【課題】構造を過度に複雑化することなく、干渉計部の微小な移動を可能とする干渉対物レンズの技術を提供することを課題とする。
【解決手段】干渉対物レンズ１０は、複数のレンズを内部に収納し、光学装置本体に取付けられる固定筐体１１と、干渉計部１３の少なくとも一部を保持し、固定筐体１１に対して摺動する摺動枠１５と、固定筐体１１に螺合する第１のピッチの雌ねじ１４ａと、摺動枠１５に螺合する第１のピッチと異なる第２のピッチの雌ねじ１４ｂと、を有する調整環１４と、を含んでいる。固定筐体１１と調整環１４と摺動枠１５が差動ねじ機構として機能することにより、干渉計部１３を光軸ＡＸの方向に微小に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】１つの縦モードおよび２つの縦モードが混在している状態で半導体レーザーからレーザー光が出射されているか否かを容易に検知することが可能な検知システムを得る。
【解決手段】検知システムは、固定鏡１５、移動鏡１６、半導体レーザー２２から出射されたレーザー光を分割し固定鏡１５および移動鏡１６の各々に反射したレーザー光を合成する光束分岐手段１４、光束分岐手段１４によって合成されたレーザー光を受光する受光手段２５、および制御部２６を備える。制御部２６は、検知システムが上記の検知を行なう際には、固定鏡１５に反射されるレーザー光と移動鏡１６に反射されるレーザー光との光路差が変化するように、移動鏡１６を移動させる。上記の検知は、受光手段２５により受光されるレーザー光の干渉信号がレーザー光のコントラストが変化することによって不連続になったか否かに基づいて行なわれる。 （もっと読む）

【課題】平行板ばねの一端側がより高い精度で平行な姿勢を維持しつつ振動可能な平行板ばねの固定構造を得る。
【解決手段】平行板ばねの固定構造は、平板６１，６２、移動部６３および基台部６４を含む平行板ばね６０と、位置Ｓ１，Ｓ２から基台部６４を挟持し、基台部６４に付与する所定の保持力によって平行板ばね６０の他端６０Ｂ側を固定する固定部５０，７０とを備え、平行板ばね６０の共振状態において、平行板ばね６０の他端側６０Ｂにおける一次の自由振動モードの節Ｎ１は基台部６４の内部に位置し、固定部５０，７０に固定された平行板ばね６０が共振することにより、基台部６４には回転モーメントＲＡ，ＲＢが発生し、固定部５０，７０は、回転モーメントＲＡ，ＲＢを含む仮想平面ＸＹ内において上記保持力が作用するように基台部６４に上記保持力を付与し、位置Ｓ１，Ｓ２は節Ｎ１を中心とする点対称の位置関係にある。 （もっと読む）

【課題】 少ないエネルギーで回転鏡を反復回動させて正確にセンターバースト位置に停止できる二光束干渉計の提供。
【解決手段】 光源Ａからの光を固定鏡２と一対の回転鏡３ａ、３ｂとに二分割し、これら固定鏡２並びに回転鏡３ａ、３ｂから戻った光を再び合成して干渉光を得る二光束干渉計であって、上下方向に沿って延設され、その上下に前記一対の回転鏡３ａ、３ｂを互いに平行な姿勢で保持する回転アーム４と、回転アーム４を回動可能に保持する支持軸５と、回転アーム４の下端部で支持軸５を支点として回転アーム４を反復揺動させる駆動源７と、回転鏡３ａ、３ｂからの光を反射して回転鏡３ａ、３ｂに戻す固定反射鏡９とからなり、回転アーム４の回動を停止して回転アーム４が自重により静止した位置で、二分割された固定鏡側の光と回転鏡側の光の光路差が０のセンターバースト位置となるように、上下の回転鏡３ａ、３ｂの位置が予め調整される構成とする。 （もっと読む）

