【課題】有底の凹部の状態を非破壊で検査し、製造コストを低減させる。
【解決手段】本発明のウエハ５０のビア孔５１の検査方法は、有底のビア孔５１が表面に形成されたウエハ５０に被転写材料を塗布し、この被転写材料をビア孔５１内に充填させ、被転写材料を硬化させた後、ウエハ５０から離型させることでビア孔５１がビア像７１として転写されてなる被転写体７０を形成する転写工程と、ビア像７１の表面を観察することでその表面形状の画像データを作成する表面観察工程と、ビア像７１の画像データに基づいてビア像７１の形状を評価し、ビア孔５１内の状態を検査する検査工程とを備えたところに特徴を有する。 （もっと読む）

【課題】ロール紙のカール量を簡単な方法で測定することにより適正なカールの補正を行うことを目的とする。
【解決手段】ロール紙１０が収納されたカートリッジ１１０と、前記カートリッジ１１０内のロール紙１０の先端を検知する検知手段と、前記ロール紙１０を回転させて、前記ロール紙１０を搬送するための駆動手段と、前記検知手段により前記ロール紙１０の先端を検知した後に、前記駆動手段により前記ロール紙１０を回転させることにより、前記検知手段により再び前記ロール紙１０の先端を検知し、前記ロール紙１０の先端を検知してから、再び前記ロール紙１０の先端を検知するまでの前記ロール紙１０の搬送量に応じて、前記ロール紙１０のカール量を判定するカール判定手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、機動性に優れ、平坦でない計測基準面でも、高い精度で位置データを素早く計測できる位置計測装置を提供する
【解決手段】演算装置２００は、カメラ速度と最大荷重領域の速度とを対応付けた対応テーブルを記憶する記憶部２３０と、足裏圧力が最大となる最大荷重領域の時間変化により最大荷重ベクトルを生成する最大荷重ベクトル生成部２５１と、対応テーブルを参照して、最大荷重ベクトルが示す最大荷重領域の速度から、カメラ速度を算出するカメラ速度算出部２５２と、最大荷重ベクトルが示す最大荷重領域の方向を、カメラ方向として算出するカメラ方向算出部２５３と、カメラ速度と、カメラ方向とに基づいて、カメラ位置を算出するカメラ位置算出部２５４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電子部品の電極の導電性積層膜の膜厚を安価な装置で高速に測定する。
【解決手段】絶縁膜１上に上下に積層された導電層２，３（積層膜、例えばＮｉ層およびその上のＡｕ層）からなる半導体基板の電極に対して、段差を触針で測る場合やレーザ光を用いる場合など公知の方法で導電層２，３の厚さ（電極高さ）を測定するステップと、４端針法により電極の表面抵抗を測定するステップとを有し、二つのステップから得られた積層膜の膜厚（電極高さ）と表面抵抗値から、上下に積層した導電層２，３からなる電極の上部皮膜である導電層３の膜厚を計算式から算出する。 （もっと読む）

【課題】取り付けが容易で、一般的な使用環境でも測定し得るタイヤの変位測定器の提供。
【解決手段】変位測定器２は、タイヤのコードの変位を測定する軸方向距離センサ１４と、この軸方向距離センサ１４が固定される固定台６と、この固定台６から突出してタイヤ２４に差し込まれる取付ピン１０、１２とを備えている。好ましくは、この測定器２は、ストッパ１３を備えている。このストッパ１３は、上記取付ピン１０、１２のいずれかに取り付けられている。このストッパ１３は、取付ピン１０、１２の先端と固定台６との間に位置している。好ましくは、この測定器２は、上記固定台６とタイヤ２４との間に空間が形成されてタイヤ２４に取り付けられる。好ましくは、上記軸方向距離センサ１４は、タイヤ２４の屈曲点を通るタイヤ軸線に平行な直線上に位置させられてタイヤ２４に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】
非接触座標測定機の真直度の評価作業に時間が掛からないようにする。
【解決手段】
直方体形の基材１１と基材１１の長さ方向に間隔を介して固定された複数の球体１６，１７，１８，１９とからなる評価用標準器１を高精度の接触座標測定機で測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心の位置の真直度についての校正値Ａを得る第１の手順と、評価する非接触座標測定機２で評価用標準器１を測定して評価用標準器１の球体１６，１７，１８，１９の中心の位置の真直度についての測定値Ｂを得る第２の手順と、測定値Ｂから校正値Ａを引いた補正値Ｃから非接触座標測定機２の真直度を評価する第３の手順とを実行する。 （もっと読む）

