【課題】空間光を簡易な構成で効率的に光ファイバに入力可能な空間光測定用光ファイバ変換器を提供する。
【解決手段】本発明の空間光測定用光ファイバ変換器は、集光鏡と、集光鏡の焦点にその先端が配置され集光鏡で反射された光が入射される光ファイバプローブと、を備える。集光鏡は、例えば放物面鏡や楕円面鏡である。楕円面鏡の場合、光ファイバプローブは、楕円面鏡の一方の焦点にその先端が配置され、楕円面鏡の他方の焦点に配置された点光源からの光が、楕円面鏡で反射されて前記光ファイバプローブに入射される。 （もっと読む）

【課題】 光干渉素子の干渉特性の調整を行うことなく、光干渉素子に入力される入力光の特性を精度よく測定することができる、光干渉素子の入力光の特性測定方法を提供する。
【解決手段】 光干渉素子の入力光の特性測定方法は、入力カプラと、前記入力カプラに接続された複数の半導体アームと、前記半導体アームの出力を干渉させる出力カプラと、を備える光干渉素子の入力光の特性測定方法であって、前記複数の半導体アームのうち、１つを除く他のすべての半導体アームに光吸収特性を生じさせる制御を行う第１ステップと、前記第１ステップの後に、前記出力カプラから出力される前記入力光の特性を測定する第２ステップと、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数のＭＺ干渉計を含む光変調器における個々のＭＺ干渉計の特性を評価する方法を提供する。
【解決手段】光変調器１は、第１のＭＺ干渉計２と第２のＭＺ干渉計３を含み第１のＭＺ干渉計２は分波部５と、２つのアーム６，７と合波部８と電極を含む。２つのアームは分波部と接続され、合波部は２つのアームと接続され、電極は２つのアームにバイアス電圧を印加でき、電極は２つのアームに変調信号を印加でき、ＭＺ干渉計に駆動信号を印加し、ＭＺ干渉計の２つのアームから出力される光の位相差をπかあるいは０となるようにバイアス電圧を調整し、バイアス電圧が調整された後ＭＺ干渉計の出力強度のうち２次成分のサイドバンド成分の強度を用いてＭＺ干渉計の特性を評価する。 （もっと読む）

【課題】画像処理装置および干渉計測定システムにおいて、干渉計の画像表示のための装置構成を簡素化し、干渉縞計測の作業性を向上することができることができるようにする。
【解決手段】画像処理装置１は、アライメント用画像を撮影するアライメントカメラ６と、干渉縞画像を撮影する干渉縞カメラ７とを接続し、これらから送信される画像データを伝送する接続端子部４と、伝送された画像データのうち、アライメント用画像および干渉縞画像のいずれかを選択するカメラ切替スイッチ３Ｂと、選択された画像データによる画像を表示する表示部２と、干渉縞画像の画像データを解析する画像処理部と、カメラ切替スイッチ３Ｂによって干渉縞画像の画像データが選択されたときに、画像処理部によって解析された解析結果を干渉縞画像とともに表示部２に表示する装置制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定体からの光の波面を高精度、且つ、短時間で測定できる測定装置を提供する。
【解決手段】被測定体からの光と第１の参照面からの光との第１の干渉パターン及び前記第１の参照面からの光と第２の参照面からの光との第２の干渉パターンを検出面に形成する光学系と、前記検出面に形成される前記第１の干渉パターン及び前記第２の干渉パターンを検出する検出部と、第１の干渉パターンに基づいて算出される波面から前記光学系に起因する波面誤差を分離して第１の波面を算出する算出部とを有し、前記算出部は、第２の干渉パターンに基づいて、前記第１の参照面からの光の波面の変化量を算出し、前記波面の変化量が許容範囲外の場合には、前記第１の波面から前記波面の変化量に相当する波面誤差を除去して前記被測定体からの光の波面を算出し、前記波面の変化量が許容範囲内の場合には、前記第１の波面を前記被測定体からの光の波面として算出する。 （もっと読む）

【課題】筐体部が取付けられる位置や向きにより、光学部品の位置を調整する操作部が操作し難くなるのを抑えた干渉計を提供する。
【解決手段】光源からの光束を被検面及び参照面に照射し、被検面からの反射光及び参照面からの反射光によって形成される干渉縞の像を取得する干渉計であって、光軸Ｃ１上に配置された複数の光学部品と、複数の光学部品のうち、少なくとも１つの光学部品８を内部に納める筒状の筐体部１０と、筐体部に納められた少なくとも１つの光学部品を筐体部内で移動させ、少なくとも１つの光学部品と他の光学部品との相対的な位置関係を調整する調整移動機構１９と、筐体部の外周部に全周にわたって設けられ、調整移動機構の移動量を操作する操作部１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】使用者が使用環境下で簡便に実施できる斜入射干渉計における測定感度の校正方法を提供すること。
【解決手段】対象物３０を傾斜ステージ１５に載置して第１干渉縞を取得後、所定の角度だけステージ１５Ａを傾斜させて、その傾斜角度の変化量σを取得するとともに、第２干渉縞を取得する。第１干渉縞の像中の２点の各位相φ1Ａ，φ1Ｂの差である第１位相差Δφ1、および、第２干渉縞の像中の２点の各位相φ2Ａ，φ2Ｂの差である第２位相差Δφ2を算出し、第１位相差Δφ1と第２位相差Δφ2との差分ΔΦを取得する。２点間の距離Ｌおよび傾斜角度の変化量σに基づく傾斜前後の対象物面上の２点の高低差の変化量ΔＨを算出し、変化量ΔＨを差分ΔΦで叙した算出値を用いて測定感度である縞感度Λを校正する。 （もっと読む）

