【課題】結晶ウェハにより製造した３次元湾曲型Ｘ線反射レンズによる分光光学系により測角器を必要としない小型化に適した蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源とＸ線結晶分光器とＸ線検出器によってなる蛍光Ｘ線分析装置であって、１方向の長さが25mm以上300ｍｍ以下で板状単結晶からなる３次元形状に湾曲した１枚のＸ線結晶分光器と、位置敏感かつエネルギー分解能力のあるＸ線検出器の少なくとも何れか一方を用いることにより、結晶分光器の角度走査をすることなくＸ線の分光波長帯域の蛍光Ｘ線分析を行う。 （もっと読む）

【課題】測定時間を短くすることができ、且つ簡易な構成で完全分光を実現することができるＸ線分光検出装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線分光検出装置１Ａは、Ｘ線若しくは電子線の照射によって該試料１０表面における直径１００μｍ以下の微小分析点Ｐから放射された特性Ｘ線２を波長毎に分光して検出する。Ｘ線分光検出装置１Ａは、分光結晶２０及び二次元Ｘ線検出器３０を備える。分光結晶２０は、微小分析点Ｐから放射された特性Ｘ線２を受ける平坦な回折反射面２０ａを有し、特性Ｘ線２に含まれる波長成分のうち該回折反射面２０ａへの入射角に応じた波長成分を回折反射することにより、特性Ｘ線２を波長毎に分光する。二次元Ｘ線検出器３０は、分光結晶２０において回折反射した特性Ｘ線２を受ける受光面３０ａを有し、該受光面３０ａに入射した特性Ｘ線２の入射位置および強度に関するデータを生成する。 （もっと読む）

【課題】 露光マスクを必要とせず、溝のアスペクト比の高い回折格子を容易かつ高精度で製造することができるＸ線タルボ干渉計用回折格子及びその製造方法、並びにＸ線タルボ干渉計を提供する。
【解決手段】紫外線透過性の基板２２上に、金属製のＸ線吸収部１０ｂ、２０ｂが一方向に沿って所定間隔で畝状に複数形成され、隣接するＸ線吸収部の間の溝部に紫外線硬化したフォトレジスト壁２６が介装され、Ｘ線吸収部は、基板上の金属膜２ｂｘを切削して形成され、溝部の側壁の表面粗さがＪＩＳ Ｂ０６０１で規定された算術平均高さＲａで０．１μｍ以下である切削金属層２ｂと、該切削金属層上にフォトレジスト壁を鋳型とする電鋳によって積層される１層以上の電鋳層４ｂ、６ｂとを備えているＸ線タルボ干渉計用回折格子１０、２０である。 （もっと読む）

【課題】所定の光軸にマルチキャピラリＸ線レンズを設置する際、保護ケースの中心軸に合わせて設置することが可能なマルチキャピラリＸ線レンズ用の保護ケースを提供する。
【解決手段】本発明に係るマルチキャピラリＸ線レンズ用保護ケースは、マルチキャピラリＸ線レンズの周囲を覆う保護管１０と、保護管１０の外周に設けた外管１２と、該外管１２の内側の保護管１０の傾きを調整する調整手段としての調整ねじ１３と、有することを特徴とする。本発明の保護ケースは、調整ねじ１３を用いて外管１２の内側の保護管１０の傾きを調整することで、保護管１０の内部のマルチキャピラリＸ線レンズ７の実効軸Ａ₁と外管１２の中心軸Ａ₄の相対的傾きを調整することができる。そのため、調整ねじ１３を用いて予めこれらの軸を調整しておけば、最も外側に位置する外管１２の中心軸Ａ₄を、光軸を合わせる際の基準にすることができる。 （もっと読む）

