【課題】円筒状内部等へのプラズマ処理にあたって、簡素にかつ詳細にプラズマ状態を計測する方法とそれに用いる電流計測器を提供する。
【解決手段】基材内表面から外面に通じる孔４を設け、円筒状内表面に照射されたイオン３の一部は孔４を通過し、基材表面に平行に設置されたプローブ５に入射し、電流計６によって電流量を計測し、基材内表面とプローブの間隔と前記孔の中心線から電流が計測されたプローブの位置までの間隔との幾何学的関係から、荷電粒子による電流量および荷電粒子のプローブへの入射角を計測する。 （もっと読む）

【課題】真空シール部および配管接続部が簡単な構造であって、配管接続部のシール強度が大きく、メンテナンス容易である真空シールおよび配管接続機構を提供する。
【解決手段】真空容器１に挿通する第一のパイプ２の大気側端部に、流体を供給するための第二のパイプ２０をＯリング５２とともに接続し配管接続部を形成する。そして、第一のパイプ２をハウジング２１を介して真空容器１に固定し、Ｏリング５０、５１を用いて真空シール部を形成する。さらに、第二のパイプ２０の鍔部２４とハウジング２１とをスタッド２６により連結する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、コインパーキングや公営駐車場などの電気自動車用の充電装置やコンセントを備えた駐車場において、複数台の電気自動車に充電しようとする場合、充電容量が駐車場の充電可能容量以上になる場合がある。この場合ユーザは、電気自動車への充電も行う目的で駐車場に入ってきたにもかかわらず、先に入って来た電気自動車が、充電完了するか、または、出庫するまで待たなければならない。本発明は、このような未充電状態になるユーザを少なくすることを課題とする。
【解決手段】充電時間、充電容量など一定の基準を設定して、その充電制限内で順番に充電を行うようにして、未充電の電気自動車がないようにする。このように一定の基準で、ある単位量ごとに順番に充電を行うことにより、ユーザに対して、充電容量や走行距離に不公平が起こらないようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】スタッドに巻き付けられた補強紙よりも集合板の端部が外側に突き出ているため容器内に無駄な空間ができ、容器内に封入する絶縁油等の絶縁媒体を多く必要になるのでコストが増大するといった問題があった。また、突き出し電極を保護するための保護部材が厚かった場合、スタッドの移動が保護部材に妨げられ、スタッドの他端を集合板の穴に通すことが困難になり、作業性が悪くなるといった問題もあった。
【解決手段】集合板の端部の突き出し部が無くなることによってコンデンサ装置全体を小型化できるので、容器内に封入する絶縁油等の絶縁媒体の量を減らし、コストの低減を図ることができる。また、集合板の端部を折り曲げ等による直角な固定部を設け、平鋼等の集合部材を固定部にボルト等で容易に固定することができるようになり作業性が向上する。 （もっと読む）

【課題】搬送室の排気装置の排気能力に拘わらず、搬送室に接続可能な真空処理装置を提供する。
【解決手段】処理室１がターボ分子ポンプ１１を含む排気装置５０によって排気され、搬送室３１がターボ分子ポンプ３７を含む排気装置７０によって排気されている状態で仕切弁２２を開けて基板を搬送室３１と処理室１との間で搬送する。また、搬送室３１がメカニカルブースタポンプ４４およびロータリーポンプ４６によって数Ｐａに排気されているとき、処理室１を排気装置５０によって排気しながら仕切弁２２を開けて基板を搬送室３１と処理室１との間で搬送する。 （もっと読む）

【課題】高周波電圧やパルス電圧が印加される部材の温度計測において、高周波カットフィルターを使用しなくても、高周波電圧やパルス電圧印加に伴い発生するノイズを除去でき精度よく温度を計測できるシース型熱電対及びそれを用いた温度計測方法を提供すること。
【解決手段】第１のシース１と熱電対素線５の絶縁を保つために第１のシース１の内側に第１の絶縁体３を介して熱電対素線５を配置し、第１のシース１と第２のシース２の絶縁を保つために第１のシース１の外側に第２の絶縁体４を介して第２のシース２を配置し、第１のシース１に直流電源７を接続し、直流電圧を印加しながら温度を計測する。 （もっと読む）

