【課題】
本発明は、真空ポンプの再生のためによる装置稼働率の低下を防止できる真空処理装置及び真空処理方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、真空チャンバ内を所定の真空度にし、該所定の真空度を維持し、前記所定の真空度を有する前記チャンバ内で所定の処理をする真空処理装置または真空処理方法であって、再生処理が必要な複数台の真空ポンプで前記所定の真空度を得、複数台の前記真空ポンプのうち少なくとも１台の第１の真空ポンプと前記真空チャンバとを隔離し、前記隔離された前記真空ポンプの再生処理を行ない、複数台の前記真空ポンプのうち前記第１の真空ポンプでない他の前記真空ポンプのうち少なくとも1台の第２の前記真空ポンプで前記真空チャンバの前記所定の真空度を維持することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】効率的にクライオポンプの劣化を監視することができるクライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプの監視方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプは、気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネルと、クライオパネルを収容するポンプ容器とを備える。クライオポンプの再生処理は、基本パージ処理と、排気処理と、必要な場合に追加実施される追加パージ処理と、を含む。追加パージ処理は、１回以上のガスパージ工程を含む。クライオポンプを制御するクライオポンプ制御装置８０において、劣化判定部８８は、１回の再生処理において追加実施が必要となったガスパージ工程の合計数であるリパージ回数が、劣化判定基準回数に達した否か判定する。 （もっと読む）

【課題】適切にクライオポンプの真空度保持状態を検査できるクライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプの真空度保持判定方法を提供する。
【解決手段】気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネル４８と、クライオパネル４８を収容するポンプ容器３６とを備えるクライオポンプの排気処理を制御するクライオポンプ制御装置８０において、圧力制御部９４は、ポンプ容器３６内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知したときに真空引きを停止させる。真空度保持判定部９２は、第１測定時刻と第２測定時刻におけるポンプ容器３６内の圧力測定値の差が圧力変化許容範囲内であるか判定する。第１測定時刻は、ポンプ容器３６内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知した時刻に、真空引きの動作遅延に関する補正時間を加算して定められる。 （もっと読む）

【課題】複数のクライオポンプの圧力差が再生プロセスに与える影響を緩和する。
【解決手段】クライオポンプシステム１００は、粗引きポンプ７３を共用し、各々が粗引きバルブ７２を含む複数のクライオポンプ１０と、複数のクライオポンプ１０の再生のために各粗引きバルブ７２を制御するＣＰコントローラ２０と、を備え、開放されている粗引きバルブ７２の閉鎖と閉鎖されている他の粗引きバルブ７２の開放との間に遅延時間が設定されている。 （もっと読む）

【課題】リニアコンプレッサの共振周波数を調節するために、電子制御システムの高い費用および高いエネルギー損を出さずに、コンプレッサの機械的共振周波数をコンプレッサの給電周波数に実質的に近い値へと制御する。
【解決手段】外殻の内部に、リニアモータ２０と、シリンダ１と、シリンダ１内で往復するピストン１０と、ピストン１０をリニアモータ２０に作動状態で結合する起動手段９とを備え、前記システムが、リニアモータ２０に、放出時の気体圧力に関連するリニアモータ２０の作動状態で加えられる負荷を検出する検出手段Ｄと、前記作動状態に応じて、共振アセンブリの質量およびピストン１０の平均ストロークに関連する値のうち少なくとも一方を、給電周波数に対応する共振アセンブリの機械的共振周波数の値へと変更することによって、周波数調節を画定するために、検出手段Ｄおよび共振アセンブリと作動状態で関連する周波数調節手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】運転効率を向上させることが可能な空気圧縮機を提供する。
【解決手段】空気圧縮機１の制御部１５１は、２つの高圧用カプラと２つの常圧用カプラが接続する各空気通路に設けられた流量センサ１３７ａ〜１３７ｄにより検出された圧縮空気の流量から、使用されているカプラの種類とその個数を検出する。そして、検出したカプラの種類とその個数と、圧力センサ１３３が検出した１次タンク内圧力の圧力降下率とに基づいて、開閉設定ＤＢ１５１ｅに記憶された開閉弁１３２の開閉状態を取得する。そして、制御部１５１は、取得した開閉状態に基づいて、１次タンクと２次タンクとの間に設けられた開閉弁１３２の開閉を制御する。 （もっと読む）