【課題】安価で小型の位相シフト機構を提供すること。
【解決手段】従来の位相シフト機構でよく知られている、フィードバック制御機能付きピエゾステージの代わりに、（１）参照光を位相シフトする鏡にトリガ光を反射させ、（２）参照光よりもトリガ光が数倍多く位相シフトするように参照光とトリガ光の入射角を変え、（３）トリガ光で得られる干渉縞を検出する光センサーによってカメラのトリガ信号を作ることで、従来のフィードバック制御機能付きピエゾステージを使用することなく、安価・小型の位相シフト機構を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 参照光を適切に反射できて、反射された参照光と測定光とを確実に干渉させることができ、部品点数も削減できるレーザ干渉計を提供する。
【解決手段】 レーザ干渉計は、光源からの光が分割された一方の光であって被測定物に向けて出射される測定光と、光源からの光が分割された他方の光である参照光Ｌ３とが合成された干渉光に基づいて被測定物までの距離を測定するものであって、参照光Ｌ３を反射して測定光と合成させるコーナーキューブプリズム２１４を備える。 （もっと読む）

【課題】干渉計測システムなどの振動感知システムのために、データ取得中は音響ノイズを最小限にしながら、環境制御をするための方法およびシステムの提供。
【解決手段】計測機器を含む振動感知計測システムのために環境制御を提供するための装置であって、前記振動感知計測システムを囲う熱的に安定したミニ・エンバイロメントを提供するための手段と、音響ノイズおよび振動から生じる前記振動感知計測システムの測定誤差を最小限にするための手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】干渉計を利用した測長において、環境変動により測定光路上の光学窓の厚みが変動しても影響の小さい測長装置を提供する。
【解決手段】測定光路上に、内部が真空で両端に光学窓１０ｂ、１０ｃを有する真空管１０を配置する。各光学窓１０ｂ、１０ｃは、厚みが異なる２つの部分を有する構成とする。各光学窓１０ｂ、１０ｃの厚みが異なる部位へ２本の測長レーザ２ａ、２ｂの測定光を入射させ、測定ミラー５でそれぞれ反射させて、参照ミラー６による参照光と干渉させる。測長レーザ２ａ、２ｂによる２つの測長値を用いて、環境変動に起因する光学窓１０ｂ、１０ｃの厚み変化による光路長変動の影響を除去した測長を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】評価ユニットとたわみボディとの間に生じるノイズの影響を受けにくい、光ファイバー手段を用いた干渉法原理による、たわみ測定機器を提供すること。
【解決手段】第１の光ファイバー手段と第２の光ファイバー手段は、たわみボディにのみ配置されており、第１の光ファイバー手段および／または第２の光ファイバー手段は入力側で、ビーム源を備えた唯一の光供給ファイバーと接続されており、第１の光ファイバー手段および／または第２の光ファイバー手段は出力側で、評価回路を備えた唯一の光評価ファイバーと接続されている。 （もっと読む）

【課題】空気組成に空間的な分布があっても高精度な屈折率補正が可能な測長干渉計を提供する。
【解決手段】干渉計測用の多波長光源１０を用いて、参照面５２と被検面５３の間の光路長差を計測して該光路長差の幾何学的距離を算出する光波干渉計測装置において、分圧計測用光源２０と、多波長光源の波長における空気の分散を計測する分散干渉計３０と、分散干渉計における空気の成分気体の分圧を計測する第１分圧検出器４０と、多波長光源の波長における参照面と被検面の間の光路長差を計測する測長干渉計５０と、測長干渉計における成分気体の分圧を計測する第２分圧検出器６０と、第１分圧検出器の検出結果によって分散干渉計における成分気体以外の空気分散比を算出し、成分気体以外の空気分散比と第２分圧検出器の検出結果から測長干渉計の空気の分散を算出し、参照面と被検面の間の光路長差の幾何学的距離を算出する解析器７０とを有する。 （もっと読む）

