【課題】エア浮上装置で基板を支持した状態で、基板を任意の位置へ移動させて位置決めを行うことを可能とする基板加工装置及び基板支持装置を提供する。
【解決手段】基板加工装置１のＸ方向移動装置５及びエア浮上装置１１は、ベース部材２４のＸ方向に設置される。Ｙ方向移動装置９及びエア浮上装置１３は、ベース部材１５のＹ方向に設置される。吸着盤４は、Ｙ方向移動装置９を介してベース部材１５に設けられ、Ｙ方向に移動可能である。エア浮上装置１３は、ベース部材１５に固定設置され、Ｙ方向に移動しない。ベース部材１５は、Ｘ方向移動装置５を介してベース部材２４に設けられ、Ｘ方向に移動可能である。基板加工装置１では、エア浮上装置１１とエア浮上装置１３とのＹ方向の間隔５１は、Ｘ方向の移動に影響を及ぼさない間隔であればよく、Ｙ方向の移動空間を確保する必要がない。 （もっと読む）

【課題】上面が裏面である板材に対しては反転させ、上面が表面である板材に対しては反転させることなく、搬送できて、作業者自身の手作業でなく、自動化を可能とした板材反転装置を提供する。
【解決手段】板材１をその幅方向に沿って搬送する搬送手段２と、搬送手段２に搬送されている板材１の表裏を判別する表裏判別手段３と、搬送手段２にて搬送されている板材１を所定搬送範囲内で挟持する板材挟持手段４と、板材挟持手段４の少なくとも板材挟持部５を１８０°反転させる反転手段６と、表裏判別手段３にて上面が表面となっていると判別された板材１を板材挟持手段４による板材挟持位置７から回避させる回避手段８とを備える。 （もっと読む）

【課題】長年の使用によってもワークの加工精度が悪化しない加工機を提供する。
【解決手段】Ｘ軸方向に延びて動くベルト２３の上側にワークＷを載置するベルトコンベヤ７を、Ｘ軸方向で移動可能なように設置するベースフレーム９と、ベースフレーム９にＸ軸方向で移動自在に設けられているキャリッジ１１と、キャリッジ１１に設けられている加工ヘッド１３と、ベースフレーム９に設置されたベルトコンベヤ７をキャリッジ１１と共にＸ軸方向に移動させるべく、ベルトコンベヤ７のベース部材１９を保持するコンベヤ保持手段１７とを有する。 （もっと読む）

【課題】ワーク加工装置間に段差があっても、ワーク２が損傷する恐れが無く下流側のワーク加工装置に移送できる移送システムを実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、前記一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、前記Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用い、吸着盤上に載置されたワークに対して所定の処理を行い、処理後は前記ワークを移送するようにしたワーク加工装置を複数台連結し、前記ワークを順次次段のワーク加工装置に移送するように構成されたワーク移送システムにおいて、前記ワーク加工装置の連結部分に設けられ前記ワークの移送時に前記ワークを吸着して前記ワークを移送面より所定距離上方に引き上げて移送する引き上げ移送手段を具備したことを特徴とする移送システムである。 （もっと読む）

【課題】ワーク加工装置を直列方向に連結できると共に、直列方向に対して直角方向にも連結できる移送システムを実現する。
【解決手段】ＸＹ位置決めステージを直列方向に連結したワークの移送システムにおいて、
所定のワーク加工装置に対応して直列連結方向に直交して配置された新たなワーク加工装置と、所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間に設けられワークの搬送時にワーク加工装置間にワークが挟み込まれるのを防止する挟み込防止手段と、所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置とにそれぞれ設けられワークを前記所定のワーク加工装置と新たなワーク加工装置との間を搬送するＹ軸方向搬送手段とを具備したことを特徴とする移送システムである。 （もっと読む）

【課題】ワークの形状に応じて自動的にサイズ変更が可能なワーク把持部を備えてワークの機種変更に自動的に対応することが可能なワーク搬送パレットおよびワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】ワーク搬送パレット１は、パレット搬送路５１に当接されるパレット本体部１１、パレット本体部１１に係合して保持されるワーク把持部１２、ワーク把持部１２の両端に配置され、ワーク把持部１２の開閉動作が円滑に実行できるように案内するガイドレール１３を備える。ワーク把持部１２は、ワーク搬送パレット１の中央部に載置されるワークＷＫを左右から挟持して把持、固定するように左右に対称的に配置され、左側に配置された左ワーク把持部１２Ｌおよび右側に配置された右ワーク把持部１２Ｒにより構成してある。ワークＷＫは、開状態とされたワーク把持部１２の中央部に載置される。 （もっと読む）

【課題】ワークの移送手段の占めるスペースを最小とし、システム構築コストを低減可能な移送システムを実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、前記一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、前記Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用い、吸着盤上に載置されたワークに対して所定の処理を行い、処理後は前記ワークを移送するようにしたワーク加工装置において、前記ワークの移送に際しては前記吸着盤を構成する吸着孔から気体を噴射して前記ワークを浮上させる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、しかも、形状や大きさのいかんを問わず、板材を所定位置に搬送して位置決めや突合せをする。
【解決手段】板材の搬送装置は、板材を載置するためのワークセットベース12と、ワークセットベース12に設けた、板材と接触する保持手段14と、ワークセットベース12の前端の幅方向中央部と係合する連結部材22と、連結部材22を移動させる駆動機構20とを具備している。 （もっと読む）

