【課題】容器本体に固定された状態のペリクルを蓋体で被覆して異物付着を防止しつつ、輸送中にも固定状態を確実に維持でき、且つ蓋体を開いて開封したとき、固定状態を簡単に解除してペリクルの取り出しができるペリクル収容容器を提供する。
【解決手段】ペリクル１６を載置した容器本体１２と、ペリクル１６を被覆する蓋体１４とから構成され、容器本体１２には、ペリクル１６のペリクルフレーム１６ａの凹部２６に、先端部１６ａが挿入されて回動可能のピン２８と、ピン２８を着脱可能に装着するピン装着部３２とを備えたペリクル固定部１８を複数個設置し、各ペリクル固定部１８のピン装着部３２に装着し、先端部１６ａをペリクルフレーム１６ａの凹部２６に挿入したピン２８を所定角度回動して、ピン２８の先端部２８ａを凹部２６から抜け出なくするように、ピン２８を保持する保持手段としての突起部３０と切欠部３２ａとを具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】容器本体の所定位置に固定した状態のペリクルを蓋体で被覆して異物付着を防止しつつ、輸送中にも前記固定状態を確実に維持でき、且つ前記固定状態を簡単に解除してペリクルの取り出しを可能とするペリクル収容容器を提供する。
【解決手段】ペリクル１６を載置した容器本体１２と蓋体１４とから構成され、ペリクルフレーム１６ａの凹部２６に、先端部２８ａを挿入した状態で回動可能のピン２８と、容器本体１２に設けた、ペリクルフレーム１６ａの凹部２６から先端部２８ａが抜き出し可能にピン２８を装着するピン装着部３２と、容器本体１２に被着した蓋体１４の外側からピン装着部３２のピン２８を回動できるように蓋体１４に形成した開口部１４ａと、開口部１４ａの閉塞板４０とを備えたペリクル固定部１８を複数設置し、ピン装着部３２に装着したピン２８を所定角度回動して、ピン２８を保持する突起部３０と切欠部３２ｂとを具備する。 （もっと読む）

【課題】清浄気を清浄気送風面から排気用面に向けて適切に流動させながらも、基板収納器の洗浄を良好に行えるようにすることができる清浄気送風ユニットを提供する。
【解決手段】直方体状の基板収納器Ｋを収納する複数の収納部、基板収納器Ｋに対して基板１の取出し及び収納を行う基板搬出入部、及び、収納部と基板搬出入部との間で基板収納器を搬送する搬送手段を備えた保管装置に保管される基板収納器Ｋに対して着脱自在に装着される清浄気送風ユニットＪであって、基板収納器Ｋの４つの側面のうちの一つの側面を清浄気送風面としかつその清浄気送風面に対向する側面を排気用面として、清浄気送風面から排気用面に向けて水平方向に沿う清浄気を通風するファンフィルタユニットＦ、及び、基板収納器Ｋの４つの側面のうちの、清浄気送風面及び排気用面を除いた２つの側面を覆う一対の遮蔽板１０が装備されている。 （もっと読む）

【課題】高度なクリーン度が要求される電子材料部品等を包装する無塵包装袋について、自動包装機による自動包装適性を改善する。
【解決手段】少なくとも最内層にシーラント層２を有する電子部品等包装用の無塵包装袋において、最外層４フィルムの裏面（隣接層との貼り合わせ面）に、ポリチオフェン系導電性高分子による帯電防止層を形成し、最外層フィルムの表面の摩擦帯電圧試験での初期帯電圧のピーク値が絶対値で２．０ｋＶ以下であるものとする。 （もっと読む）

【課題】施錠機構の施錠時に回転操作体を円滑に回転させたり、適切な位置に停止させることができ、しかも、回転操作体の回転に要するトルクを抑制できる蓋体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】蓋本体１１とカバープレートの間に介在され、回転操作リール３１の回転で施錠爪４１が出没する施錠機構３０と、回転操作リール３１の回転位置を制御する位置制御手段５０とを備え、位置制御手段５０を、回転操作リール３１の回転に応じて揺動するリンク５１と、回転操作リール３１とリンク５１に連結されるバネ５５と、リンク５１の接触溝５２と接触する位置規制ピン５７とから構成する。回転操作リール３１が解錠位置から施錠方向の施錠位置に回転する途中で、リンク５１を揺動させてその回転途中の回転操作リール３１に対する向きを変化させ、回転操作リール３１に作用する付勢力の方向を回転操作リール３１の回転方向に変更する。 （もっと読む）