【課題】個々の光学要素が理想的に位置決めされていない場合にも、測定エラーを回避でき、更に、基準反射器を軸にして測定光束を旋回できる光学式距離測定機器を提供する。
【解決手段】光源により発光された光束は、基準反射器の中心を軸にして旋回自在である。光源から届く光束を、光束分割要素を介して少なくとも一つの測定光束と基準光束に分割する。少なくとも一つの測定光束は、測定反射器の方向に進み、そして基準光束が、少なくとも一つの測定光束に対して同一線上を基準反射器の方向に進む。測定反射器により測定光束の逆反射が、そして基準反射器により基準光束の逆反射が、光束結合ユニットの方向に行われ、その時に少なくとも一つの測定光束が、測定反射器での反射の前後で基準反射器に対して対称に延伸する。光束結合ユニットが測定光束と基準光束を干渉させる。検知ユニットを介して、距離に関係する干渉信号を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】コスト及び測定時間を抑えるとともに、非球面を含む様々な表面形状を効率良く測定することが可能な干渉計を提供する。
【解決手段】光源２、コリメートレンズ３、フォーカシングレンズ４、及び空間フィルタ５と、空間フィルタ５からの光束を平行光にする第１ビームエキスパンダーレンズ６及び第２ビームエキスパンダーレンズ８と、第２ビームエキスパンダーレンズ８から射出された平行光を収束させる収束レンズ９と、光束を分割し、参照レンズ１２と被検レンズ１３に導くとともに、参照レンズ１２と被検レンズ１３からの反射光を重ね合わせて射出する
ビームスプリッター１１と、ビームスプリッター１１から射出された光を受光するスクリーン１４と、スクリーン１４が受光した光をＣＣＤカメラ１８で撮像する撮像光学系１７と、ＣＣＤカメラ１８から得られた画像（干渉縞）を取り込み、表面形状を解析する形状解析部１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】ステップ走査干渉計を、最適に機能させる方法を提供する。
【解決手段】いくつかの実施形態では、ステップ走査赤外線（IR）分光干渉計における路長差（遅延）は、ステップ変更に続く第1の期間について交流サーボ機構（サーボ）制御下で、および、第1の期間に続く第2の期間について直流サーボ制御下で維持される。データは、直流サーボ制御期間中および/または直流サーボ制御期間後に取得される。データ取得前に交流サーボ制御を停止することで、ディザー周波数ノイズを制限することができる。さもないと、ディザー周波数ノイズは、高速時間分解分光法（TSR）などの高速時間スケール用途で特に、対象となる信号に影響を与える可能性がある。鏡位置制御回路は、鏡位置ステップ、および、交流から直流への鏡サーボ制御の切り換えを制御する。 （もっと読む）

【課題】レーザ干渉計システムの計測精度を向上させる。
【解決手段】基板ステージ装置には、基板Ｐが載置された微動ステージ２１の位置情報を計測するためのＸ干渉計６０Ｘから照射されるレーザビームＬ１、Ｌ２の光路の上方にエアガイド装置７０が設けられている。エアガイド装置７０は、Ｘ干渉計６０Ｘから照射されるレーザビームＬ１，Ｌ２の上方に沿って配置されたガイド部材７１の下面に気体を噴出し、その気体は、コアンダ効果によりガイド部材７１の下面に付着した状態で、高速でレーザビームに平行に流れる。そして、高速で流れる気体に光路近傍の気体がベルヌーイ効果により引き寄せられることにより、その光路近傍の空気ゆらぎが抑制される。 （もっと読む）

【課題】被検物に対する被検面の形状測定データの座標を高精度に求めること。
【解決手段】マーク形成工程（Ｓ１）と、形状測定工程（Ｓ２）と、マーク検出工程（Ｓ３）と、座標算出工程（Ｓ４）とからなる干渉計測方法であり、Ｓ１のマーク形成工程では、被検物の被検面に基準マークを形成する。マーク検出工程では、形状測定工程で得られた形状測定データからエリアセンサの座標系を基準とする基準マークの位置を検出する。座標算出工程では、マーク形成工程にて形成された被検物の座標系を基準とする基準マークの位置情報と、マーク検出工程にて検出されたエリアセンサの座標系を基準とする基準マークの位置情報との対応関係を求める。この対応関係に基づき、形状測定工程により得られた形状測定データを被検物の座標系に変換する演算を行う。 （もっと読む）

