【課題】複数の光学素子間の配置誤差による結像性能の劣化を効率的かつ高精度に補正することができるようにする。
【解決手段】補正要否判定部２により配置誤差を補正する必要があると判定された場合、複数の光学素子における補正対象の光学素子１１の偏心感度を測定する偏心感度測定部３と、波面収差抽出部１により抽出された波面収差と偏心感度測定部３により測定された偏心感度から、補正対象の光学素子１１を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる駆動量を算出する駆動量算出部４とを設け、光学素子駆動部５が駆動量算出部４により算出された駆動量だけ補正対象の光学素子１１を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つのアクチュエータを用いて光学素子を特定の増分量で増分移動させることにより、操作されるべき少なくとも１つの光学素子の位置の設定を行う、投影照明システムの光学装置の製造及び／又は調整方法を提供する。
【解決手段】本発明による方法では、移動増分の増分量は、所望位置からの光学素子の距離の関数として、距離値として表される距離によって設定され、この距離値が第１の閾値を上回る場合、略一定の増分量が設定され、他方、この距離値が前記第１の閾値を下回る場合、所望位置からの距離が減少することに伴って、特定の増分量が減じられるステップ、及び／または、特定の増分量及び／又は事前に特定された増分量変化率からの、事前に特定された逸脱により、警告信号が発せられ及び／又は移動が中止されるステップ、を含む。 （もっと読む）

【課題】鏡筒内に配置される光学素子の波面収差を好適に維持できる光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】投影光学系１６は、低熱膨張材料で構成される鏡筒４０と、鏡筒４０内に配置されるミラー２８，３３と、ミラー２８，３３を保持し、且つ鏡筒４０に対してミラー２８，３３を移動させるべく駆動するアクチュエータを有するミラー保持装置と、鏡筒４０に対するミラー２８，３３の位置を計測する計測装置６０と、計測装置６０による計測結果に基づきミラー保持装置を制御する制御装置と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】被検光学素子組体が、複数枚の光学素子を共軸に配置したものである場合に、光学素子の偏芯量の測定、偏芯の調整および光学素子の組立てを、系全体として、高精度かつ効率的に行なうことができるようにする。
【解決手段】最も測定光入射側に位置する第１レンズのみをセットする（Ｓ１）。次に、第１レンズの偏芯量を測定し（Ｓ２）、その測定値に基づき、第１レンズの位置調整量を算出する（Ｓ３）。次に、この偏芯量が０に近づくように、第１のレンズの偏芯を調整し（Ｓ４）、再び、第１レンズの偏芯量を測定し（Ｓ５）、閾値以下となっているかを判断する（Ｓ６）。閾値より大きい場合はステップ３に戻るが、閾値以下の場合は第１レンズをレンズ鏡筒６１の内部に接着保持する（Ｓ７）。この後、セットすべき次のレンズの有無を判断し（Ｓ８）、次のレンズがあれば、そのレンズについて上記ステップ１〜７の処理を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】光学素子の調整量を抑制しながら良好な光学特性を実現可能な露光装置を提供する。
【解決手段】原版のパターンを基板に露光する露光装置であって、光学素子を含み、前記原版のパターンを前記基板に投影する投影光学系と、前記光学素子の位置、姿勢及び形状の少なくとも１つを調整する調整部と、前記光学素子の調整量の１次関数で表される前記投影光学系の１次光学特性値の上限である第１のダミー変数、前記調整量の上限である第２のダミー変数、及び、前記調整量の２次関数で表される前記投影光学系の２次光学特性値の上限である第３のダミー変数によって表される目的関数の値が最小となる場合の前記光学素子の調整量を算出し、算出された前記調整量に基づいて前記調整部を制御する制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】
剛性を高めつつ高精度な制御が可能な位置決め装置を提供する。
【解決手段】
本発明の位置決め装置は、所定の自由度で物体を位置決めする位置決め装置であって、前記物体を駆動し、前記自由度よりも多い複数の駆動手段と、前記物体の目標位置を表す座標系を、前記自由度に対応する座標系から前記複数の駆動手段に対応する座標系へ変換する変換手段と、前記物体が前記目標位置に近づくように、前記複数の駆動手段を制御する制御手段とを有し、前記変換手段は、前記物体の形状の計測結果を利用して、前記複数の駆動手段の間の相対位置関係を保持するように変換する。 （もっと読む）

