【課題】製造コストが低く、特性、膜厚分布及び形成膜の密着性が良好であり、格子形状の精度も高い光電エンコーダのスケール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光電式エンコーダのスケールは、導電性で表面に光反射面が形成されたベース材と、ベース材の表面にめっき法によって形成され、ベース材に所定のピッチで配列された光吸収性の黒色格子とを備える。この発明によれば、製造コストが低く、特性、膜厚分布及び形成膜の密着性が良好であり、格子形状の精度も高い光電エンコーダのスケール及びその製造方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】スケールからの反射光による像のコントラストを高くし光検出器の誤検出を防ぐ。
【解決手段】下地部材に第１領域と第２領域とが交互に配置された反射型光学式スケールであって、下地部材に第１領域と第２領域とが交互に配置され、第１領域は、波長λの光の反射率が第２領域よりも高く、第１領域は、下地部材の上に配された反射部材と、反射部材の上に配された第１材料で構成された層と、第１材料で構成された層の上に配された第２材料で構成された層と、で構成され、第２領域は、下地部材の上に配された第２材料で構成された層で構成され、第１材料および第２材料は、光について透過性を有し、第１材料は、反射部材および第２材料よりも光の屈折率が低く、第２材料は、下地部材よりも光の屈折率が低く、第１材料および第２材料の光学膜厚は、第１領域の方が第２領域よりも光の反射率が大きくなるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】モータ軸の回転量を検出するための検出ユニットにおいて、エンコーダとしての信頼性を簡便に高める。
【解決手段】入射光の光量に対応した出力信号を出力する複数の受光素子が所定方向に配置されている受光素子アレイと、符号版の少なくとも一部に光を照射する光源と、を備え、複数の受光素子は、光の光量分布に応じて所定方向と垂直な幅方向における実効領域の幅が変更されてそれぞれ設けられている。 （もっと読む）

【課題】 位置合わせに用いるマークからの光量を多くして検出しやすくする位置検出装置、及び、それを用いたインプリント装置を提供する。
【解決手段】 本発明の位置検出装置は、第一方向と、第一方向と異なる第二方向にそれぞれ周期をもつ第一回折格子と、第１回折格子の第二方向の周期と異なる周期を第二方向にもつ第二回折格子と、を斜入射照明する照明光学系と、第一回折格子と第二回折格子とからの回折光を検出する検出光学系と、を備え、検出した回折光に基づいて第一回折格子と第二回折格子との第二方向に関する相対的な位置を検出する位置検出装置であって、照明光学系はその瞳面において、第一方向に、複数の極を有する光を照明することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光源とスケールと受光素子の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、空間的に光学的特性が周期的に変化するスケールスリット１２２を有するスケール１１０と、スケール１１０に向けて光を発光する複数の発光部１４２を有する発光ユニット１４０と、発光部１４２から発光されスケールスリット１２２を経由した光を受光する受光部１７２を有する受光ユニット１７０を有している。発光ユニット１４０と受光ユニット１７０は共に基板１９２に搭載されてヘッド１９０を構成している。スケール１１０とヘッド１９０（受光部１７２）は、スケールスリット１２２の光学的特性の変化方向に沿って相対的に移動可能である。スケール１１０は、発光部１４２に対向した光入射部１１８と、受光部１７２に対向した光出射部１２０と、光入射部１１８から入射した光を光出射部１２０へ導光する導光部を有している。 （もっと読む）

【課題】受光部における誤検出を防止可能なロータリスケールを具備する位置検出装置、ロータリスケール、および位置検出装置を備える液体吐出装置を提供すること。
【解決手段】被検出物３１の位置検出を行う位置検出装置であり、発光部６２および受光部６４を備え、これらの間に空間部６１３を備えるフォトセンサ６０と、空間部６１３の間に差し掛かるロータリスケール５１と、ロータリスケール５１に設けられ、第１透光部５３ａおよび第１遮光部５３ｂが交互に形成される位置検出パターン５３と、ロータリスケール５１に設けられ、第２透光部５４ａおよび第２遮光部５４ｂが交互に形成され、通過する光量が位置検出パターン５３を通過する光量よりも少なくなる汚れ検出パターン５４と、フォトセンサ６０を移動させて、位置検出パターン５３の検出状態と汚れ検出パターン５４の検出状態とを切り替えるセンサ位置切替機構７０と、を具備している。 （もっと読む）

