国際特許分類[H01L21/02]の内容
電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 半導体装置,他に属さない電気的固体装置 (445,984) | 半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置 (183,847) | 半導体装置またはその部品の製造または処理 (125,986)
国際特許分類[H01L21/02]の下位に属する分類
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの (23,597)
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置 (97,574)
電位障壁または表面障壁をもたない装置
国際特許分類[H01L21/02]に分類される特許
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炭化珪素半導体装置の製造方法
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炭化珪素半導体装置の製造方法
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接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
【課題】被処理基板と支持基板を適切に接合する。
【解決手段】接合装置の接合部113は、被処理ウェハWを保持する第1の保持部200と、第1の保持部200に対向配置され、支持ウェハSを保持する第2の保持部201と、第2の保持部201に保持された支持ウェハSを覆うように設けられた鉛直方向に伸縮自在の圧力容器271を備え、当該圧力容器271内に気体を流入出させることで第2の保持部201を第1の保持部200側に押圧する加圧機構270と、第1の保持部200、第2の保持部201及び圧力容器271を内部に収容し、内部を密閉可能な処理容器290と、処理容器290内の雰囲気を減圧する減圧機構300と、を有している。
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資源再利用装置、処理装置群コントローラ、資源再利用システム、資源再利用方法、及び資源再利用プログラム
【課題】排熱等の使用済み資源を回収して生成した再利用資源を有効活用して、エネルギー消費量の低減も図る。
【解決手段】資源再利用装置6は、被処理体を処理する複数の処理装置それぞれから排出された使用済み資源を回収する資源回収部34,35,36と、 資源回収部で回収された資源から再利用資源を生成する資源生成部31,31,32と、複数の処理装置それぞれの種類と、被処理体の処理工程ごとに複数の処理装置で行われる処理内容と、複数の処理装置の稼働状況および稼働予定とに基づいて、複数の処理装置に再利用資源を振り分ける資源振分部37,38,39,40,41,42と、を備える。
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半導体装置、半導体装置の製造方法、および電子機器
【課題】アスペクト比の異なる複数の開口下部に接続される配線に対して最適な処理を施すことができるようにする。
【解決手段】半導体装置の製造方法において、第1の半導体基板と第2の半導体基板が接合された半導体基板の第1の開口の下部配線と、貫通接続孔と異なるアスペクト比の第2の開口の下部配線に対して、バリアメタル膜の成膜と、スパッタガスによる物理エッチングを同時に行うアンカー処理工程が含まれる。本技術は、例えば、固体撮像装置などの半導体装置に適用できる。
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ミニエンバイロメント搬送装置
【課題】小型、省エネルギーの除湿機を有するミニエンを提供する。
【解決手段】ミニエンにおいて、ウェーハ搬送を行う搬送室を内部に有するミニエン本体と、ミニエン本体の排気側と吸気側との間に設置され、ミニエン本体の内部を除湿する除湿機とを備えている。そして、除湿機は、吸着式除湿機からなり、水分を吸着する除湿材に供給する空気を冷却するプレクーラー27、アフタークーラー28と、水分を吸着する除湿材に供給する空気を加熱する排気ヒーター33、再生ヒーター23とを備え、プレクーラー27、アフタークーラー28と排気ヒーター33、再生ヒーター23との熱源にペルチェ素子41が使用されている。
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SOI基板の作製方法および貼り合わせ装置
【課題】半導体基板と、半導体基板とは異なる熱膨張係数を有する基板を用いてSOI基板を作製するにあたり、両基板を貼り合わせた後の加熱処理において、両基板の熱膨張係数の差異に起因して基板に破壊が生じたり、貼り合わせた両基板が剥がれてしまうことを抑制する。
【解決手段】半導体基板と、半導体基板とは異なる熱膨張係数を有する基板のうち、熱膨張係数の小さい基板の温度よりも熱膨張係数の大きい基板の温度を高くした状態で、両基板を貼り合わせる。また、両基板の温度を室温より高く、かつ、両基板を貼り合わせた後の加熱処理の温度よりも低くした状態で貼り合わせる。これにより、両基板を貼り合わせた後の加熱処理において両基板の膨張量の差を少なくすることができるため、基板の破壊や剥がれを抑制することができる。
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基板処理システム
【課題】基板処理装置の装置パラメータ設定戻し忘れや、設定変更漏れを防止し、基板のロットアウトの発生を未然に防止可能な基板処理システムを提供する。
【解決手段】基板を処理する基板処理装置から送信される装置状態を示すデータを収集し、前記基板処理装置を制御装置5により管理する群管理装置を少なくとも有する基板処理システムであって、前記制御装置は作業前の装置パラメータを退避させる退避手段6,14と、作業後の装置パラメータの各設定値を設定する設定手段6,15と、前記退避手段により退避させた装置パラメータと前記設定手段に設定された装置パラメータとを比較する比較手段6,16と、比較結果が不一致の場合に成膜処理の開始を禁止する判断手段6,18とを少なくとも有する。
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生産処理システム、生産処理の制御装置、生産処理の制御方法、及び、生産処理の制御プログラム
【課題】設備を複数の処理装置で共用して、エネルギーを削減することが可能な生産処理システム、生産処理の制御装置、生産処理の制御方法、及び、生産処理の制御プログラムを提供する。
【解決手段】生産処理システムは、生産管理用ホストコンピュータ1と、群コントローラ2と、共用コントローラ3と、複数の処理装置41を含む処理装置群4と、各処理装置41に共用される1または複数の設備51を含む共用設備群5と、搬送システム6とを備えている。処理装置41からの使用情報のみに基づいて処理装置41及び設備51を制御するのではなく、予め取得した使用計画を利用する。そのため、効率よく共用設備群5内の設備51を共用でき、結果として、消費エネルギーを低減できる。
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III族窒化物複合基板の製造方法
【課題】支持基板とIII族窒化物層との接合が良好なIII族窒化物複合基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本III族窒化物複合基板の製造方法は、目標とする基板径より大きい径の主面10mを有する支持基板10と、目標とする基板径より大きい径の主面30nを有しその主面30nから所定の深さの位置にイオン注入領域30iが形成されたIII族窒化物基板30とを、中間層20を介在させて貼り合わせ、III族窒化物基板30をイオン注入領域30iにおいてIII族窒化物層30aと残りのIII族窒化物基板30bとに分離することにより、支持基板10上に中間層20を介在させてIII族窒化物層30aが接合された第1のIII族窒化物複合基板1を形成し、第1のIII族窒化物複合基板1の外周部を除去することにより目標とする基板径に等しい径の主面を有する第2のIII族窒化物複合基板2を得る。
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