【課題】回転機構の回転角度を適切に取得することができる追尾式レーザ干渉測長計の提供。
【解決手段】追尾式レーザ干渉測長計１は、第１の再帰反射体としての測定基準器２と、被測定物Ｗに取り付けられる第２の再帰反射体としてのターゲット３と、測定基準器２にレーザ光源から出射される光を導くとともに、測定基準器２にて反射された光を出射する本体部４と、測定基準器２を中心として本体部４を回転させる回転機構５と、回転機構５を制御する制御装置６とを備える。本体部４は、測定基準器２にて反射された光を受光し、受光した光の位置を検出する二次元ＰＳＤを備える。制御装置６は、回転機構５の回転角度を取得する角度取得部６３と、二次元ＰＳＤにて検出される光の位置に基づいて、角度取得部６３にて取得される回転機構５の回転角度を補正する角度補正部６４とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定用干渉計の測定出力を補正用干渉計の測定出力を用いて補正する際に、屈折率分布の影響による補正誤差を低減し、測定精度の向上を図ること。
【解決手段】レーザ光の干渉を利用したレーザ干渉測長器１００が、移動体３３の変位によって測定出力を生じる測定用干渉計５１と、距離一定の基準間隔における空気屈折率変化によって測定出力を生じる補正用干渉計５２と、を備えている。演算処理装置６０は、空気屈折率変化の影響を補正した測定対象変位量を演算する。補正用干渉計５２から照射される補正用レーザ光は、測定用干渉計５１を透過することにより、測定用干渉計５１から照射される補正用レーザ光と同一光路を辿り、測定用レーザ光が通過した空気屈折率の変化に対応した干渉光となり演算処理装置６０に出射される。 （もっと読む）

【課題】接着剤を用いずに剛体３３・３４と板ばね３１・３２とを連結できる構成とすることにより、干渉計や分光器を小型化しながら高精度な干渉による高分解能を実現する。
【解決手段】板ばね部３１・３２は、対向配置されており、互いに離間して配置される剛体３３と剛体３４との間の空間を介して対向する平板部３１ｐ・３２ｐをそれぞれ有している。剛体３３・３４は、各平板部３１ｐ・３２ｐよりも厚いので、駆動部３５による板ばね部３１の曲げ変形時に、固定された剛体３４に対して剛体３３を大きく変位させることができる。また、剛体３３・３４は、ガラスまたはシリコンで構成されているので、剛体３３・３４と板ばね部３１・３２との連結に、接着剤なしで連結する方法を用いることが可能となる。これにより、接着剤に起因する製造誤差を排除することができ、干渉計や分光器においては、従来のようなコーナーキューブの設置が不要となる。 （もっと読む）

【課題】サイクリックエラーの補正データを得るために、目標とする振動数及び振幅でレーザー干渉測長計を振動させることが可能であり、かつ静止時にはレーザー干渉測長計の位置を安定に保持できる光学部品保持装置を提供する。
【解決手段】光学部品保持装置１は、ベース２と、可動部３と、ヨーク１１、１２及び永久磁石１０からなる磁気回路と、磁気回路を切り替えるロータリーアクチュエータ１３と、を備える。レーザー干渉測長計１００を保持する可動部３は、板ばね４で支持されており、磁気回路の吸引力によって可動部３を吸引すると、板ばね４を変形させながら可動部３が変位し、球座５がベース上のストッパ６に突き当たる。ストッパ６の接触剛性で静止時の位置を安定に保持し、吸引力を解除すると、板ばね４の復元力で可動部３は振動し、サイクリックエラーの補正データを取得できる。 （もっと読む）

【課題】微調整機構なしで、組立・調整を簡便にし、干渉計の作業に注力することができる参照鏡筒ユニットを提供する。
【解決手段】第１鏡筒と第２鏡筒がはめ込み式に組み立てられている。参照光路レンズ、参照ミラー、補償素子がすべて第１鏡筒に固定されて一体となっている。参照ミラーを参照鏡筒ユニットの光軸に対して数度傾斜させて配置する。第１鏡筒が、ガイドを有し、そのガイドが、第２鏡筒に形成された溝に沿って移動して、第１鏡筒と第２鏡筒の相対位置が調整可能になっている。 （もっと読む）