【課題】本発明はワークの大型化に対応すると共に、輸送時の可搬性を高めることを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０は、ワークを搬送する搬送機構２０と、搬送機構２０を支持する搬送架台３０と、搬送架台３０を下側から支持し、ワークに対する所定の処理を行なう処理部を搬送架台３０の上方に支持する支持架台４０とを有する。ステージ装置１０では、搬送架台３０と支持架台４０とを組み合わせることで架台が組立られ、搬送機構２０が搬送架台３０上に設けられる構成である。搬送機構２０は、搬送架台３０の両側に一対設けられており、平板状のワークの両側を把持する把持部２１を有するスライダ２２と、スライダ２２を搬送方向（Ｙ方向）にガイドするガイドレール２４と、スライダ２２をＹ方向に移動させるリニアモータ２６とを有する。 （もっと読む）

【課題】ワークを搬入位置から加工位置へ効率よく搬送することができるレーザ加工機のワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】支持枠体３１の上面に左右一対のローラコンベヤ装置３３をそれぞれ装着し、そのローラ３４によってワークＷの左右両端部を支持する。支持枠体３１の上面に第１ワーク搬送機構４１Ａ，４１Ｂ及び第２ワーク搬送機構４１Ｃ，４１Ｄを装着する。第２ワーク搬送機構４１Ｃ，４１Ｄの第２吸着パッド５４´，５４´を上昇させて、ワークＷの下面を吸着把持し、第２ワーク搬送機構４１Ｃ，４１Ｄを搬入位置から加工位置に移動して、ワークの加工を行う。このワークの加工動作終了後に第２吸着パッド５４´，５４´を下降させてワーク搬入位置に戻すと同時に第１ワーク搬送機構４１Ａ，４１Ｂの第１吸着パッド５４，５４を上昇させて、別のワークの下面を吸着把持し、該ワークを搬入位置から加工位置に搬送することを交互に行う。 （もっと読む）

【課題】加工精度を維持しつつ、装置重量及び費用的負担等を軽減することを可能とする基板加工装置、基板支持装置等を提供する。
【解決手段】基板加工装置１は、エアフロート等の加工支持装置９によりＺ方向精度を維持して基板３の加工を行うので、加工精度を維持することができる。また、基板加工装置１は、要求精度が異なる搬送領域及び加工領域を有し、搬送領域及び加工領域に渡ってＸ方向移動支持装置５が設けられ、搬送領域にアライメント支持装置７が設けられ、加工領域に加工支持装置９が設けられる。各装置の上面に設けられるエアパッドによる吸着及びエアブローにより、Ｘ方向移動支持装置５とアライメント支持装置７との間で基板の受け渡しが行われる。加工領域以外の領域におけるＺ方向精度は、加工領域と比較して低くすることができるので、基板加工装置１全体について高精度を維持するために大重量の大型部材を設ける必要がない。 （もっと読む）

【目的】搬送物の搬出入を並行して迅速に行うことのできる簡便なストック装置を提供する。
【構成】工程ラインに介在されて該ラインに流される搬送物を一時的に貯蔵するストック装置であり、水平状に配される複数段の棚５を有するラック４と、その各棚５に対し搬送物を搬入するべくラック４よりも搬送物の搬送方向上流側に昇降可能にして設けられる搬入コンベヤ６と、ラック４の各棚５から搬送物を搬出するべくラック４よりも搬送物の搬送方向下流側に昇降可能にして設けられる搬出コンベヤ７とを備える。搬入コンベヤ６は搬送物を載せて該搬送物を搬入する棚５の高さ位置まで移動される一方、搬出コンベヤ７は搬出する搬送物が載せられた棚５の高さ位置まで移動される。又、ラック４の各棚５は、搬入コンベヤ６による搬送物の搬入時と搬出コンベヤ７による搬送物の搬出時に走行駆動されるコンベヤから成る。 （もっと読む）

【課題】 平鋼のワークを正確な切断寸法により、切断箇所のフライス加工が省略できて、さらに、４、５台の糸鋸切断機を１台に置き換えることができる丸鋸切断機のワーク供給装置、および、そのワーク固定方法を提供する。
【解決手段】 丸鋸切断機１０のワーク供給装置３０は、ローラコンベア３２ａと、直立するベース３１ａと、ボールネジ３３ａが螺入されたサドル３４と、サドル３４の正面３４ａに、垂直方向にガイドレール３５、３５が設けられ、そのガイドレール３５、３５に載置された上下方向に移動自在なベース３６と、このベース３６に固定され、ワークＷの下面を把持する固定爪３６ｃを保持するクランパ３６ａと、このクランパ３６ａに支持され、ワークＷの上面を把持するクランパ爪３６ｂと、このクランパ爪３６ｂをワークＷの厚み（上下）方向へ移動させるシリンダ３７と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】機械加工装置において、専用のフライス受容部を必要とせず、かつ各機械加工作業の後に時間のかかる切粉除去を行うことなく、熱可塑性成形板から成形部品を分離する。
【解決手段】機械加工装置は、機械加工されるべき少なくとも１つの成形部品１４を含む熱可塑性成形板１３のための、少なくとも１つの加工工具および加工テーブル１７を有する多軸機械加工装置１１を備える。加工テーブルは、熱可塑性成形板を堅固に受容するとともに、発生する切粉を除去するために、加工テーブルの下側に位置する吸引装置２０と、加工テーブル内の開口とを有している。 （もっと読む）

