【課題】接触安定化、高密度化および薄肉化のいずれについても高いレベルで達成し得る電気貫通部を備える異方導電性部材を提供する。
【解決手段】板状の弾性ソケットと、弾性ソケット内に個別に保持されて弾性ソケットの厚さ方向に電流を通過させる複数の電気貫通部とを備える異方導電性部材であって、電気貫通部は、電気的に接続しつつ弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動可能な第一および第二の可動部材を備え、これらの可動部材が近接するように外力が付与されたときにこれらの可動部材を離間させる弾性復元力が弾性ソケットに生じるように、これらの可動部材は、少なくとも近接した状態では弾性ソケットの一部を圧縮可能に配置され、これらの可動部材の相対位置の変動を可能とする摺動接触構造は可動制限手段を備え、弾性ソケットにおける電極接触部側の主面に設けられた剛性材料からなる電極側板状部材を異方導電性部材はさらに備える。 （もっと読む）

【課題】電極から確実に酸化膜及び有機物を除去することができる、半導体装置の検査用ソケットを提供する。
【解決手段】第１方向に沿って伸びる貫通孔を有する基材と、前記第１方向に沿って伸び、先端が前記貫通孔の一端から突き出るように前記貫通孔に配置され、検査時に先端で被検査対象装置に設けられた被検査装置電極に押し当てられる、第１ピン部と、前記第１ピン部が前記被検査装置電極に押し当てられたときに、前記第１ピン部が前記基材に対して前記第１方向に沿って変位するように、前記第１ピン部を弾性的に支持する、弾性支持機構と、前記第１ピン部が変位したときに、前記第１ピン部を回転させる、第１ピン部用誘導機構とを具備する。前記第１ピン部は、２重構造であり、被検査装置電極に押し当てられたときに何れか一方の電極が回転する。 （もっと読む）

【課題】 検査プローブの先端を正確に検査点に接触させることができる基板検査用プローブヘッドを提供する。
【解決手段】 小径の位置決めプレート６８の位置決め通孔６８ａにより同軸検査プローブ５０の水平方向の移動が規制されるので、同軸検査プローブの第１プローブ３０が同軸端子２０の外導体２６へ接触することを防ぐことができる。第１保持プレート６４Ｃの第１通孔６４ｃと第２保持プレート６４Ａの第２通孔６４ａとが中心が鉛直線上に位置するように配置されており、同軸検査プローブ５０が鉛直上に移動し、座屈が生じないので、同軸検査プローブ５０を正確に検査点に接触させることができる。 （もっと読む）

【課題】インピーダンス整合が崩れることを抑制できる検査用同軸コネクタ及びプローブを提供することである。
【解決手段】第１の外部導体及び第１の中心導体を有する同軸ケーブルに接続されて用いられると共に、第２の外部導体及び第２の中心導体を有する相手方レセプタクルに着脱自在な検査用同軸コネクタ１。ハウジング２５は、上端及び下端のそれぞれにおいて第１の外部導体及び第２の外部導体に接続される。プローブ１０は、ハウジング２５内を上下方向に延在している棒状部材であって、第１の中心導体及び第２の中心導体に接続される。プローブ１０は、第１の中心導体を保持するソケット１４と、ソケット１４と共に一直線に並ぶように、上端においてソケット１４を螺子構造により保持する先端部１５であって、下端において第２の中心導体に接触する棒状の先端部１５と、を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減、耐久性の向上、および接触抵抗の低減を実現する。
【解決手段】筒状の第１端子４０と、第１端子４０に挿通された第２端子５０とを備え、第１端子４０の先端部および第２端子５０の先端部５０ｂをプロービング対象体（導体パターン１０１）にプロービングさせて電気信号を入出力可能に構成され、第２端子５０は、ピン状の単一の部材で構成されると共に、プロービング対象体に対するプロービング時に先端部５０ｂに加わる押圧力に応じて第１端子４０の内部において中央部５０ｃが湾曲するように弾性変形可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】外側導体の両端部に設けられた接触部で発生する接触力を均等にできる同軸プローブを提供する。
【解決手段】同軸プローブ１は筒状の外側導体１０と外側導体の内側に配置される中心導体２０とを備える。外側導体は、筒状本体１１と、筒状本体の両端部の内側に位置し、筒状本体の軸線方向に動くことのできる２つの外側接触部１２Ａ，１２Ｂとを有している。また、同軸プローブは、２つの外側接触部の間に配置される絶縁性のホルダ３０Ａ，３０Ｂと、ホルダとともに２つの外側接触部の間に配置されるバネ４０とを備えている。ホルダとバネ４０は、筒状本体に対して軸線方向に移動可能となっている。 （もっと読む）