【課題】 露光後に基板を観察することなく変位計測手段（変位センサ）の原点ずれを校正することが可能な投影露光装置を提供する。
【解決手段】 本発明の投影露光装置は、光学要素を有し前記光学要素を制御することにより結像特性を補正する投影光学系を介して、第１物体のパターンを第２物体に投影して露光する投影露光装置であって、前記光学要素の変位を計測する変位計測手段と、前記変位計測手段の計測基準を記憶する記憶手段と、前記投影光学系の結像特性を計測する結像特性計測手段と、前記結像特性計測手段の計測結果に基づいて前記計測基準を校正する校正手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】プロジェクタが元々有する構成要素に特別な加工を施すことなく光変調素子の位置ずれの検出が可能で、かつ、投射光を遮ることのない位置に位置ずれ検出のための検出部を設置可能とする。
【解決手段】合成光学系１１４から射出される合成画像光の偏光成分のうち投射に不要な不要偏光成分を分離する偏光分離手段１１５と、分離された不要偏光成分に対応する画像データを出力するイメージセンサ１３０と、異なる色成分に対応した複数の光変調素子の位置を各光変調素子ごとに調整可能な位置調整機構１４０Ｒ，１４０Ｇ，１４０Ｂと、イメージセンサ１３０から出力される画像データに基づき各光変調素子の位置ずれ方向および位置ずれ量を算出する位置ずれ算出部１５１、算出された位置ずれ方向および位置ずれ量に基づいて位置調整機構１４０Ｒ，１４０Ｇ，１４０Ｂを制御する位置調整機構制御部１５２を有する光変調素子の位置調整制御装置１５０とを有する。 （もっと読む）

【課題】組み立て時間を短縮する。
【解決手段】光学素子１２，１３と、光学素子１２，１３をそれぞれ移動させるＳＩＤＭ装置２１，２２と、を有する光源ユニット１の組立方法は、光学素子１２，１３の光軸に対しオフセットされた位置に当該光学素子１２，１３の側を撮影するカメラ２３ａ〜２３ｃを配設し、完成状態の光源ユニット１中でカメラ２３ａ〜２３ｃの位置から撮影方向を見たときの当該光源ユニット１の部材間の位置関係を示す完成画像を予め用意し、カメラ２３ａ〜２３ｃによる撮影画像によって光学素子１２，１３の位置を検出し、この撮影画像と完成画像とを比較しつつＳＩＤＭ装置２１，２２により光学素子１２，１３を完成画像に合わせて配設する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で迅速に光軸を精度良く調整できるようにする。
【解決手段】レンズ３１を保持するレンズ鏡筒３０を４箇所で支持し、レンズ３１の位置及び傾きを調節する磁歪アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄを採用した。レンズ３１の光軸Ｌのピッチ、ヨー方向の角度に基づいて磁歪アクチュエータ１０Ａ〜１０Ｄを駆動してレンズ３１の光軸Ｌを調整する。 （もっと読む）

【課題】個々の部品の高精度な相互配置を達成することは困難であった。
【解決手段】第１の光学部品を、基板に結合された第２の光学部品に対し正確に位置合わせするための方法である。第１の光学部品を基板に取り付けるために、多数の結合要素の少なくとも１つが変形される。第２の光学部品に対する第１の光学部品の光学結合の品質が決定される。第１の光学部品を基板に結合する好きな木とも１つの変形される結合要素は、微小操作され、第１の光学部品が第２の光学部品に対し正確に位置合わせされ、そして光学結合の品質が改善される。 （もっと読む）

【課題】 光学部品のハンドリングと位置決めとを高精度に実現することができる光学部品の位置決め装置を提供すること。
【解決手段】 光学部品の位置決め装置１は、軸方向に延びて配されたハンド本体３と、レンズ２を吸着する透明で筒形状の吸着部材５と、レンズ２を保持させるために供給される吸引力を吸着部材５に伝達する吸引流路６と、吸着部材５及び吸引流路６とを介して吸着されるレンズ２と対向してハンド本体３の反対側に配された透明部材７とを有するハンド（搬送部）８と、透明部材７及び吸引流路６を介してレンズ２を照射するように配された照明部１０と、照明部１０と対向して配された第一画像処理用カメラ（観察部）１１と、第一画像処理用カメラ１１の観察結果に基づいて吸着部材５に保持されたレンズ２を所定の位置に位置決めする位置決め部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 従来の工程からすると融着設備と接着工程に用いる設備のみで融着、レンズ−フィルタ接着および測定まで可能となり、設備の軽減と工程簡略化によるコストダウン、さらに、工程の少なくさより歩留まり向上の効果を期待できるようにする。
【解決手段】 次の工程にて光機能部品を製造することを特徴とする。（Ａ）、第１の石英ロッドコリメータレンズ１の一端と第２の石英ロッドコリメータレンズ９の一端とをフイルタ３に接着剤で接着する工程（Ｂ）、前記第１の石英ロッドコリメータレンズ１の他端に１本の光ファイバの裸光ファイバ１１を融着接続する第１融着接続工程（Ｃ）、前記第２の石英ロッドコリメータレンズ９の他端に複数の光ファイバの裸光ファイバ１３を融着接続する第２融着接続工程 （もっと読む）