【課題】干渉計装置のシステム誤差に起因するシステム固有のアス収差成分やコマ収差成分を解析的に求めて、被検レンズの波面収差の測定結果を補正し得るようにする。
【解決手段】被検レンズ５を測定光軸Ｃに対し、互いに９０度だけ離れた２つの回転位置に保持して各々の測定を行い、得られた第１および第２の収差関数をザイデル収差に対応した各収差関数に分類し、その中でアス収差に対応した第１および第２アス収差関数を求める。第１アス収差関数と第２アス収差関数とを足し合わせたものを再びザイデル収差に対応した各収差関数に分類し、その中でアス収差に対応した第３アス収差関数を求め、その２分の１に対応したシステム固有のアス収差関数に基づきシステム固有のアス収差成分を求める。 （もっと読む）

【課題】製造された各々の顕微干渉計においてクランプ部の傾き較正を容易に行うことができ、かつクランプ部の傾き調整精度に係るトレーサビリティ体系を確立し得る顕微干渉計クランプ部の傾き較正方法および傾き較正用治具を得る。
【解決手段】基準フェルール４１を用いてクランプ部２０の傾き較正がなされた標準顕微干渉計１０により、副基準フェルール５０の先端面５４の頂点偏心量を測定し、その測定された値を固有頂点偏心量の値として副基準フェルール５０に付す。次に、固有頂点偏心量の値が付された副基準フェルール５１を用いて、先端面５４の擬似頂点と中心点との位置のずれ量を測定し、該ずれ量と固有頂点偏心量との差に基づき、被較正顕微干渉計１０Ａのクランプ部２０Ａの傾きを較正する。 （もっと読む）

【課題】 干渉計測装置がもつシステムエラーを短時間で簡便に保証し、絶対値計測の回数を減らす。
【解決手段】 被検光と参照光を干渉させて得られた干渉縞の計測データから、被検物１の透過波面を計測する際、被検用光束を計測用球面ミラー２で反射させて波面計測を行い、かつ複数の校正用球面ミラー４、５、６、７のそれぞれで反射させて波面計測を行うとともに、２回目以降の透過波面計測時は、今回及び前回得られたデータに基づいて前回計測時に対するシステムエラーの変化を検知する。 （もっと読む）

【課題】容易な方法で、且つ実用的な速度で、高精度な干渉縞解析における位相接続を実現する。
【解決手段】干渉縞の２次元画像を取得する干渉計を用いて、位相シフトして取得された複数枚の干渉縞画像を使った干渉縞解析における位相接続方法において、新たに位相接続処理を行なう対象画素に対する位相接続判定を、既に画像内で位相接続されている関連画素の位相情報のみを用いて行なう。 （もっと読む）

【課題】レンズ部表面からの反射光による光マークを観察し得ない被検レンズに対しても、該被検レンズの光軸と基準球面の光軸とのずれを高精度に自動調整することができ、安定した測定結果を得ることが可能な光波干渉測定装置および光波干渉測定方法を得る。
【解決手段】被検レンズ１からの反射光による第１の干渉縞画像に基づき、被検レンズ１の全体中心位置を特定する手段と、被検レンズ１と基準球面反射鏡７の各光軸が互いに平行となるように調整する手段と、被検レンズ１と基準球面反射鏡７との相対的な位置を調整する手段と、レンズ部２の透過光による第２の干渉縞画像に基づき、被検レンズ１と基準球面反射鏡７との相対的な位置を調整する手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】復調器内に配置されている２光束干渉計（例えば、ＭＺＩ）についても実現可能なＰＤＦ測定方法を提供する。
【解決手段】２光束干渉計の光出力の光強度またはアイ開口または符号誤り率またはＱ値を測定パラメータとして、所定の光周波数において、前記測定パラメータを最大にする偏波状態１と、前記測定パラメータを最小にする偏波状態２とを導出し、前記偏波状態１の測定パラメータの光周波数依存性と、前記偏波状態２の測定パラメータの光周波数依存性との差に基づきＰＤＦを導出する。あるいは、前記偏波状態１の測定パラメータの「２光束干渉計の位相差」依存性と、前記偏波状態２の測定パラメータの「２光束干渉計の位相差」依存性との差に基づきＰＤＦを導出する。 （もっと読む）