【課題】隣接する小グリッドのグリッド部の間隔が、Ｘ線画像検出器の１画素のサイズ以下となるように、複数枚の小グリッドを配列する。
【解決手段】第２のグリッド１４は、小グリッド２１、２２により構成されている。小グリッド２１、２２は、グリッドとして機能するグリッド部２１ａ、２２ａと、グリッド部２１ａ、２２ａの外周に設けられグリッドとして機能しない非グリッド部２１ｂ、２２ｂとを有している。小グリッド２１、２２は、一方のグリッド部及び非グリッド部と他方の非グリッド部及びグリッド部とが互いに重なり合い、ｚ方向から見たときにそれぞれのグリッド部と非グリッド部との境界が一致し、かつ２つのグリッド部２１ａ，２２ａが連続して１枚の大きなグリッド部を構成するように接合されている。 （もっと読む）

【課題】蛍光X線二次元分析のための、空間分解能の高いＸ線用二次元分光素子及び二次元分布測定装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線用二次元分光素子は分光素子を二次元に配置し、１つの面がＸ線入射面、他方の面がＸ線出射面となり、内面にＸ線分光用多層膜をもつ複数のセルがＸ線入射面からＸ線出射面に延びているので、Ｘ線入射面から入射した二次元X線の回折X線が入射Ｘ線の位置分解能を保ったままＸ線出射面から出射し、高い空間分解能の二次元分布画像を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】人力で保持可能で、測定位置の画像確認が可能な可搬型Ｘ線回折計測装置を提供する。
【解決手段】
可搬型Ｘ線回折装置を、平行なＸ線を試料に斜め方向から照射するＸ線照射手段と、このＸ線照射手段によりＸ線が照射された試料で回折したＸ線のうち平行な成分の回折Ｘ線を集光して検出する回折Ｘ線検出手段と、回折Ｘ線を検出した前記回折Ｘ線検出手段から出力される信号を処理する信号処理手段とを備えて構成し、平行な連続波長のＸ線を試料に照射し、このＸ線が照射された試料で回折した回折Ｘ線から平行な成分を抽出してこの抽出した回折Ｘ線の平行な成分を集光し、この集光した回折Ｘ線をエネルギー分散型の検出素子で検出し、この検出素子で検出して得た信号を処理するＸ線回折方法とした。 （もっと読む）

【課題】構造が簡易で、大視野化が容易となり、さらにはコスト低減が可能になるＸ線撮像装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１０は、必要量のＸ線を、格子２０に向けて照射する。格子２０は、格子２０に向けて照射されたＸ線を回折することにより、格子２０の自己像を形成する。Ｘ線画像検出器３０は、格子２０により回折されたＸ線を検出する。かつ、Ｘ線画像検出器３０は、自己像が形成される位置又はその近傍に配置されている。Ｘ線源１０と格子２０との間隔R₁と、格子２０とＸ線画像検出器３０との間隔R₂とは、所定の条件を満足している。さらに、画像検出器３０における空間分解能と、自己像の周期とも、所定の条件を満たしている。 （もっと読む）

【課題】測定対象物へのＸ線の照射密度を高めた場合にも、バックグラウンドとなる蛍光Ｘ線に影響されることなく回折Ｘ線のピークを正確に判別することができるＸ線応力測定装置を提供する。
【解決手段】金属試料表面にＸ線を照射するＸ線照射手段と、金属試料表面から発せられる回折Ｘ線を検出するＸ線検出手段と、回折Ｘ線の波長変化から金属の応力を演算する演算手段とを備えたＸ線応力測定装置において、Ｘ線検出手段と金属試料表面との間にＴｉフィルタとＣｌ化合物フィルタとを備えたことを特徴とする。なおＴｉとＣｌ化合物とを含有するフィルタを用いてもよい。ＴｉフィルタはＦｅの蛍光Ｘ線を低減させ、Ｃｌ化合物フィルタはＴｉの蛍光Ｘ線を低減させる。 （もっと読む）