【課題】測定精度の悪化や安定性・再現性の悪化を招くことなく、空間分解能の向上及びコストの低減を図ることができる光ファイバ特性測定装置及び方法を提供する。
【解決手段】光ファイバ特性測定装置１は、所定の変調周波数で変調したレーザ光を射出する光源１１と、光源１１からのレーザ光をプローブ光Ｌ１及びポンプ光Ｌ２として光ファイバ１４の一端及び他端からそれぞれ入射させる入射手段（光分岐器１２、光変調器１３、パルス変調器１５、方向性結合器１６）と、光ファイバ１４から射出される光を検出する光検出器１７と、光検出器１７から出力される検出信号Ｄ１のうち、光ファイバ１４に設定された測定点近傍の光を検出して得られた検出信号を通過させることによって切り出しを行うタイミング調整器１８ａと、タイミング調整器１８ａを通過した検出信号Ｄ２を同期検波するロックインアンプ１８ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】受光面積を増大することで反射光を有効活用できるようにする。
【解決手段】インクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒを、光源１３０を間に挟んで回転ディスク１１０の円周方向に分割して配置し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを、光源１３０に対し回転ディスク１１０の半径方向における外側及び内側の両方に配置する。これにより、第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２については連続して配置しつつ、光源１３０の周囲を４方向から囲むようにインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒとアブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを配置することができる。 （もっと読む）

【課題】受光面積を増大することで反射光を有効活用できるようにする。
【解決手段】インクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒを、光源１３０を間に挟んで回転ディスク１１０の円周方向に分割して配置し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを、光源１３０に対し回転ディスク１１０の半径方向における外側及び内側の両方に配置する。これにより、第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２については連続して配置しつつ、光源１３０の周囲を４方向から囲むようにインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒとアブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを配置することができる。 （もっと読む）

【課題】受光素子ごとの受光光量を均一することで検出精度を向上できるようにする。
【解決手段】反射型エンコーダ１００は、回転軸ＡＸ周りに回転可能に配置され、インクリメンタルパターンＩＰ、及び、第１及び第２シリアルアブソリュートパターンＡＰ１、ＡＰ２が円周方向に沿って形成された回転ディスク１１０と、光源１３０、複数のインクレ用受光素子１４１を含むインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒ、及び、複数の第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２を含む第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを備え、回転ディスク１１０と対向して配置された基板１２０とを有し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕは、基板１２０において、光源１３０を中心とする同心円状の光量分布の等高線ＣＬに沿って各アブソ用受光素子１５１，１５２が配置されている。 （もっと読む）

【課題】検出位置の多寡にかかわらず検出対象の位置検出の精度を確保することができる光学式位置検出装置を提供する。
【解決手段】レバー等の検出対象に連動して変位する遮光部材２１を複数の発光素子１２から受光素子１３への光路を遮る態様で設けた。この遮光部材２１には、各発光素子１２からの光に対する受光素子１３での受光の有無の組合せが当該遮光部材２１の位置毎に異なるように設定された特定の遮光パターンを形成した。このため、検出対象に連動して遮光部材２１が各位置に変位した場合、受光素子１３からの電気信号に基づき生成される論理信号の組合せはすべて異なる。当該論理信号の組合せに基づき遮光部材２１、ひいては検出対象の位置が特定可能となる。また、受光量の変化に基づき検出対象の位置を特定するものと異なり、検出精度が検出位置数の多寡の影響を受けることはない。 （もっと読む）

【課題】受光素子間の検出感度のバラツキをなくすことができるエンコーダを提供する。
【解決手段】光源部１に相対移動可能に配置され移動方向に沿ってスリット２ｂが形成されたスケール部２に向けて光源部から測定光を照射し、測定光の明暗に基づいて変位量を検出するエンコーダにおいて、光源部を所定の測定周期で所定の発光時間をもって点滅させる光源制御部と、移動方向に沿って配列形成され、スリットを通過した測定光を受光し、受光量に応じた受光電流Ｉ_１〜Ｉ_８を発生する複数の受光素子３と、受光素子ごとに設けられ、受光電流の電荷を保持する電荷保持部４と、保持された電荷を電荷量に応じた電圧に変換する電荷電圧変換部５と、電荷電圧変換部に電荷保持部を順次切り替え接続するスイッチＳＷ１と、電荷電圧変換部の出力電圧をデジタル化するＡ／Ｄ変換器６と、Ａ／Ｄ変換器の出力に基づいて変位量を求める信号処理部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】受光素子に十分な光量を確保させることができ、小型化することができる光学式エンコーダの提供。
【解決手段】光学式エンコーダ１は、目盛り２１を有するスケール２と、スケール２に光を出射する光源３１、光源３１から出射される光をスケール２に伝達するスケール側レンズ３２、及びスケール側レンズ３２を介してスケール２にて反射される光を受光する受光素子３３を有するヘッド３とを備える。光源３１は、スケール側レンズ３２、及び受光素子３３の間に配設されるとともに、光源３１と、スケール側レンズ３２との間の距離は、スケール側レンズ３２の焦点距離ｆｓとされている。光源３１の光軸Ｌｓｒｃは、目盛り２１の読取方向では、スケール側レンズ３２の光軸Ｌｓと一致し、目盛り２１の直交方向では、スケール側レンズ３２の光軸Ｌｓから所定距離Ｄだけ離間している。 （もっと読む）

