【課題】ターゲット供給装置の性能を安定させる。
【解決手段】ノズル部８６の下方に設けられ、第１の開口領域が形成された電極８８と、ターゲット物質と電極８８との間に電圧を印加する電源と、を備える。電極８８の第１の開口領域は、ターゲット物質がノズル部８６から重力方向に滴下するときにターゲット物質が第１の導電部材とは離間して通過するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を出力する。
【解決手段】マスタオシレータシステムは、光共振器の一方の共振器ミラーとして機能するグレーティングと、前記共振器ミラー間の光路上に配置された光学素子と、前記光学素子の姿勢を調節することで前記光共振器内を進行するレーザ光の前記グレーティングへの入射角を調節する姿勢制御機構と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光生成装置において、ＥＵＶ集光ミラーによってＥＵＶ光が集光される位置のずれを低減する。
【解決手段】この極端紫外光生成装置は、ターゲット物質に少なくとも１つのレーザ光を照射してターゲット物質をプラズマ化することにより極端紫外光を生成する極端紫外光生成装置であって、ターゲット物質に照射される少なくとも１つのレーザ光が入射する開口部を有するチャンバと、チャンバが搭載された基準部材と、チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するターゲット供給装置と、ターゲット供給装置によって所定の領域に供給されるターゲット物質に少なくとも１つのレーザ光を集光してターゲット物質をプラズマ化するレーザ光集光光学系と、基準部材に固定され、プラズマから放射される極端紫外光を反射して集光する集光ミラーとを備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】 最も硬い結晶面（１１１）面でＣａＦ₂ 結晶をカットし、この結晶面を表面粗さの小さな高精度研磨を行うことにより、潜傷を少なくし、レーザ照射によるＣａＦ₂ 結晶の表面損傷を防止する。そして、Ｐ偏光のフレネル反射率を小さくし、真性複屈折による偏光純度の悪化を防止するＣａＦ₂ 結晶を用いたガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】 ガスレーザ装置は、レーザチャンバ１１と、レーザチャンバ１１の一方の側とその反対側に設置された光共振器と、レーザチャンバ内部に封入されたレーザガスと、レーザガスを励起する励起部と、レーザチャンバに設けられ、入射平面がフッ化カルシウム結晶の（１１１）結晶面に平行であり、励起されたレーザガスから発生するレーザ光の入射平面への入射角度は、２４．９°から６８．７３°の角度範囲内であり、フッ化カルシウム結晶が［１１１］軸を中心に回転され、真性複屈折が極小となる領域に設置される２つのウィンドウ１２，１３と、を備える ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安定したパルスレーザ光のバーストパルスを生成する。
【解決手段】レーザ装置は、所定繰返し周波数のパルスレーザ光を出力するマスタオシレータと、前記パルスレーザ光の光路上に配置される少なくとも１つの増幅器と、前記パルスレーザ光の光路上に配置される少なくとも１つの光シャッタと、前記光シャッタを開閉動作させるコントローラと、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザ光のスペクトル形状を高精度に制御する。
【解決手段】レーザ装置は、少なくとも３つの波長ピークを含むスペクトルを持つレーザ光を出力可能なマスタオシレータと、各波長ピークのエネルギーを制御可能な多波長発振制御機構と、前記レーザ光のスペクトルを検出するスペクトル検出器と、前記スペクトル検出器による検出結果に基づいて前記多波長発振制御機構を制御する制御部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光生成装置において、ターゲットの大きさやターゲットの位置の安定性を向上させる。
【解決手段】この極端紫外光生成装置は、ターゲット物質を貯蔵するターゲット貯蔵部と、ターゲット物質を出力するノズル部と、ターゲット物質との間に直流電圧が印加されたときにターゲット物質のターゲットを生成する電極と、ターゲットを検出して検出信号を出力するターゲット検出器と、内部で極端紫外光が生成されるチャンバと、ターゲット物質と電極との間に印加される直流電圧を調節する直流電圧調節器と、ターゲット貯蔵部に貯蔵されているターゲット物質に印加される圧力を調節する圧力調節器と、ターゲット検出器から出力される検出信号に基づいて、直流電圧調節器と圧力調節器との内の少なくとも１つを制御する制御装置とを備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】ターゲット供給装置の絶縁破壊を抑制する。
【解決手段】このターゲット供給装置は、ターゲット物質を出力するための貫通孔が形成されたノズル部と、ターゲット物質が通過するための貫通孔が設けられ、ノズル部を覆うように設けられるカバーと、カバーによって画定される空間を排気するための排気機構と、を備えてもよい。ターゲット物質を出力するための貫通孔が形成されたノズル部と、ノズル部に対向して配置された電極と、ターゲット物質と電極との間に電圧を印加するための電圧生成器と、少なくともノズル部と電極との間の空間を排気するための排気機構と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】モジュールの設置及びメンテナンスをしやすくする。
【解決手段】レーザ光を発振する発振器と、発振器を支持する支持部とを含む第１のモジュールと、レーザ光を伝送するビーム伝送器と、ビーム伝送器を支持する支持部とを含む第２のモジュールと、レーザ光を増幅する増幅器と、増幅器を支持する支持部とを含む第３のモジュールと、のうちの少なくとも２つのモジュールと、少なくとも２つのモジュールが載置されるフレームであって、少なくとも２つのモジュールの各々につき、支持部が載置されるマウントを含むフレームと、を含んでいてもよい。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を得る。
【解決手段】波長変換装置は、入射する第１のレーザ光を第２のレーザ光に波長変換して出力する波長変換部と、前記波長変換部を当該波長変換部の少なくとも１つの面側から冷却する冷却機構と、を備えてもよい。 （もっと読む）