【課題】引出しユニットをコントロールセンタ本体から引出すために特殊なハンドルが必要になり、引出しユニットを引出すための機構が複雑で高価になる。引出しユニットにハンドルや引出すための機構を設けるスペースが必要になり、引出しユニットに収納される機器の配置等に制限が生じる。また、引出しユニットに収納する機器が増えると重量が大きくなるが、引出しユニットを持つための把手がないため、引出しが困難になるといった問題があった。
【解決手段】コントロールセンタ内の両側面に設けられたユニット固定部材と、引出しユニットの両側面に設けられたユニット固定金具と、を備え、固定ボルトをユニット固定部材に取り付けることによってユニット固定金具が取り付けられた引出しユニットをコントロールセンタ内に固定する。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて電子放出特性を向上できる電子源を提供する。
【解決手段】下部電極２と表面電極７との間に電子通過層６を備える。電子通過層６は、下部電極２側の第１の電子通過部６ａと、表面電極７側の第２の電子通過部６ｂとからなる。第２の電子通過部６ｂは、下部電極２の厚み方向に沿って形成された多数の第２のグレイン３２ａと、各第２のグレイン３２ａそれぞれの表面に形成された薄い第１の絶縁膜３５と、互いに隣り合う第２のグレイン３２ａ間に介在する多数のナノメータオーダの微結晶半導体３３と、微結晶半導体３３それぞれの表面に形成され微結晶半導体３３の結晶粒径よりも小さな膜厚の第２の絶縁膜３４とを有する。第２の電子通過部６ｂの厚み方向において第２のグレイン３２ａが形成された領域３６と、第１の電子通過部６ａとは、結晶配向性が異なり、第２のグレイン３２ａの方が、第１のグレインに比べて柱状性が高くなっている。 （もっと読む）

【課題】電子通過層にピンホールが発生するのを抑制でき、従来に比べて電子放出特性を向上できる電子源を提供する。
【解決手段】下部電極２は、スリット２ｂにより複数の電極１２に分離する。電子通過層６は、各電極１２と基板１１の一表面とに跨って形成する。第２の電子通過部６ｂは、基板１１の厚み方向に沿って形成された多数の第２のグレイン３２ａと、各第２のグレイン３２ａの表面に形成された薄い第１の絶縁膜３５と、互いに隣り合う第２のグレイン３２ａ間に介在する多数のナノメータオーダの微結晶半導体３３と、微結晶半導体３３の表面に形成され微結晶半導体３３の結晶粒径よりも小さな膜厚の第２の絶縁膜３４とを有する。第２の電子通過部６ｂの厚み方向において第２のグレイン３２ａが形成された領域３６と、第１の電子通過部６ａとは、結晶配向性が異なり、第２のグレイン３２ａの方が、第１のグレインに比べて柱状性が高くなっている。 （もっと読む）

【課題】プラズマ電位を、プローブ計測器に頼ることなく、質量分析器を応用して、イオン種の分析と併せて計測でき、質量分析とプラズマ電位計測の双方を行える割りには安価に済むプラズマ電位計測方法及び装置を提供する。
【解決手段】プラズマ２中のイオンの質量分析を行える質量分析器３（又は１９）と該プラズマとの間に少なくとも二つの異なる電圧をそれぞれ印加して各電圧Ｖｂごとに、他の電圧の場合と同一のイオンを検出できる、該質量分析器に応じた質量分析条件Ｘを求め、得られた各電圧Ｖｂと質量分析条件Ｘのデータに、式Ｖｂ＝ａＸ² −Ｖｐ（Ｖｐはプラズマ電位）を回帰式として該回帰式を最小二乗法を用いてフィッティングすることにより、該式におけるａ及びＶｐをそれぞれ算出することで、該プラズマ電位Ｖｐを求め、併せてイオン種を同定するためのａを求めるプラズマ電位計測方法及び装置。該方法を実施するためのプログラム及びそれを記録した記録媒体Ｍ１（Ｍ２）。 （もっと読む）