【課題】 薄いウエハでも撓みなく支持でき、測定される半導体素子が切り替わった場合でも、ウエハの裏面電極と接触するプローブ針を移動させる必要のない半導体測定装置及び測定方法並びに同軸プローブ針ユニットを提供すること。
【解決手段】 試験対象ウエハを支持する支持面を備えたウエハチャックと；ウエハチャックを上プローブ針に対して相対的に上下方向及び水平方向に移動させる移動機構と；ウエハチャックに保持され、前記支持面内でマトリックス状に配置されている複数の下プローブ針と；上プローブ針と電気的に接続されるとともに、複数の下プローブ針の各々と選択スイッチを介して接続されるテスタ装置と；測定位置にある半導体素子に対応する下プローブ針がテスタ装置と電気的に接続されるように選択スイッチを切り換える切換装置とを有している半導体測定装置及び測定方法、並びに同軸プローブ針ユニットを提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】２ＧＨｚ以上の高周波半導体素子の高周波測定に際して、インピーダンス整合を必要とする被測定物の評価を容易とし、かつ高周波においても高精度な測定を実現することのできる高周波測定用プローブを得る。
【解決手段】被測定物となる高周波半導体素子１の高周波信号をコプレナ伝送モードで通過させるための信号線電極２および接地電極３を有するコプレナ伝送線路と、コプレナ伝送線路内に形成されたチップキャパシタ４（インピーダンス整合回路）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】電界感知プローブを交換したり、高空間分解能の電界感知プローブと高感度の電界感知プローブとを隣接して配置する必要がなく、簡素なプローブ構成により高感度で探知範囲の広い電界検知と、高空間分解能で詳細な電界検知とを適宜行うことを可能とし、短時間で容易に所期の電界検知を実現する。
【解決手段】電界感知プローブ１０では、同軸ケーブル１を、第１の導体１１、第１の絶縁層１２、第２の導体１３、第２の絶縁層１４、及び第３の導体１５を備えた多層同軸構造とし、切り替えスイッチ２の選択により、第１の導体１１及び第２の導体１３（グランド電位）で高空間分解能の第１のプローブが、第２の導体１３及び第３の導体１５（グランド電位）で高感度の第２のプローブが構成される。 （もっと読む）

【課題】従来と同等の呼び込み量を、より小型化したコンタクトプローブで可能にするとともに、コンタクトプローブとレセプタクルの接触特性の安定化を図ることにある。
【解決手段】コンタクトプローブを、レセプタクルとの軸心のずれ状態で押し下げたとき、中心導体の外周に進退自在に設けた筒状インシュレータの先端の逆円錐台状の呼び込み突部を、前記レセプタクルのすり鉢状凹部の斜面壁部に接触しつつ摺動して、前記呼び込み突部が前記すり鉢状凹部の底部に達するまで呼び込む工程と、呼び込みの終了後、前記レセプタクルの外周の筒状シェルを押し下げ、このシェルの先端に設けられ外周縁側に広がったガイド部を前記レセプタクルのシェルの外周縁部に接触しつつ摺動してこのレセプタクルのシェルの全外周面に前記ガイド部を接触して両者の軸心を一致せしめる工程と からなる。 （もっと読む）

【課題】 同軸プローブピンもしくは同軸ケーブルの端部で剥き出しになっている外部導体が変形したりばらけたりしないようにする。
【解決手段】 内部導体２と、その周囲に設けられた絶縁体３と、この絶縁体３の外周に設けられた接着層４と、複数本の線材からなり接着層４により絶縁体３の外周に固定した状態で設けられた外部導体５とを備えて同軸プローブピン、もしくは同軸ケーブルを構成した。接着層４は、例えば、絶縁体３の外周に、該絶縁体３よりも低い温度で溶融する材料からなる接着テープ４０を巻回し、その外周に外部導体５を巻回した後、加熱処理により接着テープ４０を溶融させて一体化することで形成する。 （もっと読む）

【課題】プローブなどの同軸構造の端子においてワイピングができる同軸コネクタを提供する。
【解決手段】ランド１５１を有する基板２に取り付けられる同軸コネクタ１は、中心端子５２およびそれを囲む筒形の外端子６１による同軸構造を有する同軸端子５１と、上記同軸端子５１を収容するハウジング１１と、上記外端子６１の軸方向に沿って移動可能で且つ上記ランド１５１と接触される筒形コンタクト８１と、上記ハウジング１１から突出させるように上記筒形コンタクト８１を付勢する付勢部材７１と、上記付勢部材７１の付勢力に抗して上記筒形コンタクト８１が上記ハウジング１１へ押し込まれるときに上記筒形コンタクト８１を上記軸を中心に回転させる機構とを含む。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減できる同軸プローブ構造を実現する。
【解決手段】プローブ本体と信号伝送プローブ用ソケットとを有する信号伝送用同軸プローブと、この信号伝送用同軸プローブの周囲のソケット保持用ブロックに設けられプローブ本体と接地電位用プローブ用ソケットとを有する複数の接地電位用プローブとを具備する同軸プローブ構造において、ソケット保持用ブロックを金属材料に替わって、表面が金属メッキされた第１の樹脂ブロックとこの第１の樹脂ブロックの一面に一面が固定された第２の樹脂ブロックとを有するソケット保持用ブロックに構成した同軸プローブ構造である。 （もっと読む）

