【課題】作業システムの設備コストを抑えること。
【解決手段】作業システム１は、作業対象であるワークに対して所定の作業を行うロボット１２と、ワークに対する所定の作業が行われる場所である複数の作業ステーション１３ａ〜１３ｄとを備える。そして、ロボット１２は、作業ステーション１３ｂ，１３ｃにおいてワークに対して圧入作業やネジ締め作業といった所定の作業を行うだけでなく、作業ステーション１３ａ〜１３ｄ間でのワークの搬送も併せて行う。 （もっと読む）

【課題】対象物を安定して把持しつつ対象物の姿勢を制御することが可能なロボットハンド及びロボット装置を提供する。
【解決手段】対象物を把持する２つの指部１０１，１０２を備え、２つの指部１０１，１０２の各々には、対象物を把持する部分に回転部材１１０が設けられ、２つの指部１０１，１０２で対象物を把持した状態で、２つの指部１０１，１０２の回転部材１１０が回転可能にされており、２つの指部１０１，１０２の回転部材１１０の相対位置を変更する第１指部移動機構１５０を備え、第１指部移動機構１５０により、２つの指部１０１，１０２の回転部材１１０の回転軸が互いに近づく方向または遠ざかる方向に２つの指部１０１，１０２の相対位置が切り換えられる。 （もっと読む）

【課題】対象物を安定して把持しつつ対象物の姿勢を制御することが可能なロボットハンド及びロボット装置を提供する。
【解決手段】対象物を把持する２つの指部１０１，１０２を備え、２つの指部１０１，１０２の各々には、対象物を把持する部分に回転部材１１０が設けられ、２つの指部１０１，１０２で対象物を把持した状態で、２つの指部１０１，１０２の回転部材１１０が回転可能にされている。 （もっと読む）

【課題】搬送動作途中の停止位置から、ロボットが干渉することなく、動作開始位置へ戻ることが簡単にできるロボット搬送装置を提供する。
【解決手段】ロボット５０とロボット制御装置１００と搬出プログラム２４ａとプログラム実行手段と前進方向又は後退方向を設定する実行方向設定手段とワークの搬送状態検出手段とからなるロボット搬送装置１において、搬出プログラム２４ａの実行による搬送動作が停止され、停止位置からの復帰動作は、ワークの搬送状態検出手段により、搬送状態を取得し、非搬送中ならば、搬出プログラム２４ａの停止ステップから先頭ステップまで、後退方向に実行して搬出動作の始点に移動し、搬送中ならば、搬出プログラム２４ａの停止ステップから末尾ステップまで、前進方向に実行して搬送動作の終点に移動する。 （もっと読む）

【課題】低床化を維持しつつ高速でのワーク搬送を行うのに適したワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】ワーク搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に支持されて昇降する昇降ベース２と、昇降ベース２に対して垂直軸Ｏ１周りに回動可能に支持された第１アーム３と、第１アーム３の先端に対して垂直軸Ｏ２周りに回動可能に支持された第２アーム４と、第２アーム４の先端に対して垂直軸Ｏ３周りに回動可能に支持されたハンド５Ａと、ハンド駆動機構６Ａと、を備え、ハンド駆動機構６Ａは、第１アーム３の内部に配置されたモータ６１ａと、第１ないし第２アーム３，４の内部に配置され、モータ６１ａの出力をハンド５Ａに伝達する伝動機構６２ａと、を含む。モータ６１ａと伝動機構６２ａの一部とを第１アーム３の内部空間に配置することで、第２アーム４先端の伝動機構６２ａの高さおよび固定ベース１ないし昇降ベース２の高さが低くなる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハを対向するチャンバ間でスムーズに移動することのできる搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ウエハ搬送ロボット１００は、２本のリンク１２、１３で構成されているアーム１０を備える。アーム１０の先端にはウエハホルダ６が備えられている。アーム１０の基部に相当する駆動リンク１３は筐体２に回転可能に連結されている。アーム１０は、駆動リンク１３の回転に伴うアーム先端の運動が直線又は曲線の軌道に制限される構造を有しているとともに、その軌道は、始点Ｗｓと終点Ｗｅが駆動リンク１３の回転中心から等距離の位置にあり、始点におけるアーム先端の向きと終点におけるアーム先端の向きが、始点と終点の間の中点と前記回転中心を通る直線に対して鏡像の関係を満たしている。 （もっと読む）

