【課題】マスクの再生を容易かつ確実に行い得るマスクの再生方法を提供することにある。
【解決手段】本発明のマスクの再生方法は、シリコンおよび／またはガラスで構成され、導電性を有する無機物質を成膜する際に使用されるマスクを、使用後に再生する方法であり、マスクに、硝酸およびリン酸のうちの少なくとも一方を含む第１の処理液を接触させて、マスクに付着した無機物質を除去する第１の工程と、マスクに、アンモニアおよび過酸化水素を含有する第２の処理液を接触させて、マスクに付着・残存する不要物を除去する第２の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】成膜速度の制御を精度良く行うことが可能であると共に、素子の量産が可能な高い再現性の成膜を可能とする成膜装置および成膜方法を実現する。
【解決手段】本発明のＭＢＥ装置１は、基板３４に向けて粒子線を照射する分子線源３１ａ・３１ｂと、分子線源３１ａ・３１ｂから照射された粒子線に含まれる粒子数を測定する原子吸光式成膜モニタ２４と、基板３４上に成膜された膜の物理的特性および／または化学的特性や自装置の状態の特性を検査・計測する第１〜第３検査装置４３ａ・４３ｂ・４３ｃと、分子線源３１ａ・３１ｂを制御する演算処理装置３９とを備えている。演算処理装置３９は、原子吸光式成膜モニタ２４の測定結果と、第１〜第３検査装置４３ａ・４３ｂ・４３ｃの検査結果および計測結果とに基づいて分子線源３１ａ・３１ｂを制御する。 （もっと読む）

【課題】真空成形等の三次元の立体成形においても金属光沢層に問題が発生せず、層間密着性を有する、金属光沢を表現した金属調化粧シートを提供すること。
【解決手段】少なくとも熱可塑性樹脂基材、接着剤層、金属光沢層、接着剤層、透明熱可塑性樹脂表面層をこの順に設けてなる金属調化粧シートにおいて、前記金属光沢層が、透明熱可塑性樹脂層の両面に金属蒸着層を設けたものであることを特徴とし、前記透明熱可塑性樹脂層が、厚み６〜１００μｍのポリエステル系かポリオレフィン系樹脂単体または複合あるいは混合物からなり、前記金属蒸着層が厚み５０〜１５０ｎｍであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造工程で発生する太陽電池の損失を最小化し、低コストの工程でも可能な集積型薄膜太陽電池及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の製造方法は、（ａ）基板上に隣接している、互いに所定の間隔に離間するようにパターニングされた導電性物質を形成するステップと、（ｂ）前記（ａ）ステップによる基板上に、太陽電池（半導体）層を形成するステップと、（ｃ）前記太陽電池（半導体）層上に、第１透明導電性物質を斜めに蒸着するステップと、（ｄ）前記第１透明導電性物質をマスクとして、前記太陽電池（半導体）層をエッチングするステップと、（ｅ）前記（ｄ）ステップによる基板上に、第２透明導電性物質を斜めに蒸着して、前記導電性物質と前記第１透明導電性物質とを電気的に接続させるステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】 ハンダ膜の融解時間を短縮することにより、ハンダ工程の高速化を実現し、かつ半導体素子等に対する熱影響を確実に回避するとともに、融解温度及び融解時間の安定化による膜品質及び均質性の向上に貢献する。
【解決手段】 Ａｕ−Ｓｎ合金１０を基板２０に蒸着してハンダ膜１を形成するに際し、Ａｕ−Ｓｎ合金１０を構成するＡｕを５０〜８０〔重量％〕含むとともに、ＡｕとＳｎを二つの蒸発源３１ｘ，３１ｙからそれぞれ同時に蒸発させて蒸着を行うことによりＡｕ−Ｓｎ合金１０を形成し、Ａｕ−Ｓｎ合金１０を構成するＡｕとＳｎの結晶成分として、少なくとも、Ａｕ₅Ｓｎ，ＡｕＳｎ及びＡｕＳｎ₂を含有するハンダ膜１を形成する。 （もっと読む）

【課題】レーザビームの強度を増大し、クラスター群の生成量の増大とクラスター群のクラスター生成容器からの取り出しを増大する。
【解決手段】クラスター生成容器５内において、ターゲット１にレーザビーム２を照射し、発生する材料蒸気が不活性ガスの衝撃波４を発生せしめ、該衝撃波４がクラスター生成容器５の壁に反射して進行してきた材料蒸気を特定領域に閉じ込め、材料蒸気の原子あるいは分子同士の衝突によりクラスター群を生成して流出窓７から流出せしめ、基板９上に散布してクラスター膜１０を成膜する装置において、該レーザビーム２のエネルギー強度の増大に応じて該ターゲット表面での該レーザビーム２の断面積を拡大せしめて、材料蒸気の発生蒸気量増大と該不活性ガスの衝撃波の効率的発生を両立せしめ、同時に該衝撃波の反射波が材料蒸気を閉じ込める条件を満たすようにクラスター生成容器を拡大化する。 （もっと読む）