【課題】 高アスペクト比な金属微細構造体を高精度で容易に得ることができる微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】 微細構造体の製造方法は、Ｓｉ基板に第１の絶縁膜を形成する第１工程と、第１の絶縁膜の一部を除去してＳｉ表面を露出する第２工程と、露出されたＳｉ表面からＳｉ基板をエッチングして凹部を形成する第３工程と、凹部の側壁及び底部に第２の絶縁膜を形成する第４工程と、凹部の底部に形成された第２の絶縁膜の少なくとも一部を除去してＳｉの露出面を形成する第５工程と、Ｓｉの露出面より凹部に金属を電解めっきにより充填する第６工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】量産品で安価なＸ線管を用いて、高いＸ線管電圧にて高出力線量の白色Ｘ線を発生させると共に、白色Ｘ線からローパスフィルタ手段により低エネルギー域の軟Ｘ線を高線量で抽出して試料に照射可能なＸ線測定装置を実現する。
【解決手段】Ｘ線源から出射される軟Ｘ線を含むＸ線を試料に照射し、試料の透過線量をＸ線検出器で検出するＸ線測定装置において、
前記Ｘ線源より円錐状に出射されたＸ線ビームを、スライスした扇状ビームＸ線に生成するコリメータと、
前記扇状ビームＸ線を所定の角度で入射し、反射した前記軟Ｘ線を前記試料に照射する反射ミラーと、
を備える。 （もっと読む）

【課題】より多くの元素を同時に効率よく検出することができ、スペクトルのエネルギー分解能を高めることができる分光結晶１３、波長分散型Ｘ線分析装置１０および元素分布測定方法を提供する。
【解決手段】分光結晶１３は、所定の基準直線を含む基準平面に対して垂直に交わる円弧を連ねた形状を成す内側面を有している。内側面は、基準直線に沿って試料１から検出器１４に向かって、円弧の曲率半径が小さくなるとともに、円弧と基準平面とが交わる円弧交点と、基準直線と円弧含有平面とが交わる基準交点とを結ぶ線分と、基準交点から試料１側の基準直線との成す角が小さくなるよう構成されている。分光結晶１３は、基準直線が試料１と検出器１４とを結ぶ軸に一致するよう配置されている。検出器１４が、Ｘ線を検出する線状または面状の検出部１４ａを有し、検出部１４ａが試料１と検出器１４とを結ぶ軸に対して垂直を成すよう配置されている。 （もっと読む）

【課題】 異物起因のコントラストのみを明確に判別して過検出及び誤検出を防ぐこと。
【解決手段】 測定試料に含まれる一つの元素のＸ線吸収端より低く、かつ、検出元素のＸ線吸収端より高いエネルギーの特性Ｘ線を試料に照射するＸ線管球１１と、Ｘ線が試料を透過した際の透過Ｘ線を検出するＸ線検出器１３と、透過Ｘ線の透過像からコントラスト像を得る演算部１５と、を備えたＸ線透過装置及びＸ線透過方法とする。 （もっと読む）

【課題】反射型小角散乱や回折がなされたＸ線強度を高分解能で測定でき、試料表面の微細構造を簡便に、かつ正確に計測することができるＸ線散乱測定装置およびＸ線散乱測定方法を提供する。
【解決手段】試料表面上の微細構造の計測に適したＸ線散乱測定装置１００であって、Ｘ線を発生させるＸ線源１４０と、発生したＸ線を連続して反射する第１のミラーおよび第２のミラーと、反射されたＸ線が照射される試料Ｓを支持する試料台１１０と、試料表面で散乱したＸ線を検出する２次元検出器１７０と、を備え、第１のミラーは、発生したＸ線を、試料表面に平行な面内で２次元検出器１７０上に集光し、第２のミラーは、第１のミラーで反射されたＸ線を、試料表面上に垂直な面内で試料表面に集光する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線ホログラフィ測定方法に関し、回折Ｘ線ホログラフィ測定と透過Ｘ線ホログラフィ測定の両方の測定を可能にする。
【解決手段】 測定部を有する基材の一の面に対する他の面にＸ線を吸収するＸ線吸収膜と、前記測定部に対応する前記他の面に、前記Ｘ線吸収膜を貫通する第１の開口と、前記Ｘ線吸収膜と前記基材と前記測定部位に隣接する領域とを貫通する第２の開口と、前記第２の開口の上方に設置される前記結晶片とを有する測定用試料の一の面に対する他の面からＸ線を照射し、前記測定部からの回折光と前記結晶片からの回折光を前記一の面側に位置する検出面で重ね合わせ、前記重ね合わせにより形成された干渉縞をホログラムとして分析する。 （もっと読む）