【課題】簡単な計算で、スケールの汚れや格子の欠陥により発生する位置検出誤差を低減する。
【解決手段】所定周期の格子１２が形成されたスケール１３と、該スケール１３に対して相対変位可能であると共に光源１４及び受光器３０を備えた検出ヘッド２０と、を備えた光電式エンコーダにおいて、前記受光器３０の受光素子３４がＮ相（Ｎは３以上の整数）の明暗信号を出力するようにされると共に、該Ｎ相明暗信号をそれぞれデジタル化したＮ相のデジタル信号に、周期固定の正弦波関数を最小２乗法によりフィッティングして、前記Ｎ相明暗信号の位相を検出する際に、該Ｎ相明暗信号の周期Ｐが前記Ｎ相デジタル信号のデータ点間隔ｗの整数倍になり、受光素子全長Ｍが該Ｎ相明暗信号の周期Ｐの整数倍になるようにする。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて、受光部における反射光の利用効率が向上可能な反射型の光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光源１０１と、反射スケール１３０と、光検出部１６０と、演算部１７０とを備え、反射スケールにおける第１反射部１１１，１２１からの反射光を、光検出部の第１受光部１４１，１５１にて受光し、第１反射部と異なる傾斜をつけた第２反射部１１２，１２２からの反射光を第２受光部１４２，１５２にて受光し、演算部はその２つの出力を元に演算する。 （もっと読む）

【課題】ハンドリング及び作業性に優れる光電式エンコーダ及びそれを用いた真空装置を提供することである。
【解決手段】光電式エンコーダは、測定軸方向に所定ピッチで形成された回折格子１１を有するスケール１０と、スケール１０に照射された光の反射光を伝搬する第１ファイバ２０を備える検出ヘッド３０と、第１ファイバ２０を伝搬した反射光を集光する第１レンズ６０，６２と、集光された反射光を受光し、電気信号に変換する受光素子５４とを備える。 （もっと読む）

【課題】リニアスケールの汚れを検出できる構成を備えた位置検出装置を提供すること。
【解決手段】キャリッジの位置を検出するリニアエンコーダは、発光部と、発光部からの光を受光する受光部と、発光部と受光部との間に配設されるリニアスケール３１とを備えている。リニアスケール３１は、キャリッジの位置を検出するために、発光部からの光を透過する第１透光部３１ｆおよび発光部からの光を遮断する第１遮光部３１ｅがキャリッジの検出範囲Ｌ内で交互に形成される位置検出パターン３１ｂと、リニアスケール３１の汚れを検出するために、発光部からの光を透過する第２透光部３１ｈおよび発光部からの光を遮断する第２遮光部３１ｇが交互に形成される汚れ検出パターン３１ｃとを備えている。 （もっと読む）

【課題】回折効率の安定性を向上させた光学格子を有するスケールを提供する。
【解決手段】スケールの基板１７の上にタングステンからなる第１の金属層２１を形成し、この上にクロムからなる第２の金属層２３を形成する。レジスト２７をマスクにしてかつ第１の金属層２１をエッチングストッパにして、第２の金属層２３を選択的に除去することにより、光学格子１９を形成する。光学格子１９は位相格子であり、その側壁角度が８０度より大きく、且つ、９０度未満にされている。 （もっと読む）

【課題】このような符号化装置の性能と分解能に対する制約を軽減する。
【解決手段】反射型画像符号化装置は、光を放射する複数のエミッタ１０１と、前記複数のエミッタからの光を反射させる拡散型反射性符号器１２０と、前記符号器から前記反射した光の反転画像を形成する結像レンズ１３５と、前記結像レンズから前記反転画像を受ける検出器１４０と、前記複数のエミッタと前記検出器との間に設けられた隔壁１７０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】検出器がアブソリュートトラックよりも狭くても、有利な個別パターン様相をアブソリュートトラック内に形成する際に大きな自由度を与える。
【解決手段】エンコーダ構造は、照明部と、アブソリュートトラックを備えたアブソリュートスケールパターンと、幅寸法ＹＤＥＴＡＢＳを有する検出器を備える。アブソリュートトラックパターンは、幾何学的に合同なサブトラックを備え、このサブトラックは、その１つが幅寸法ＹＤＥＴＡＢＳだけ移動すると、名目上一致するように配置されている。サブトラックは、ＹＤＥＴＡＢＳより小さな寸法ＹＣＥＮＴだけ分離され、［ＹＣＥＮＴ＋２（ＹＴＯＬ）］がＹＤＥＴＡＢＳより大きくなるような寸法ＹＴＯＬを持つことができる。検出器端部が、それぞれ合同サブトラック上に名目上位置されているので、検出信号は、パターン内の検出器の横方向ミスアライメントに不感である。 （もっと読む）