【課題】レーザ干渉測長機本体および光学ユニットの取り付けの際に、移動ミラーに対するレーザ光の光軸の傾きを簡易に調整することが可能な光学ユニットおよび測長機本体の取り付け構造、および光学ユニットを提供する。
【解決手段】光学ユニット１の取り付け側と測長機本体の取り付け側とを互いに取り付け方向に突き合わせる手段と、光学ユニット１の取り付け側または測長機本体の取り付け側に設けられた少なくとも３つの脚ねじ４ａ、４ｂ、４ｃであって、そのうち少なくとも２つが取り付け方向に長さを調整可能な脚ねじ４ａ、４ｂ、４ｃとを有し、突き合わせる手段によって、光学ユニット１の取り付け側と測長機本体の取り付け側とが突き合わされ、脚ねじ４ａ、４ｂ、４ｃの長さが調整されることによって、移動ミラーに対するレーザ光軸１０の傾きが調整されることを特徴とする光学ユニットおよび測長機本体の取り付け構造が提供される。 （もっと読む）

【課題】測定波長範囲と測定ダイナミックレンジが広く、且つ高い精度で効率良く干渉光の測定を行うことができる干渉光測定装置を提供する。
【解決手段】干渉光測定装置１０は、信号光Ｌ２と参照光Ｌ１とを生成するとともに、これらを干渉させて干渉光Ｌ３を生成する干渉装置１２と、干渉光Ｌ３の干渉縞に対して所定の関係をもって配列された複数の受光素子を受光面に有し、受光面に照射される干渉光Ｌ３を受光する受光装置１３とを備える。ここで、受光装置１３の受光面に照射される信号光Ｌ２及び参照光Ｌ２のビーム幅は、受光素子１３の受光面の大きさ以下に設定されている。 （もっと読む）

本方法は、解析されるべきビームの経路上に２次元メッシュを有する回折格子を配置すること、各インターフェログラムが異なる回折次数を有する２つのサブビームから１平面内で得られる少なくとも２つの異なる色の少なくとも２つのインターフェログラムを処理することを含む。本発明は、分割された波面を解析して修正するために使用され得る。
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【課題】装置の大型化及び高コスト化を招くことなく、簡易な干渉計を用いて、高精度に被検光学系の光学特性（波面収差）を測定することができる測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】被検光学系の像面側に配置された短手方向の幅が前記被検光学系の回折限界以下である第１の像面側スリット及び短手方向の幅が前記被検光学系の回折限界よりも大きい第２の像面側スリットからの光の干渉縞を用いて、前記被検光学系の波面収差を測定する方法であって、前記干渉縞から前記第１の像面側スリット及び前記第２の像面側スリットの長手方向に垂直な方向の相対関係が等しい前記被検光学系の一次波面を取得するステップと、前記取得ステップで取得した前記被検光学系の一次波面に基づいて、前記被検光学系の波面収差を算出するステップとを有し、前記取得ステップは、測定方向の異なる３つ以上の前記被検光学系の一次波面を取得することを特徴とする方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】
位相ノイズを低減した高精度の位相検出、及び参照光を通せない非常に狭帯域の光ＢＰＦ等の位相検出を可能にした光干渉計型位相検出装置を提供する。
【解決手段】
測定干渉信号を出力する受光器８と、第１の参照干渉信号を出力する受光器９と、第２の参照干渉信号を出力する受光器１８と、第２の参照干渉信号に対する測定干渉信号の位相（測定位相）を検出する位相検出手段１１と、第２の参照干渉信号に対する第１の参照干渉信号の位相（参照位相）を検出する位相検出手段１２と、被測定物を通った後の測定光と参照光とに基づいて被測定物の位相特性を求める第１のモード又は被測定物を通った後の測定光のみに基づいて被測定物の位相特性を求める第２のモードを指定する測定モード指定信号を受けて、第１のモードのときは測定位相から参照位相を減算して位相特性を求め、第２のモードのときは測定位相から位相特性を求める信号処理手段１３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】光学軸を有する素子を、該光学軸の方向が一致するように複数積層して構成された複合層試料における該複数の素子が有する光学軸同士のずれを精度良く検査することを可能にする。
【解決手段】第１の良品の複合層試料Ａを透過した光と第２の良品の複合層試料Ｂを透過した光を互いに反対位相で干渉させたときの第１の干渉光と、第１の良品の複合層試料Ａを透過した光と検査対象となる複合層試料Ｃを透過した光を互いに反対位相で干渉させたときの第２の干渉光とを検出し、これらの干渉光の強度の差分に基づいて、複合層試料Ｃの光学軸同士のずれを算出する。 （もっと読む）

【課題】偏波変動に伴う、干渉強度のピーク波長のシフトの最大値、偏波変動に伴う、消光比劣化の最悪値を測定する。
【解決手段】Ｎ種の正規化損失スペクトルの交点から、低損失側の不動点（Ｆ_H、Ｒ_H）または大損失側の不動点（Ｆ_L、Ｒ_L）の少なくともどちらか一方を求め、消光比の最悪値は、Ｒ_H／Ｒ_Lである、隣接するＦ_H、Ｆ_Lから、ＦＳＲ＝（Ｆ_H−Ｆ_L）×２が求まる、ピークのシフト量の最悪値は２×ΔＦ＝ＦＳＲ×Δθ／πである、という性質を用いてＤＵＴの光学特性の偏波依存性を得る。 （もっと読む）