【課題】 直方体状の枠体(1) 内に複数枚の板体(B) を縦姿勢でかつ並列にかつその板体
(B) 面が枠体(1) の両側面と平行になるように収容する板体収容カセットであって、板体
(1) の出入および運搬を円滑に行うことができることはもとより、板体(1) が大サイズで
かつ重量が大の基板やパネルであっても、カセット側の板体(1) 支承部にも損傷を与え難
くかつ板体(1) 側の下端エッジにも割れや欠けを生じ難いカセットを提供することを目的
とする。
【解決手段】 直方体状の枠体(1) において、その低所位置には板体下端受けとめ用ロー
ラ(2) 群、低所位置であって前記ローラ(2) 群の設置位置よりも高い位置には板体下部規
制用ローラ(3) 群、枠体(1) の中所ないし高所位置には板体上部側規制用ローラ(4) 群を
それぞれ設けることにより、板体(1) を３点支持しうるようにしたカセットである。 （もっと読む）

【課題】基板、蓋体、施錠機構の損傷等を排除し、施錠機構の施錠動作を安定させて蓋体の引き込み量を確保し、施錠機構の組み立ての迅速化を図るとともに、回転操作体と施錠バーが外れること等で施錠機構が解錠するのを防ぐ基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ収納用の容器本体と、容器本体の正面に嵌合される蓋体１０と、蓋体１０施錠用の施錠機構４０を備え、施錠機構４０を、蓋体１０に支持されてカバープレート３０側から操作される回転操作体４１と、回転操作体４１の回転で上下方向にスライドして容器本体の施錠穴に先端部６５を接離させる施錠バー６４とから構成し、回転操作体４１を第一、第二の回転操作体４２・４２Ａに分割し、第一、第二の回転操作体４２・４２Ａに、カムを形成する第一、第二のカム部５１・６０を形成し、第一、第二のカム部５１・６０に、蓋体１０の厚さ方向に揺動する施錠バー６４の末端部を挟持させる。 （もっと読む）

【課題】異物が搬送時の振動で飛散するのを防ぐことができるチップトレイを得る。
【解決手段】チップトレイ１は、複数に区画されたポケット２を有するワッフル形状である。このポケット２に半導体チップ３を収納する。ポケット２の底面に粘着材４と突起部５が設けられている。突起部５は粘着材４よりも突出している。半導体チップ３をポケット２に収納した際に、半導体チップ３の裏面は突起部５のみに接触し、粘着材４には接触しない。 （もっと読む）

【課題】基板等から安全かつ効率的に接着剤を除去することができる接着剤の除去方法及びそれら方法を採用するペリクルフレーム接着剤除去装置を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するため、１）接着剤又はその残渣が存在する基板の表面を流体で被覆しながら、２）前記接着剤又はその残渣が存在する箇所近辺に前記流体の流れを遮る隔離領域あるいは、流れが滞留した隔離領域を形成し、３）前記隔離領域内で前記基板を押圧する摺動体を揺動させ、４）前記隔離領域内に前記接着剤又はその残渣を剥離或いは溶融する薬剤を滴下し、若しくは前記揺動体に前記薬剤を滴下するとともに、５）当該摺動体を前記接着剤またはその残渣上を水平方向に移動させ、６）機械的かつ化学的に前記接着剤又はその残渣を前記基板から剥離することを特徴とする接着剤の除去方法の構成とした。 （もっと読む）

【課題】マスクからの剥離を抑制しつつ、剥離する際は、マスクから容易に剥離することを可能とする。
【解決手段】大型ペリクル用枠体は、平面視において矩形状を有する開口部を覆うように大型ペリクル膜を展張支持する枠体であって、開口部の周縁は枠部材によって形成されている。そして、この大型ペリクル用枠体が、枠体の厚みに対して特定範囲の割合の段部を有することで、マスクとの密着性が高く、かつ、マスクから容易に剥離させることができる大型ペリクル用枠体及び大型ペリクルを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、高い密度で集積された薄板基板を、湾曲させた状態で損傷したり汚したりすることなく、安全に搬送および保管することができるパレットの提供を目的とする。
【解決手段】 本発明は、薄板基板１を湾曲させて収納する基板保持用枠体１０を、多段に積層し載置するための湾曲形状保持部３０と、移動搬送装置のための移動搬送装置対応部４０を上下に固着した２層構造からなり、湾曲した湾曲形状保持部３０の上面に固着した嵌合用枠体２０の嵌合用金属枠部２１の上面から内周下方向に傾斜して突出しているパレット側嵌合部２２と、載置される基板保持用枠体１０の金属枠部１１の下面から内周下方向に傾斜して突出している第１嵌合部１２との嵌め合わせにより、上記の課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】収納容器の反りを解消し、収納容器に収納したまま検査などができる収納容器および収納容器保持方法を提供する。
【解決手段】収納容器１００は、収納部１０と、形状変形手段２０と、を備える収納容器であって、形状変形手段２０は、収納部１０を形成する樹脂１２に設けられた磁性体２１を有し、磁性体２１に作用する磁力によって収納容器１００の形状が変形する。収納容器１００によれば、磁性体２１に磁力を作用させることによって収納容器１００に力を加えることができる。この力を利用することで、収納容器１００が変形している場合には、変形部分が矯正される方向に磁力を作用させることにより、収納容器１００に接触することなく力を加えて保持することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハを傷つけることなく、半導体ウェハの裏面に材料が堆積されることを抑制することができる半導体ウェハカバーを提供する。
【解決手段】半導体ウェハカバーは、第１のカバー部と、第２のカバー部とを備える。第１のカバー部は、半導体ウェハの表面を露出させつつ半導体ウェハの裏面の少なくとも外縁部を被覆するように半導体ウェハを収容し、半導体ウェハの裏面の中心部分において第１の開口部を有する。第２のカバー部は、第１の開口部に嵌合し、半導体ウェハの裏面の中心部分を被覆する。第１の開口部の径が半導体ウェハの搭載面から半導体ウェハの非搭載面に向かって小さくなるように該第１の開口部の内側面はテーパーを有する。 （もっと読む）