【課題】微小領域に任意の形状でダイレクトにパターニングできる処理方法及び処理装置、並びにそれらにより作成された電子デバイスを提供すること。
【解決手段】第１の噴出口に反応性ガス及び蒸着物質が供給されつつ前記第１の噴出口の外周に設けられた第２の噴出口から不活性ガスを導入し、前記第１の噴出口の外周に設けられた電極に高周波電力を印加することで、前記第１の噴出口に対向して設けられた基板を処理する処理方法であって、前記蒸着物質は基板上に噴出されるとともにその一部は前記反応性ガスによってアッシング処理されることで解決できる。 （もっと読む）

【課題】表示部を形成するためのパターンが形成された基板と、被位置合わせ部材とを高精度に位置合わせ可能な表示装置の製造装置を提供すること、煩雑な工程を行うことなく高精度に位置合わせ可能な製造方法を提供すること等。
【解決手段】表示装置の製造装置１００は表示部を形成するためのパターン２４が形成された基板２に被位置合わせ部材（マスク３）を対面させてパターン２４とマスク３との位置合わせを行う。基板２はパターン２４との位置関係が予め規定された位置に出力機能を有する受光素子部２１を備える。マスク３は位置合わせ用透光部３２を有する。製造装置１００は受光素子部２１又は透光部３２との位置関係が固定され、透光部３２を介して受光素子部２１に光を照射可能な光源４を有する。製造装置１００は受光素子部２１の出力を基に基板２とマスク３との位置制御を行う位置制御手段（相対位置駆動部５や制御部８）を有する。 （もっと読む）

【課題】
スピード及び像品質を劣化させずに安定性を有する結合剤のない針状貯蔵燐光体パネルを提供する。
【解決手段】
蒸着装置において一つ以上のるつぼ及び／又はるつぼユニットからマトリックス及び／又は活性化剤成分の燐光体プリカーサ原材料を蒸着することによって支持体上に被覆された燐光体層を有する貯蔵燐光体パネルの湿度安定性を増大する方法であって、蒸着の終了後に追加の過剰アニール工程が実施され、前記「過剰アニール」工程が「参照アニール時間（４時間）」を越える時間にわたって「参照アニール温度（１７０℃）」を越える温度でアニールすることによって行なわれる。 （もっと読む）

【課題】基板の高温加熱を行わなくても、可視だけでなく紫外領域においても光学吸収が低く、緻密で、環境耐久性が高いクラスタビームによる弗化物膜の形成方法を提供する。
【解決手段】真空蒸着法による膜形成方法とクラスタビームを用いて、つぎのように弗化物膜を形成する。
すなわち、弗化物膜の形成に際し、クラスタイオンビーム源５から合成石英基板７にクラスタイオンビーム照射しながら、抵抗加熱ボード３から弗化物膜材料を真空蒸発させ、合成石英基板７上に弗化物膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】ＰＬ用およびＥＬ用として高輝度、高効率な３元系硫化物蛍光体を得ることができる蛍光体の製造方法およびそれにより製造された蛍光体を提供する。
【解決手段】一般式（ＭＩ）（ＭII）_２Ｓ_４：Ｒｅ（但し、ＭＩ＝Ｂａ、Ｃａ、ＭｇまたはＳｒ：ＭII＝Ｇａ、ＩｎまたはＡｌ：Ｒｅ＝Ｅｕ^２＋、Ｅｕ^３＋、Ｃｅ^３＋またはＭｎ^２＋）で表される蛍光体の製造方法において、スパッタ法または電子線蒸着法または多源蒸着法を用いて蛍光体の薄膜を製造するにあたり、フラックス材料として硫化亜鉛を含むものを用いる。好適には、蛍光体がＢａＡｌ_２Ｓ_４：Ｅｕ^２＋で表される青色蛍光体の薄膜である。 （もっと読む）

【課題】レンズが着色せず、良好な帯電防止性及び撥水性を有する薄膜及び光学部材の製造方法を提供する。
【解決手段】（ａ）パーフルオロアルキル基を有する撥水剤、（ｂ）シランカップリング剤、側鎖及び／又は両末端に有機基を導入した変性シリコーンオイル及びパーフルオロエーテル化合物との混合物、及び（ｃ）フラーレン類、カーボンナノチューブ類及び黒鉛化合物から選ばれる少なくとも１種類の導電性物質とを混合してなる撥水剤溶液を用い、真空蒸着法にて薄膜を形成する薄膜の製造方法、並びに、光学基板上に多層反射防止膜を形成する光学部材の製造方法において、該多層反射防止膜上に、前述の本発明の薄膜製造方法により薄膜をさらに形成する光学部材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】リーク電流が少ない、有機エレクトロルミネッセンス素子と、該素子を利用したＥＬパネルの製造方法を提供することが本発明の課題である。
【解決手段】基板上に、Ａ）第一の電極を成膜する工程と、Ｂ）該第一の電極上に発光層を含む一層以上の有機化合物薄膜層を積層する工程と、Ｃ）該有機化合物薄膜層上に第二の電極を積層する工程と、を少なくとも有する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、工程Ｂ及びＣと、工程ＢとＣとの間と、工程Ｃ終了後、基板温度が室温となるまでの間と、における該基板温度が７０℃以下であり、かつ、温度変化速度の絶対値が１．５℃／ｓｅｃ以内である有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、Ａｇ層の密着性を高めることができ、またＡｌ_２Ｏ_３層とＴｉＯ_２層間の白濁も防止でき、耐環境特性に優れた銀ミラーを提供することにある。
【解決手段】 本発明の銀ミラーは、基板１と、この基板１上に設けられた下部バッファ層２と、この下部バッファ層２上に設けられたＮｉ−Ｃｒ合金層からなる金属層３と、この金属層３上に設けられたＡｇ層４と、このＡｇ層４上に形成されたＡｌ_２Ｏ_３層５ａとＳｉＯ_２層５ｂとからなる上部バッファ層５と、この上部バッファ層５のＳｉＯ_２層５ｂ上に設けられたＴｉＯ_２層からなる増反射層６と、を有することを特徴とする。
（もっと読む）