【課題】２段のピンセットによる搬入出動作を同じタイミングで行い、基板搬送に係る処理時間を短縮する。
【解決手段】基台上に相対向して立設された一対の第一及び第二の昇降軸７，８と、前記第一の昇降軸に沿って昇降自在に設けられると共に、第一のピンセット１５をステージに対し進退移動させる第一の進退移動手段１３と、前記第一の進退移動手段を前記第一の昇降軸に沿って昇降移動させる第一の昇降手段１１と、前記第二の昇降軸に沿って昇降自在に設けられると共に、第二のピンセット１６をステージに対し進退移動させる第二の進退移動手段１４と、前記第二の進退移動手段を前記第二の昇降軸に沿って昇降移動させる第二の昇降手段１２と、前記第一及び第二の進退移動手段の駆動制御、及び前記第一及び第二の昇降手段の駆動制御を行う制御手段１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】移動速度を上げなくても搬送時間を短縮することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送ロボット５０は、第１及び第２ハンド５２，５３を備えている。第１及び第２ハンド５２，５３は、基板６を夫々保持する２つのブレード５６を有している。また、搬送ロボット５０は、回動ユニット、第１進退ユニット、第２進退ユニット、昇降ユニットを有しており、これら４つのユニットにより第１及び第２ハンド５２，５３を基板６が載置されている基板搬送中継装置２５及び４つのプロセスチャンバ２３に夫々移動させることができるようになっている。 （もっと読む）

【課題】搬送物の状態に応じて使い分けることができるエンドエフェクタを、簡単な構造によって達成すること。
【解決手段】本発明のエンドエフェクタにおいて、アームの先端部に装着されるハンド基部と、ハンド基部に回転可能に設けられた複数の基板保持部材と、複数の基板保持部材を各回転軸線周りに回転させる回転駆動手段と、を備える。複数の基板保持部材のそれぞれは、回転軸線に沿って延在する細長部材を有し、回転軸線周りに細長部材を回転させることによって、細長部材の側面全体のうちの基板を保持する部分が変わるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットにより基板を搬送する際に、ハンド上の基板の中心位置の検出精度を向上できるようにした基板位置検出方法を提供する。
【解決手段】ハンド７に、搬送経路上の所定位置に設定した検出点ＰＳに基板の周縁があるか否かを検出するセンサで検出可能な指標として、Ｒ方向に所定距離ＬＲ０離れた第１指標７３と第２指標７４とを設ける。第１指標７３が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置を基準位置として、基準位置から、第２指標７４が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置までの変位量ＬＲを算出し、この変位量ＬＲと指標７３，７４間の距離ＬＲ０との比を補正係数として算出する。そして、基板の周縁の各箇所が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置を、当該Ｒ方向位置と基準位置との偏差に補正係数を乗算して補正する。 （もっと読む）