【課題】 ２メートル角程度の大サイズ薄板基板を安全に保管・輸送できる基板保持用枠体等を提供する。
【解決手段】
本発明の基板保持用枠体１０は、矩形状の薄板基板の１枚を、枠体内に収め、当該薄板基板を収めた状態の該枠体を位置合わせして多段に積み重ねた状態で、搬送または保管の用途に供する基板保持用枠体であって、左右の辺が平坦で、前後の辺が基板の下方に湾曲している金属枠部１１と、金属枠部の上面または下面からさらに四辺内周側に延出された基板支持部１３と、該金属枠部１１の四辺内周側に向かって下方に傾斜した嵌合部１２ａ及び１２ｂと、薄板基板接触面側に装着された樹脂製の基板保持部材１４と、からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維に樹脂を含浸させた複合体を利用し、寸法を変更することなく全体の剛性を向上でき、軽量化可能で且つ製造が簡単なペリクルフレームを提供する。
【解決手段】ペリクルフレーム１０は、長方形形状のペリクルフレーム１０の各辺が、長繊維状の炭素繊維と樹脂との複合材料から成る細長材１４，２０によって形成され、前記炭素繊維は、細長材１４，２０の長手方向に配向されていることを特徴とする。細長材１４，２０の全表面は、前記炭素繊維が露出しないように樹脂皮膜で覆われる。 （もっと読む）

【課題】 保管・輸送・開封に際しても、発塵することが少なく、袋に収納する製品、特にはペリクル容器の内部に収納されたペリクルを汚染することのないペリクル収納方法を提供する。
【解決手段】 ペリクルを収納した容器をクリーン仕様の第一の袋に入れてその口を閉じ、次いでこれを帯電防止機能を有する第二の袋に入れてその口を閉じ、更に帯電防止機能を有する第三の袋に入れて密閉することを特徴とするペリクル収納方法である。 （もっと読む）

【課題】内部空間の雰囲気を仕切ることによって、相互汚染が生じるのを抑制することができる基板収容器を提供する。
【解決手段】ＦＯＵＰ１に仕切り板ＤＰ１を装着すると、収容器本体３の内部空間５を複数の雰囲気（第１の空間ＳＰ１，第２の空間ＳＰ２）に仕切ることができる。したがって、内部空間５の仕切られた各雰囲気を使い分けることにより、基板の相互汚染を抑制することができる。また、特殊なＦＯＵＰ１ではなく、規格化された標準的なＦＯＵＰ１を用いることができるので、コストの上昇を仕切り板ＤＰ１に相当する分だけですませることができる。したがって、ＦＯＵＰ１内における内部空間５の雰囲気を容易に低コストで分離することができる。 （もっと読む）

【課題】 蓋体の開閉時に容器本体と蓋体とが擦れやすくなるのを抑制し、パーティクル等の塵埃が基板を汚染するおそれを有効に排除できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 複数枚の半導体ウェーハＷを整列収納する容器本体１の開口した正面２に蓋体１０を着脱自在に嵌合し、容器本体１の正面内周に蓋体１０の周壁を接触させる基板収納容器であり、容器本体１の正面内周と蓋体１０の周壁の少なくともいずれか一方に、断面視で略半紡錘形あるいは略台形の回避部３０を凹み形成し、この回避部３０により、容器本体１の正面内周と蓋体１０の周壁との擦れに伴うパーティクルの発生を抑制する。例え基板収納容器の内部が減圧状態になっても、容器本体１正面２の変形し易い上部中央、下部中央、両側部中央がそれぞれ内側に湾曲して反るのを抑制防止することができる。 （もっと読む）