【課題】 試料から軟Ｘ線分光装置に向う軟Ｘ線をできるだけ多く回折格子に入射させて、検出される軟Ｘ線の強度を高めた軟Ｘ線分光装置を提供する。
【解決手段】 入射する軟Ｘ線を回折する回折格子と、回折格子によって回折された軟Ｘ線を検出する検出器とを備える軟Ｘ線分光装置おいて、回折格子に入射する軟Ｘ線の中心光線を挟み、回折格子に垂直で中心光線を含む平面に平行かつ中心光線に垂直な方向の曲率が０の一対のミラーを備えて、回折格子の傍らに向って進む軟Ｘ線を、ミラーによって反射して回折格子に入射させる。 （もっと読む）

【課題】低エネルギＸ線の散乱による被検査物内の異物像のコントラストの低下を防止し、簡単な操作により、様々な材質の被検査物のそれぞれに良好なコントラストの異物像を得ることができ、ひいては異物の検出性能を常に良好なものとすることのできるＸ線検査方法および装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器１からのＸ線を被検査物Ｗに照射し、その被検査物Ｗを透過したＸ線の空間線量分布から、被検査物内の異物の有無を判定するに当たり、Ｘ線発生器１と被検査物Ｗの間に、当該被検査物Ｗの材質と同じ材質、もしくは、当該被検査物Ｗの材質とＸ線に対して等価な物質からなるＸ線フィルタＦを介在させることで、被検査物Ｗ（正常部位）を透過しやすいＸ線で、かつ、被検査物Ｗ内で散乱しにくいエネルギ帯のＸ線を選択的に被検査物Ｗに照射することを可能とし、被検査物Ｗ内でのＸ線の散乱による異物像のコントラストの低下を防止する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線放射器／検出器システム内の信号雑音を低減する。
【解決手段】共通クロックが、Ｘ線放射器／検出器システムの少なくとも２つのサブシステムに接続され、Ｘ線放射器／検出器システム内の少なくとも２つのサブシステムに関連付けられる複数の雑音源が共通クロックと相関できるようになる。複数のタップを有する少なくとも１つの適応フィルタが、所望の信号及び相関雑音推定信号を受信すると共に誤差信号を出力するように構成される。更新アルゴリズムが、出力される誤差信号を最小にするように複数のタップの値を更新するために用いられ、それにより、Ｘ線放射器／検出器システム内の少なくとも１つの可変フィルタのそれぞれにおいて複数の雑音源のうちの少なくとも１つが実質的に除去され、Ｘ線放射器／検出器システムの出力のより正確な表示が与えられる。 （もっと読む）

【課題】Ｈｅよりも重い入射イオンを用いて、１ＭｅＶ以下の低い入射イオンエネルギーで、軽元素を対象として被測定物深さ方向の濃度分布を、高感度かつ高精度で計測できるイオンエネルギーの分光方法と装置を提供することである。
【解決手段】イオンビームを被測定物に照射して散乱または反跳されるイオンのエネルギースペクトルを偏向電磁石およびイオン検出器を用いて計測するイオンエネルギーの分光方法で、イオンビームが、分光対象とする元素よりも質量が大きい元素のイオンであり、偏向電磁石の出側に偏向電極を設けて、散乱または反跳されたイオンの軌道を曲げて分離し、かつイオン検出器の前面にイオン分離用薄膜を設けて、イオン検出器に入射するイオンを分離して選別するようにした。それにより、１ＭｅＶ以下の低い入射イオンエネルギーの領域で、軽元素の濃度分布を高感度かつ高精度で計測することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 磁場偏向型エネルギー分析器及びイオン散乱分光装置に関し、簡単な機構によりエネルギースペクトルのノイズレベルを低減して、高分解能で分析試料の構成元素を分析する。
【解決手段】磁場偏向型エネルギー分析器の壁面に、壁面に入射したＨｅ或いはＨのいずれかの並進エネルギーを減衰させる突起を設ける。 （もっと読む）