【課題】被蒸着部材と蒸発源の少なくとも一方を直線移動させて、複数の異種材料を被蒸着部材に均一な成分量比で蒸着する。
【解決手段】異種の第１，第２蒸着材料を加熱して気化させる蒸発装置１２と、真空蒸着容器１１内で蒸発装置１２から気化された第１，第２蒸発材料を蒸着させるガラス基板１３と、ガラス基板１３をｘ方向に移動させる基板保持移動装置とを具備し、蒸発装置１２に、各蒸発部２１Ａ，２１Ｂから導入された第１，第２蒸発材料をそれぞれ第１拡散容器２３Ａ，２３Ｂで拡散した後に、ガラス基板１３に向かって第１，第２蒸発材料をそれぞれ放出する第１ノズル筒２５ａおよび第２ノズル筒２５ｂを近接配置したノズル組２５Ａ，２５Ｂを設け、ノズル組２５Ａ，２５Ｂをガラス基板１３の移動方向に直交する横断方向にライン状に配置した。 （もっと読む）

【課題】物理蒸着法であっても、光輝性及び不連続構造の金属皮膜を高生産性・低コストで得る。
【解決手段】 この樹脂製品１０は、樹脂基材１１の上に無機化合物を含む無機質下地膜１２を成膜し、無機質下地膜１２の上に光輝性及び不連続構造のＣｒ又はＩｎよりなる金属皮膜１３を物理蒸着法により成膜することを含んで製造される。より具体的には、無機質下地膜１２は、金属化合物よりなる薄膜であれば物理蒸着法により、無機塗料よりなる塗膜であればスプレー塗装等により成膜できる。金属皮膜１３は、Ｃｒ，Ｉｎ等を真空蒸着、スパッタリング等することにより成膜できる。 （もっと読む）

【課題】ガスタービンエンジンのタービン、燃焼器、およびオーグメンタ部を含む、都合の悪い熱環境で使用される部品（１０）の表面上の環境保護コーティングとして使用するのに適切なコーティング（２４）を提供すること。
【解決手段】コーティング（２４）は、超合金材料でできた基板（２２）の上に被着されたコーティングシステム（２０）内で使用される。コーティング（２４）は、超合金基板（２２）の表面に接触し、超合金材料の５０％より大きい引張強度を有するコーティング材料でできている。コーティング材料は主に、白金、ロジウム、パラジウム、およびイリジウムからなる群から選択された少なくとも１つの金属であり、コーティング（２４）を上に被着させる部品（１０）の強度にかなり貢献するのに十分な強度を有する。 （もっと読む）

本発明は、気化物質を母材に蒸着する方法、特に、半導体物質をドープするための方法に関する。上記方法によると、一定量の気化物質（２）の電荷がエンベロープ（３）を用いて気密的に密封されている気化電荷（vaporizing charge）（１）が、気化チャンバーに導入される。そして、気化物質が、その後気化チャンバー中で気化し、母材に蒸着されるように、エンベロープ（３）は加熱及び／または減圧により開けられる。本発明は、さらに、上述の気化電荷（１）の製造方法および気化電荷（１）に関する。
（もっと読む）

【課題】
真空蒸着において基板表面に良質で安定した膜質を成膜できる真空成膜方法、及び真空成膜装置を提供する。
【解決手段】
蒸着材料を真空中で脱ガス処理し、大気開放することなく成膜室へ供給し、前記蒸着材料の薄膜を基板へ成膜することを特徴とし、上記脱ガス処理が抵抗加熱装置、ヒーター、赤外線ランプ、高周波誘導加熱装置、電子銃による電子線照射装置、プラズマ発生装置のいずれかであり、上記蒸着材料の脱ガス処理を、窒素ガス、アルゴンガスもしくは水素ガスのいずれか１つの雰囲気中で行い、上記脱ガス処理後の蒸着材料の含水率が１．０％以下であることも特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】真空蒸着法により形成された薄膜であって、膜の密度が１．０５ｇ／ｃｍ^３以上である低分子有機材料からなる薄膜、該薄膜を作成可能な低分子有機材料、および該薄膜を含有してなる有機電界発光素子。
【効果】発光寿命が長く、耐久性に優れ、発光輝度が高い有機電界発光素子を提供することが可能になる。 （もっと読む）