【課題】金属コイルを固縛するバンドに跨って印字することなく、固縛後の金属コイルの表面に対して、印字レイアウトの制約を遵守しつつ情報を的確に印字できること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる印字装置１は、バンド１６によって固縛された金属コイル１５に印字する装置であり、検出部２および印字レイアウト決定部８を備える。検出部２は、金属コイル１５の印字対象領域の中から、バンド１６の位置等を含む印字不可領域と、この印字不可領域以外の印字可能領域とを検出する。印字レイアウト決定部８は、指示された制約を加味した印字レイアウトと印字可能領域との適合度を所定の評価関数によって評価して、この制約を遵守しつつ印字可能領域に文字群を印字できる印字レイアウトの候補を複数選出し、選出した複数の候補のうち、文字群の印字面積が最大となる候補を印字レイアウトとして決定する。 （もっと読む）

【課題】波長が１３．５ｎｍ付近の極端紫外(Extreme Ultra Violet：ＥＵＶ)光を露光光源とする反射型マスクの欠陥修正技術を利用した半導体集積回路装置の製造技術を提供する。
【解決手段】位相欠陥２１１が生じている開口パターン２０４の近傍の吸収層２０３に、開口パターン２０４よりも微細な開口径を有する補助パターン３０１を形成する。この補助パターン３０１は、ウエハ上のフォトレジスト膜に開口パターン２０４を転写する際の露光光量を調整するためのパターンである。 （もっと読む）

【課題】単純な機構を用いて、単一の動力装置により稼働することで、小型で汎用性が高く、死角や遅延を抑制することができる三次元走査機構を提供する。
【解決手段】動力装置からの動力が下部フランジ６，１０に伝達されることで、当該下部フランジ６，１０がスタッドボルト４の周囲を軸回りに回転し、当該下部フランジ６，１０の軸回りの回転力がリンク機構１，５を介して上部フランジ２，３に伝達されることで当該上部フランジ２，３はスタッドボルト４の外周面を軸回りに螺旋状に回転しながら上下方向に移動可能な構成となっている。 （もっと読む）

【課題】被計測面の表面形状の計測において、部分領域の計測データのつなぎ合わせ（スティッチ）に要する計算負荷の低減に有利な技術を提供する。
【解決手段】正六角形の外形を有する被計測面２の表面形状を計測する計測方法であって、前記被計測面２に対して、前記被計測面２の全体を覆うように、平行四辺形の同一の外形を有する複数の部分領域８を設定する第１ステップと、前記複数の部分領域８のそれぞれの表面形状を計測装置で計測し、前記複数の部分領域８のそれぞれについて計測データを取得する第２ステップと、前記複数の部分領域８のそれぞれの前記計測データをつなぎ合わせて前記被計測面２の表面形状を算出する第３ステップと、を有し、前記平行四辺形は、１２０度と６０度の内角を有し、一辺の最大の長さが前記正六角形の一辺の長さ以下。 （もっと読む）

【課題】 複数の３次元形状計測法、表面計測手法を相補的に組み合わせることで、測定対象の形状によらず高い計測精度を確保した３次元形状検査方法およびその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、検査対象の参照モデルの形状データである参照データを格納する格納部と、前記参照データから第１の形状データを取得する領域を特定する領域特定部と、前記領域特定部で特定した領域について前記第１の形状データを取得する第１の３次元形状センサと、前記領域特定部で特定した領域以外の領域について前記検査対象の前記第１の形状データとは異なる第２の形状データを取得する第２の３次元形状センサと、前記第１の形状データと前記第２の形状データとを統合する相補的統合部とを備えることを特徴とする３次元形状検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】蒸気発生器の挿通孔の閉塞率を容易に把握することができる閉塞率評価システム、閉塞率評価方法及び閉塞率評価プログラムを提供する。
【解決手段】本発明の挿通孔の閉塞率評価システムは、伝熱管と、伝熱管を通すための挿通孔が形成された管支持板とを備え、挿通孔が伝熱管が挿入された際にその周方向に形成される複数の隙間部を有する熱交換器に適用され、管支持板は長軸と短軸との比率が１．０以上２．０以下となる範囲内で３次元で楕円形状の模式図で表示され、各々の管支持板は重ならないように直列に配置され、３次元の楕円形状で表示した模式図を挿通孔の閉塞率を調査して得られた挿通孔の閉塞率の値に応じて色分けして表示する可視化処理を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】単孔用ツールと複孔用ツールを併用し、多数の箇所を最短時間又はこれに近い短時間で検査することができる多点検査装置と方法を提供する。
【解決手段】単孔用ツール１４ａと、複孔用ツール１４ｂと、ツールのいずれかを孔２に対して位置決めする位置決め装置１２と、各孔２の中心位置と干渉物４の位置とを記憶する記憶装置１８とを備える。（Ａ）各孔２の中心位置と干渉物位置を表示し、（Ｂ）指定した孔２の検査順が干渉物位置を通過する場合に、その前後を別の列として扱い、（Ｃ）検査順の各列に含まれる孔数ｍが、複孔用ツール１４ｂで同時に検査する孔数ｋより小さい場合に、単孔用ツール１４ａの使用と、検査順に基づく孔２の順を決定し、（Ｄ）ｍ≧ｋの場合に、複孔用ツール１４ｂの使用と、検査順に基づくｋ個毎の孔２の順を決定し、かつｋより少ない最後の１又は複数の孔を複孔用ツール１４ｂで同時に検査する孔を決定する。 （もっと読む）