【課題】冷媒回路における冷媒の異常高圧を回避する。
【解決手段】斜板式の可変容量圧縮機は、そのシリンダブロック１０１の上部にマフラ（マフラ空間１２３）を備える。マフラ空間１２３は、圧縮機の吐出室に連通する連通路に接続しており、この接続部には冷媒逆流抑制用の逆止弁２００が設けられている。マフラ空間１２３は吐出ポートを介して吐出側外部冷媒回路に連通する。マフラ空間１２３内の高圧リリーフ弁２５０は、その入口孔が逆止弁２００より下流のマフラ空間１２３に連通し、出口孔がシリンダブロック１０１の連通路１０１ｃ，１０１ｄを介して圧縮機のクランク室１０５に連通する。クランク室１０５は抽気通路を介して圧縮機の吸入室に連通する。マフラ空間１２３の異常高圧時には高圧リリーフ弁２５０が開弁し、高圧の冷媒がマフラ空間１２３から連通路１０１ｃ，１０１ｄを通過してクランク室１０５に流入する。 （もっと読む）

【課題】流体ポンプを制御するシステム及び方法と、最初の使用時又は電気的又は機械的故障によって問題が生じた場合に夫々の機能を較正する手段を設けたリニア圧縮機を提供する。
【解決手段】流体ポンプ１０に、ピストン位置検知アセンブリ１１と、衝撃信号を検出することにより、シリンダ内のピストン変位を監視する電子コントローラ１６とを設ける。衝撃信号が、行程端とのピストンの衝突の発生時に検知アセンブリ１１によって伝送され、電子コントローラ１６は、引き続いて、トリガー信号に応じて、衝突の発生までピストン変位行程をインクリメントして、ピストン変位の最大値を格納する。 （もっと読む）

【課題】 クランク室６の圧力を制御することにより、ピストンのストロークを変化させる斜板式の可変容量圧縮機において、冷媒ガスに含まれる潤滑オイルが圧縮機外へ循環するのを極力回避する。
【解決手段】 吐出室２２内の吐出冷媒ガスの一部を連通路２５（２５ａ、２５ｂ）及び制御弁２７を介してクランク室６に導入する一方、クランク室６から第２連通路２６及びオリフィス２８を介して吸入室２１へ導出し、導入量と導出量とのバランスで、クランク室６の圧力を制御する。ここにおいて、第１連通路２５における制御弁２７の下流に拡張形成されて、オイルを分離すると共に分離されたオイルを貯留する貯油室３０を設ける。また、貯油室３０からクランク室６へ第１連通路２５ｂとは別に形成されて、貯油室に貯留されたオイルをクランク室６へ戻すオイル戻し通路３１を設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、リニア圧縮機に関し、特に冷力可変及び突入電流の防止を遂行するリニア圧縮機の制御装置に関する。
【解決手段】本発明のリニア圧縮機の制御装置は、リニア圧縮機に積層されたコイル捲線体と、上記コイル捲線体に直列に接続された第１キャパシターと、上記第１キャパシターと並列構造を有し、キャパシタースイッチを備えたキャパシタンス可変部と、上記キャパシタースイッチを制御して制御装置の全体キャパシタンスを可変することにより、上記リニア圧縮機の出力変化を生じさせる制御部と、からなる。 （もっと読む）

【課題】ＤＣ／ＤＣコンバータを用いることなく、小型、高効率の振動型圧縮機の制御方法及び制御装置を得る。
【解決手段】マイクロプロセッサユニット（ＭＰＵ）で基本周期とＰＷＭ信号を生成し、フルブリッジタイプのインバータを作動させて振動型圧縮機の電磁コイルを駆動する。インバータの入力電圧の変動をＰＷＭパルス幅で制御するとともに、電磁コイルに誘起される電圧のゼロクロスポイントの検出に基づいて基本周期を補正する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの作動中においてアクチュエータの振動の振幅を低減させるのに有利なアクチュエータ振動制御装置を提供する。
【解決手段】制御装置は、外部１の振動の影響を受ける環境に設置され共振周波数ｆｒを有すると共に作動機構６を作動させる可動部２８をもつアクチュエータ２と、外部の振動の外部振動周波数ｆｍを検知する振動検知部４と、アクチュエータ２の作動時において、アクチュエータ２の駆動周波数ｆがアクチュエータ２の共振周波数ｆｒおよび外部振動周波数ｆｍに対して離間する方向に、アクチュエータ２の駆動周波数ｆを制御する制御部５とをもつ。 （もっと読む）