【課題】 基板搬送用ロボットのフィンガーの変形を精度よく検出する。
【解決手段】 基板を保持可能なフィンガーを有した基板搬送用のロボット、及び、前記ロボットにより基板を搬出入させるための基板搬送口を備えた搬送チャンバと、前記基板搬送口に着脱可能に接続され、前記搬送チャンバ内部に連通する開口を有し、外部に対して密閉された内部空間を形成する筐体、及び、前記内部空間に挿入される前記フィンガーの変形を検出するための変位センサを備えたセンシングポートと、前記搬送チャンバに設けられる排気口を介して、前記搬送チャンバ及び前記筐体内部を排気する排気手段と、前記排気手段により前記搬送チャンバ及び筐体内部を減圧させた状態で、前記筐体の内部空間に挿入されたフィンガーの形状の前記変位センサによる検出結果を取得する制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 保持部材の姿勢に異常があるか否かを確実かつ容易に検出すること。
【解決手段】 保持部材であるフォーク３Ａを前進させたときに、当該フォーク３Ａがその前を通過するように、フォーク３Ａの進行方向に対して側方にラインセンサ４を設ける。そして、フォーク３Ａをラインセンサ４に対して進退させたときに、当該フォーク３Ａの上下方向の位置と、フォーク３Ａの進退方向の位置とを対応付けたデータを取得する。この取得されたデータに基づいて前記進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいて保持部材の姿勢の異常の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】ピックによる基板保持時に基板の異常を判定することで，異常な基板の搬送処理を続行することによる不具合を未然に防止する。
【解決手段】基板が水平方向に移動しないように規制する規制体４２０と，押圧体４４０をスライド駆動させて，ウエハＷの端部を規制体に押しつけることによって保持する押圧保持部４３０と，押圧体を駆動させるとともに，その押圧体の位置情報を出力可能な押圧体駆動部４４２とを有するピックを備え，このピックの基板保持時に押圧体をスライド駆動させてその押圧体が停止した位置を検出し，その検出位置が異常判定閾値以上にピックの先端側にある場合にはその基板は異常であると判定し，その基板の搬送処理を停止する。 （もっと読む）

【課題】ワークを搬送しつつ、各工程でワークに対して作業を行うロボットシステムにおいて、設備の取り外しや追加の手間を減らす。
【解決手段】ロボットシステム２０Ｂは、ワークＷを受け取る受取り部と、ワークＷを引き渡す引渡し部とを備える。システム２０Ｂは、システム２０Ａの引渡し部からシステム２０Ｂの受取り部へワークＷを受け渡すロボット３０Ｂと、受取り部から引渡し部へワークＷを搬送するベルトコンベア２２Ｂと、ワークＷに対して作業を行う作業装置２１Ｂとを備える。システム２０Ｂは、ロボット３０Ｂに設けられたＲＦＩＤタグ３３Ｂと、ロボット３０ＢがワークＷを受取り部へ受け渡す際に、ＲＦＩＤタグ３３Ｂの情報を無線で読み込むリーダライタヘッド２３Ｂと、ロボット３０ＢがワークＷを引渡し部から引き渡す際に、ＲＦＩＤタグ３３Ｂに情報を無線で書き込むリーダライタヘッド２５Ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークを搬送しつつ、各工程でワークに対して作業を行うロボットシステムにおいて、設備の取り外しや追加の手間を減らす。
【解決手段】ロボットシステム２０Ａは、ワークＷをシステム２０Ｆから受け取るとともに、ワークＷをシステム２０Ｂへ引き渡す載置台２２Ａを備える。システム２０Ａは、システム２０Ａの載置台２２Ａからシステム２０Ｂの載置台２２ＢへワークＷを受け渡すロボット３０Ａと、載置台２２ＡにおいてワークＷに対して作業を行う作業装置２１Ａとを備える。システム２０Ａは、ロボット３０Ａに設けられたＲＦＩＤタグ３３Ａと、ロボット３０ＦがワークＷを載置台２２Ａへ受け渡す際に、ＲＦＩＤタグ３３Ｆの情報を無線で読み込むリーダライタヘッド２５Ａと、ロボット３０ＡがワークＷを載置台２２Ａから引き渡す際に、ＲＦＩＤタグ３３Ａに情報を無線で書き込むリーダライタヘッド２５Ａと、を備える。 （もっと読む）

