びその製造方法、並びにその球状粒子の集合物であるフィラー及びそれを含む半導体樹脂封止剤を提供する。
【解決手段】酸化マグネシウムとＭｇ_２ＳｉＯ_４とから構成され、長辺と短辺の比が平均で１．０〜１．１であることを特徴とする球状粒子である。また、ＳｉとＭｇ及びＯとからなる溶融粒子を冷却して非晶質相を主相とする球状粒子を得る第１工程と、該非晶質相を主相とする球状粒子を加熱することにより結晶化させて前記球状粒子を得る第２工程と、を備えたことを特徴とする球状粒子の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 流動性と成形性に優れ、バリの発生が更に少ない樹脂組成物、特に半導体封止材料を提供することであり、それに好適な超微粉末と超微粉末の製造方法を提供する。
【解決手段】 ＳｉＯ_２及びＡｌ_２Ｏ_３の酸化物換算の含有率が９９．５質量％以上、平均粒子径が０．０５〜１．０μｍ、粒度分布の変動係数が１０〜１００％であり、Ａｌ_２Ｏ_３の酸化物換算の含有率が１０〜９９質量％である超微粉末。この超微粉末を０．５〜２０質量％含有してなる平均粒子径が５〜５０μｍの無機質粉末。可燃ガスと助燃ガスとによって形成された高温火炎中にＳｉ源物質とＡｌ源物質を噴射し加熱処理して製造する超微粉末の製造方法であって、Ｓｉ源物質とＡｌ源物質は別々のバーナーから噴射し、Ａｌ源物質よりもＳｉ源物質を１〜２０ｃｍ下部から噴射する本発明の超微粉末の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 酸化珪素膜、金属埋め込み膜等へ研磨傷の発生を防止又は低減することが可能なＣＭＰが実施できる金属酸化物粒子、これを含む研磨材、この研磨材を用いた基板の研磨方法及び研磨して得られる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 金属化合物を１０００℃以上で加熱処理することによって作製され、かつ結晶子サイズが３０ｎｍ以上及び結晶歪が１％以下である金属酸化物微粒子、この金属酸化物微粒子を含む研磨材、該研磨材を用いて、所定の基板を研磨することを特徴とする基板の研磨方法及び酸化珪素膜が形成された半導体チップを、前記の研磨材で研磨することを特徴とする半導体装置の製造方法若しくは金属膜が形成された半導体チップを、前記の研磨材で研磨することを特徴とする導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】火炎の燃焼状態が安定で、均一な品質の金属酸化物を製造できる金属酸化物製造装置を提供する。
【解決手段】バーナ２から金属元素を含有する原料を噴出させ、火炎を利用して金属酸化物を製造する装置であって、原料をバーナ２に供給する原料供給手段３，３ａ，３ｂと、酸化性ガスを、原料と共にバーナ２から噴出させる酸化性ガス供給手段４，４ａ，４ｂと、予め可燃性ガスと支燃性ガスとを混合した混合ガスをバーナ２に供給する混合ガス供給手段５，５ａとを備え、バーナ２に、原料及び酸化性ガスを噴出する原料噴出孔９を備えると共に、原料噴出孔９の周囲に混合ガスを噴出する混合ガス噴出孔８を設ける。 （もっと読む）

【課題】 安定した火炎の形成が可能となるバーナによって、安定した品質の微粒子が作製できる微粒子製造装置を提供する。
【解決手段】 主炎孔より反応容器１内に火炎ＫＥを吹き出すとともに主炎孔の周囲に配置した補助炎孔により火炎ＫＥの根元に補助炎ＫＨを形成するバーナ２と、微粒子の原料物質を含む原料流をバーナ２の火炎ＫＥによる高温雰囲気の反応空間ＨＫに噴出する原料噴出手段４と、前記噴出される原料流を覆うように反応気体流を噴出する気体噴出手段５を設け、火炎ＫＥの吹き出し方向と原料流の方向を交差させるとともに、原料噴出手段４から広がりながら噴出する原料流の外周部に火炎ＫＥの先端部を近接位置させる。 （もっと読む）

ナノサイズの金属を有する粉末およびドープされた粉末を、不揮発性の金属を有する前駆体粉末あるいは粉末混合物を比較的低い温度で熱ガス流中で分散させる方法によって合成する。第一の揮発性作用物質を添加し、前駆体中の金属を揮発性金属化合物に変換する。次に、第二の揮発性作用物質をガス流に注入し、該揮発性金属化合物を、急冷中にナノサイズの金属を有する粉末として凝縮する固体に変換する。最後に、蒸気／金属を有する粉末混合物をガス流から分離する。
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【課題】 金属不純物の含有濃度が極めて低く、平均粒子径が極めて小さく、電子部品用の放熱材料として有用な微粒球状無機酸化物粉体、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 最大粒子径が７μｍ以下、かつ平均粒子径が０．２〜０．９μｍであり、金属成分の含有量が０．０５質量％未満である球状無機酸化物粉体。この球状無機酸化物粉体を含む樹脂組成物。この球状無機酸化物粉体は、原料粉体またはそのスラリーを解砕・分散機能を有する装置を経由させて、キャリアガス中または溶媒中に分散させた直後に、連続的に高温火炎中に供給して、該火炎中で球状化させ、生成する球状微粒粉体を捕集することにより製造される。 （もっと読む）

【課題】従来技術を改善し、とりわけ、均一で高品質なパイロジェニック金属酸化物粒子を提供し、そして工業規模でパイロジェニック金属酸化物の側での均一な製品品質をもたらす生産条件を可能にすること。
【解決手段】少なくとも１つのバーナーノズル、反応材料のための給送装置、及び壁温度を５００℃より低い温度にまで設定できる反応器壁冷却装置を含む金属酸化物製造装置、製造方法により可能となる。 （もっと読む）

出発材料を蒸発および酸化させ、液滴の形態の金属溶融物および１つあるいはそれより多くの燃焼ガスを反応器の蒸発ゾーンに供給し、ここで金属溶融物を非酸化条件の下で完全に蒸発させ、続いて、蒸発ゾーンから流出した混合物をこの反応器の酸化ゾーンで、酸素含有率が少なくとも金属および燃焼ガスを完全に酸化するのに充分な供給された酸素含有ガス流と反応させる、金属酸化物粉末の製造方法。 （もっと読む）

酸化可能な出発材料を蒸発および酸化し、反応の後、反応混合物を冷却し、ガス状物質から粉末状固体を取り出し、金属と金属化合物からの金属成分が異なっており、且つ金属の割合が金属および金属化合物からの金属成分の合計に対して少なくとも８０質量％である、出発材料としての少なくとも１つの粉末状金属および少なくとも１つの金属化合物を、１つあるいはそれより多くの燃焼ガスと共に反応器の蒸発ゾーンに供給し、そこで金属および金属化合物を非酸化条件の下で完全に蒸発させ、続いて、蒸発ゾーンから流出した混合物をこの反応器の酸化ゾーン内で、酸素含有率が少なくとも出発材料および燃焼ガスを完全に酸化するのに充分な、供給された酸素含有ガス流と反応させる、混合金属酸化物粉末の製造方法。 （もっと読む）