【課題】従来の較正方法と比べてあまり時間がかからない較正を適用するより正確な位置測定システムを提供する。
【解決手段】位置測定システムは、第１部分ＥＧおよび第２部分ＥＳと、計算ユニットと、を備える。第１部分および第２部分は、第２部分に対する第１部分の位置を表す位置信号を提供することによって第２部材に対する第１部材の位置を決定する。計算ユニットは、位置信号を受信するための入力端子を含む。計算ユニットは、使用中、位置信号に変換を適用して第２部材に対する第１部材の位置を表す信号を得るように、および、変換に調整を適用して第１部分または第２部分あるいは両方のドリフトを少なくとも部分的に補償するように、構成される。調整は、第１部分または第２部分あるいは両方のそれぞれの所定のドリフト特性に基づく。所定のドリフト特性は、第１部分および／または第２部分の１つ以上の基本形状を有する。 （もっと読む）

【課題】細管などの狭い部分の奥深くにまでスタイラスを挿入することができるように小型化することが可能な測定部を備えた表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】表面粗さ測定装置１０は、材料表面９０に接触する触針１２８を有するスタイラス１２０と、スタイラス１２０を材料表面９０に並行に対して走査するキャリッジ１１０と、スタイラス１２０に設けられ、触針１２８の上下動に応じて上下動する光反射部材１３０であって、該上下動の方向に湾曲した反射面を有する光反射部材１３０と、第１端面１４２が光反射部材１３０の反射面に面するように第１端部１４２がキャリッジ１１０に固定された細長い導光部材１４０であって、第２端面１４４から入射された光を第１端面１４２まで導き該第１端面１４２から出射して反射面に照射し、反射面で反射して第１端面１４２に入射する反射光を第２端面１４４まで導く導光部材１４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】路面の凹凸評価或いはそれに必要な計測を行うことが出来、路面の凹凸評価或いはそれに必要な計測を行う車両の走行速度の変動に対処することが出来る路面凹凸評価システムの提供。
【解決手段】車両（１）に搭載された路面凹凸評価装置（１０）と、当該車両（１）の車速を計測する速度センサ（４）と、当該車両（１）の垂直方向（上下方向）加速度を計測する加速度センサ（６）と、衛星（７）からの信号に基づいて当該車両の現在位置の情報（位置情報）を取得する装置（ＧＰＳレシーバー８）を備えている。 （もっと読む）

【課題】隠れ点を計測できるという有関節ＣＭＭの便利さと、より広い空間を計測できるというレーザトラッカの利点とを併せ実現する有関節座標計測機再配置方法を提供する。
【解決手段】本システム１００では有関節座標計測機（ＣＭＭ）２００及びレーザトラッカ４００を使用し、そのＣＭＭ２００上にはレーザトラッカ４００と対をなすレトロリフレクタを配置する。共通の基準座標系による座標値にＣＭＭ２００による計測値及びレーザトラッカ４００による計測値を変換できるためＣＭＭ２００を移動させることができる。更に、レーザトラッカ４００では計測できない隠れ点を有関節ＣＭＭ２００等で計測することができる。 （もっと読む）