【課題】真空処理装置において、試料の位置ずれが発生した際にそのずれ量を抑制し、予期しない搬送動作の停止を防ぐ。
【解決手段】試料の搬送を行う真空搬送室において、ロボットによる前記搬送の動作中に生じるアーム上に載せられたウエハの加速度はアームの伸長の開始または収縮の終了の際の加速度が最大であって、搬送中の試料の位置ずれを検出し、そのずれ量が所定の閾値（許容値）を超えた場合に、ロボットのアームの伸長の開始または収縮の終了の際の加速度をＡ‘からＡに低下させてずれ量が閾値を超えないようにする。 （もっと読む）

【課題】設置に広いスペースを必要としないコンパクトな装置であるとともに、効率的なワークの搬入搬出動作ができるワーク搬送装置を提供すること。
【解決手段】支持フレーム２と、第１軸Ｊ１まわりに回動自在に支持される第１アーム３と、第１軸Ｊ１上に配置され支持フレーム２に対して相対的に姿勢を保持可能な基準姿勢保持部材と、第１アーム３に対して第１軸Ｊ１と平行な第２軸Ｊ２まわりに回動自在に支持される第２アーム５と、第１軸Ｊ１と平行であって第２軸からの距離が略等距離である第３軸Ｊ３及び第４軸Ｊ４上にそれぞれ配置され、第２アーム５に対して第３軸Ｊ３及び第４軸Ｊ４まわりにそれぞれ回動自在に支持される第１及び第２ハンド５１、５２と、を備え、第１アーム３又は第２アーム５が回動した場合であっても、支持フレーム２に対する第１及び第２ハンド５１、５２の姿勢が保持されることを特徴とするワーク搬送装置。 （もっと読む）

【課題】 より大きな駆動源、直動ガイド能力を必要とせず、小型化が可能な基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】 基板搬送装置は、第１駆動軸と、第１駆動軸に一端が連結されたアーム部と、基板を保持することが可能な基板保持部と、アーム部の他端と基板保持部を連結する連結部と、を有する。連結部は、アーム部に対して基板保持部を回転可能に支持する回転支持部と、回転支持部によって基板保持部が回転する回転軸の方向に、アーム部に対して基板保持部を上昇させ、または、降下移動させる移動部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークを把持したロボットが複数の処理装置間を順次移動してワークを製品化する生産システムにおいて、ロボットと処理装置との間のワークの授受位置を自動で効率的に取得可能とし、システムのフレキシビリティの向上を図る。
【解決手段】処理装置４は、指向性のある無線の通信部４１を備え、ロボット３は、処理装置４の通信部４１との間で相互に通信する指向性のある無線の通信部３１と、処理装置４上の所定の特徴点４２を撮像して位置認識を行う画像処理部（ＣＣＤカメラ３２ａ）と、ハンド部３３と、を備え、ロボット３は、相互の通信部３１，４１を用いて処理装置４に対する位置関係を検出し、その検出の後に、画像処理部を用いて特徴点４２を認識することにより処理装置４に対する精密な位置関係を検出し、これに基づいてワークの授受位置を取得する。２段階の位置検出により、狭いカメラの撮像範囲で精度良く効率的に位置を取得できる。 （もっと読む）

【課題】ハンドの着脱が簡単で、耐久性に優れたワーク搬送装置におけるハンド着脱機構を提供する。
【解決手段】ロボット先端部に、ハンド装脱着用の前後スライド溝２１を設けたホルダイケール２０を固定し、ホルダイケール２０に内蔵した流体圧シリンダの駆動で、摺動ピストンが前後スライド溝２１に挿入したハンドユニット４０の基端部を押圧固定するワーク搬送装置におけるハンド着脱機構であって、先端係合用のＶ字ブロック２４と、摺動ピストンに一体化したロックピン２８とを前後スライド溝２１内に前後に離間して設け、ハンド基端部の挿入端側にスリット４４を設けて二股状端部４３を構成し、二股の付け根側上面にロックピン２８の先端のすり鉢状ブロック２９と係合するテーパ状係合部４５を設けた。 （もっと読む）