【課題】 加工ヘッドの影響範囲内に設けられたワーク支持部材を柔軟に上下揺動復元可能とし、異物によるワーク移動時のばたつきや振動の影響を軽減し切断不良、精度不良の発生を回避し得る構成とした板材加工機のワークテーブル装置の提供。
【解決手段】 ワーク移動方式の板材加工機のワークテーブル装置において、加工部近傍でワークＷを転動搬送自在に坦持するフリーボールベアリング２を具備するワーク支持部材１、またはワークＷを転動搬送自在に坦持するローラ状のワーク支持部材が、緩衝機能を有する弾性体３、３０、１０１を介して上下揺動復元自在の揺動機構Ｋ、Ｋ−１、Ｋｒを備えて成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 エンドシャーのアライニング作業時間を短縮する。
【解決手段】 サイドガイド３ｂを、搬送ライン４の幅方向に移動可能に設ける。搬送ライン４を搬送されてくる鋼板１の幅寸法に基づいて、サイドガイド３ｂを移動させる位置を求め、求めた位置までサイドガイド３ｂをあらかじめ移動しておく。鋼板１ａ、１ｂを、サイドガイド３ａ、３ｂまで搬送し停止し、移送装置２によってサイドガイド３ａ、３ｂに押し当ててアライニングを実施する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、研磨装置を用いて厚み研磨あるいは、表面鏡面加工を行った後に研磨装置からウエハー状態の圧電素板を効率良く回収するための作業手順を実現することを目的とする。
【解決手段】 課題を解決するために本発明は、圧電素板の表面研磨に研磨装置を用いて、前記圧電素板の厚み研磨あるいは、表面鏡面加工を行った後の前記表面研磨装置から前記圧電素板を回収する圧電素板の処理方法において、前記厚み研磨あるいは、表面鏡面加工を行った後、前記圧電素板を専用トレーに回収する工程と、専用トレーを複数個まとめて格納する洗浄枠に収納し洗浄工程で洗浄する工程と、前記洗浄処理後乾燥工程で乾燥する工程を一貫して処理することにより課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】搬送手段の調整作業を容易にすると共に、複数の薄板の被溶接端が上下に重なることを防止し突合せ溶接されるシート状薄板の搬送方法および装置を提供するにある。
【解決手段】予め短冊状に断裁された複数枚のシート状薄板７Ａ，７Ｂを溶接手段６の溶接位置まで案内して搬送する方法において、薄板７Ａ，７Ｂを共通の水平面を有する別々の搬送路１７Ａ，１７Ｂで、互いに隣り合うそれぞれの被溶接端２１Ａ，２１Ｂ同士を付き合わせた状態で溶接手段６まで搬送すると共に、一方の薄板７Ａの被溶接端２１Ａを溶接手段６の溶接位置を通る鉛直面内に位置する案内面２５に接触させて案内する一方、他方の薄板７Ｂの被溶接端２１Ｂを案内面２５で案内された一方の薄板７Ａの被溶接端２１Ａに押し当てて案内したものである。 （もっと読む）

【課題】 ワークとワーク吸着台との間に異物が噛み合うことがないという利点を有し、しかも、チューブが絡まるという問題が防止され、これにより、複数の加工を連続的に行うことが容易なワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】 連続的に搬送されて所要位置において台上に載置されたワークWを真空吸着する複数のワーク吸着台3と、ワーク加工位置B,Cの近傍に各ワーク吸着台3に対して進退可能に設けられ、ワーク吸着台停止時に前進させられて同台3に真空を供給しかつワーク吸着台搬送時に後退させられて同台3から離脱させられる複数の真空供給機構としての真空供給ヘッド4と、各ワーク吸着台3に設けられ真空供給機構後退時にワーク吸着台真空状態を維持するための真空維持機構としての逆止弁17とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 清浄な環境下に維持される液中において、小型の被搬送物を吸着保持、搬送、及び解放の各操作が可能なピックアップ装置を提供する。
【解決手段】 一方の端部に吸着開口を有する略円筒形状のシリンダと、該シリンダ内部を移動可能であってシリンダ内壁と協働して吸着開口のみを開口部とする略閉鎖空間を形成するピストンとを有し、該略閉鎖空間が、被搬送物の吸着保持、搬送及び解放が行われる環境を構成する液体によって充たされているピックアップノズルを用いる。 （もっと読む）