【課題】導電針の引き抜き強度を充分確保することができるとともに、細径化を図りながら高い高周波領域での使用を可能とするプローブピンを提供する。
【解決手段】導電針２と、導電針２との間に隙間を介して同軸心に配置された外部導体４と、隙間に設けられた絶縁体３と、を備え、外部導体４の外周面に、絶縁外皮として螺旋巻きされたテーピング層５を配備するとともに、このテーピング層５を、1/2ラップ巻きして形成してある。 （もっと読む）

【課題】 細径化を図りながら高い高周波領域での使用を可能とするプローブピンを提供する。
【解決手段】 導電針２と外部導体４との隙間に設けられた絶縁体３に、導電針２に外周面を覆って設けられた内層体３ａと、外部導体４の内周面を覆って設けられた外層体３ｂと、内層体３ａから径方向外側に向けて放射状に突出して外層体３ｂの内周側に連結する複数の放射状リブ３ｃとを備え、放射状リブ３ｃを導電針２の長手方向に連続して設ける。 （もっと読む）

【課題】広帯域にわたってプローブ自身が被測定対象に対して影響を与えずに被測定対象の信号を正確に伝送する波形測定装置用のプローブを実現することにある。
【解決手段】被測定対象の電気信号を波形測定装置に伝送するプローブに改良を加えたものである。本プローブは、被測定対象に電気的に接続され、ゲインの周波数特性をもつ先端部と、先端部からの電気信号を伝送するケーブル部と、ケーブル部からの電気信号を入力端子から入力し、先端部のゲインの周波数特性を補償して出力端子から波形測定装置に出力するアンプ部とを有する。そしてアンプ部は、負入力端子への電気信号が直流的には絶縁され出力端子がアンプ部の出力端子に接続されるオペアンプを有する反転増幅回路と、アンプ部の入力端子と出力端子との間に直列に接続された抵抗と、直列に接続された抵抗同士の接続点の電圧に基づいて、反転増幅回路のオペアンプの負入力端子に入力バイアス電流を出力するバイアス回路とを備えたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、試験プローブの挿入方向（Ｉ）に沿ってコネクタ（３０）と嵌合する試験プローブ（１）に関する。試験プローブは、ハウジング（２）と、ハウジングに支持されると共にハウジングから離れる方向に延びる外側接触部（８）と、少なくとも１個の接触保証手段（１９）とを具備する。外側接触部は、弾性変形可能な外側付勢手段（２１）により支持されると共に試験プローブの挿入方向にほぼ直交する方向に偏位するよう構成されている。接触保証手段は、外側接触部をハウジングに導電接続する。部品点数を減少させるために、接触保証手段は、少なくとも１個の接触部（１９ｃ）を有し、接触部は、弾性的に偏位することによりハウジングに向かって導電的に押圧される。
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【課題】同軸プラグを抜き差ししても同軸プローブの位置がずれ難いプローブコネクタを提供する。
【解決手段】プローブコネクタ１は、軸端子１６２および周端子１６３を含む同軸プラグ１６１と基板２とを接続する。プローブコネクタ１の同軸プローブ５１は、同軸プラグ１６１の軸端子１６２および基板２と電気的に接続される中心端子５２と、中心端子５２と同軸とされて、周端子１６３および基板２と電気的に接続される外端子６１とを含む。外端子６１は、中心端子５２を囲む筒状に形成されて、周端子１６３と嵌合される外導体６２と、外導体６２に対する機械加工によって外導体６２から外へ突出したアンカ６３と、機械加工により外導体６２に形成された加工孔６８と、加工孔６８を塞いで外導体６２と電気的に導通する導電カバー９１とを含む。 （もっと読む）

【課題】高周波伝送に対応可能なプローブカードを提供する。
【解決手段】信号用プローブ２とＧＮＤ用プローブが設けられたプローブ基板と、上記プローブ基板と固定され、外部から信号が入力されるメイン基板４を備え、上記各プローブは、電極に接合される接合部６と、上記接合部から延在するアーム部７と、上記アーム部の先端に設けられた先端部８とから構成されるプローブカードであって、上記プローブ基板に設けられた支持体によって上記アーム部が保持され、上記信号用プローブは、上記アーム部に、上記接合部から上記支持体に保持される部分までを取り囲む外部絶縁層１０が設けられ、上記アーム部と上記外部絶縁層の間には空気層が設けられ、さらに、上記外部絶縁層は薄膜導体で覆われ、ＧＮＤ導体が上記外部絶縁層を覆う薄膜導体の先端と後端の２箇所に接合され、先端に接合されたＧＮＤ導体と後端に接合されたＧＮＤ導体がＧＮＤ電極に接続されている。 （もっと読む）

【課題】遅延時間を調整することが可能なプローブを提供すること。
【解決手段】第１プローブ部１０Ａおよび第２プローブ部１０Ｂは、第１内部導体１１と第２内部導体２１との電気的接続、第１外部導体１３と第２外部導体２３との電気的接続、第１内部導体１１および第２内部導体２１と第１外部導体１３および第２外部導体２３との絶縁を保持した状態で、第１プローブ部１０Ａと第２プローブ部１０Ｂとを互いに挿入するための複数の空間が設けられた調整領域を有する。 （もっと読む）