【課題】エアタンク内の圧力が設定圧力を超えるとエンジンからの動力を自動的に切り離してエアコンプレッサの空回りを防止することができる車両用エアコンプレッサの自動空回り防止装置を提供する。
【解決手段】車両用エンジン２により駆動される車両用エアコンプレッサ１と、該エアコンプレッサ１から突出される圧縮空気を吐出管１５を介して蓄圧するエアタンク１６と、前記車両用エンジン２の動力取出し部４と前記エアコンプレッサ１の入力軸８ａとの間に設けられ動力の伝達を断接するクラッチ１７を有する動力伝達機構３とを備え、前記動力伝達機構３は、前記エアタンク１６内又は前記吐出管内１５の圧力が設定圧力以下のときに前記クラッチ１７を接にし、設定圧力を超えたときに前記クラッチ１７を断にするように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 慣性の小さい電動モータを用いても安定して駆動することができる往復動圧縮機を提供する。
【解決手段】 圧縮部４を駆動する電動モータ３には、モータ駆動制御装置２２を接続する。このモータ駆動装置２２の制御部３０は、回転センサ２０による回転位置θに基づいて、電動モータ３に供給するモータ電力Ｐmを制御する。そして、制御部３０は、圧縮部４の負荷が大きいときには、タンク１８の圧力検出値Ｐを用いて圧縮部４の最大負荷ＰＭを演算し、この最大負荷ＰＭを乗り越えるために電源電力Ｐ0よりも増加したモータ電力Ｐmを電動モータ３に供給する。また、制御部３０は、圧縮部４の負荷が小さいときには、電源電力Ｐ0よりも減少した吸込行程電力Ｐ2を供給する。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー消費の少ない真空排気技術を提供すること。
【解決手段】冷凍機を有する真空排気ポンプの複数台が共通の圧縮機に繋がれており、複数台の真空排気ポンプのうちの少なくとも一台は、冷凍機のバルブが動作することによってシリンダの内部が低圧状態から高圧状態に移行することにより、低圧状態のガスが断熱圧縮される工程と、断熱圧縮されたガス中をディスプレーサが通過する工程とを含む動作を繰り返す運転をしており、複数台の真空排気ポンプのうちの他の少なくとも一台は、冷凍機のバルブが動作することによってシリンダの内部が高圧状態から低圧状態に移行することにより、高圧状態のガスが断熱膨張する工程と、断熱膨張したガス中をディスプレーサが通過する工程とを含む動作を繰り返す運転をしている。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが取り付けられる真空装置での真空処理に適合した運転状態のモニタリングを実現する。
【解決手段】クライオポンプは、真空処理を行う真空装置の真空チャンバからガスを排気する。クライオポンプは、冷凍機と、冷凍機により冷却されるクライオパネルと、クライオパネルを目標温度に制御するよう冷凍機の運転周波数を制御する制御部と、を備える。制御部は、冷凍機の運転周波数が第１判定基準に達した場合に運転周波数を第１判定時間監視し、運転周波数が第１判定基準よりも高負荷に相当する第２判定基準に達した場合にクライオパネルの温度を第１判定時間よりも短い第２判定時間監視する。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが取り付けられる真空装置での真空処理に適合した運転状態のモニタリングを実現する。
【解決手段】制御部は、真空装置において設定されている２段クライオパネル上限温度より低温に設定された警戒温度以上に２段クライオパネルが昇温されたか否かを判定する第１判定と、警戒温度を上限として設定された温度範囲に設定時間以上継続して２段クライオパネルが昇温されているか否かを判定する第２判定と、を１段クライオパネルの目標温度への制御中に行う。制御部は、クライオポンプの稼動当初に測定された２段クライオパネルの最低到達温度から排気運転中の２段クライオパネル温度が乖離した状態が設定時間よりも長く設定された持続時間以上継続したか否かを判定する第３判定を、目標温度への制御中に行ってもよい。 （もっと読む）

本発明は、閉塞された出口事象の間中リリーフ負荷を低減するための、圧縮機（１００）を運転する方法、およびその装置を提供するものであり、方法は、（ａ）１つまたは複数の圧縮機供給流（１０、２０、３０、４０）を第１の圧縮機（１００）の１つまたは複数の入口（１８、２８、３８、４８）に通過させ、各圧縮機供給流（１０、２０、３０、４０）が圧縮機供給弁（１２、２２、３２、４２）を通過するステップと、（ｂ）第１の圧縮機（１００）の出口（１０５）において圧縮された吐出流（１５０）を供給するように第１の圧縮機（１００）で１つまたは複数の圧縮機供給流（１０、２０、３０、４０）を圧縮するステップと、（ｃ）第１の圧縮機（１００）の閉塞された出口事象の第１の指標を監視するステップと、（ｄ）第１の圧縮機（１００）の閉塞された出口事象の第１の指標が検出されると、圧縮機供給弁（１２、２２、３２、４２）の閉鎖を指示するステップとを少なくとも含む。
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【課題】構成サイズ及び電流消費の低減に関する公知の要求が改善されるにもかかわらず、液圧式の逆流制御と同様の高い操作力を、高い運動動特性において提供することができる、電気的に運転される逆流制御を行う往復圧縮機を提供する。
【解決手段】リフト装置（３）が、駆動装置として電動モータ（５）を有しており、該電動モータ（５）の被動部材（６）が、回転方向で傾いて延びるガイド軌道（７）を、低摩擦の転動部材（８）のために有しており、該転動部材（８）が他方では、リフトグリッパ（２）に結合される回り止めされたリフト部材（１０）に設けられた、傾いて延びる相手側ガイド（９）と協働するようにした。 （もっと読む）