【課題】 少数枚の基板の収納、保管、搬送に適し、効率的、経済的な基板収納容器及びその使用方法を提供する。
【解決手段】 ２枚の半導体ウェーハを上下に整列収納する容器本体１と、容器本体１の開口した前面を着脱自在に開閉する蓋体２０と、蓋体開閉装置からの外部操作に基づき、容器本体１の前面を嵌合閉鎖する蓋体２０を施錠・解錠する複数のロック機構４０とを備える。そして、容器本体１を、樹脂にカーボンナノチューブを添加した成形材料により射出成形する。２枚という少数枚の半導体ウェーハの枚数に応じて基板収納容器を薄く低く構成したので、サイズ等が必要以上に大きくなることがない。したがって、効率や経済性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】金属製の留め具を利用することなくハンドルを取付けたり取り外したりできるウェハー搬送用のウェハー搬送モジュールの提供。
【解決手段】ウェハー搬送モジュールのシェル５８には開閉可能なドア２４が備えられている。中央支持構造６０はシェル５８の底部において露出する処理装置とのインターフェース部と、ウェハーを支持するためにウェハー搬送モジュール内を上方に延びる一体構造のウェハー支持コラム９２とを有する。また、シェル５８の側壁７４、７６には、取り外し可能なハンドル２８に設けられた係合部材と協動する係合部材を備えた溝７８を有している。ハンドル２８には、このハンドル２８を側壁７４、７６の所定の位置へロックするための戻り止めが設けられている。 （もっと読む）

【課題】ウェハを差し込もうとする一対の相対向する溝を容易に識別でき、ウェハの差込みミスを防止できるようにする。
【解決手段】相対向する一対の側壁部材（１、２）の対向面に、ウェハ（Ｗ）の縁辺を案内する対向溝（３）が所定ピッチで互いに平行に複数設けられてなるウェハ用キャリアにおいて、上記各対向溝（３）を、上記一対の側壁部材（１、２）の内面に交互に配置されたウェハ差込側端部のテーパー角度（α、β）が異なる第一の凸部（５）と第二の凸部（６）とにより形成するようにする。その場合、上記一対の側壁部材（１、２）のうちの一方の側壁部材（１）の第一の凸部（５）と他方の側壁部材（２）の第一の凸部（５）とを互いに対向する同一位置に設け、同様に、一方の側壁部材（１）の第二の凸部（６）と他方の側壁部材（２）の第二の凸部（６）を互いに対向する同一位置に設けるようにする。 （もっと読む）

【課題】スロットに収納されたウェハ同士の間隔を一定に保つことにより、ウェハ同士の接触を防止すると共に、ハンドリング作業を容易にする。
【解決手段】少なくとも一面（１ａ）が開口した箱型構造の容器（１）であって、互いに相向かい合う一対の内壁にウェハ状の物体を一枚毎に収納するための保持溝（３）から成るスロット（４）を有し、横置きしたとき、ウェハ状の物体（Ｗ）が容器内で斜めになるようにし、スロットに収納されたウェハ状の物体間に一定した間隔が得られることを特徴とする。保持溝（３）が形成されていない側壁（１ｅ）の外面を接地させる状態で縦置きしたとき、収納されたウェハ（Ｗ）が略水平となるように、当該側壁（１ｅ）の外面が上記保持溝（３）と略平行となるよう構成することが推奨される。 （もっと読む）

【課題】半導体基板と半導体基板保持溝との隙間に残留した薬液等をより効果的に除去し得る半導体基板洗浄用治具を提供すること。
【解決手段】相対向する側板１０間に、半導体基板３の外周縁に接触可能な少なくとも３本の棒状枠材４を設け、それら各棒状枠材４の周面には、半導体基板３の外周縁を差し込む半導体基板保持溝８を形成する鍔部６を棒状枠材４の軸方向に所定間隔で形成すると共に、上記半導体基板保持溝８と半導体基板３の間に滞留する液体を逃がすため、各棒状枠材４の周面に、棒状枠材４の軸方向に水切り用のスパイラル溝５を形成し、上記各棒状枠材４の端部に、引き上げ時にかかる水圧で当該棒状枠材を回転させるためのプロペラ７を設ける。 （もっと読む）

【課題】金属製の留め具を利用することなくハンドルを取付けたり取り外したりできるウェハー搬送用のウェハー搬送モジュールの提供。
【解決手段】ウェハー搬送モジュールのシェル５８には開閉可能なドア２４が備えられている。中央支持構造６０はシェル５８の底部において露出する処理装置とのインターフェース部と、ウェハー３８を支持するためにウェハー搬送モジュール２０内を上方に延びる一体構造のウェハー支持コラム９２とを有する。また、シェル５８の側壁７４、７６には、取り外し可能なハンドル２８に設けられた係合部材と協動する係合部材を備えた溝７８を有している。ハンドル２８には、このハンドル２８を側壁７４、７６の所定の位置へロックするための戻り止めが設けられている。 （もっと読む）

【課題】フープ内でＰ、Ｃｌ_２等の腐食性ガスが滞留することなく、処理済と処理前のウエハが混在しても、清浄な雰囲気を保つことができるフープを提供することを目的とする。
【解決手段】半導体製造プロセスにおいてウエハキャリアに用いられるフープにおいて、前記フープのシェルの内側に設けられるウエアを載置するためのセルであって、箱型形状に形成された前記セルの内側にウエハを載置するためのウエハサポートと、仕切られた箱状空間内にウエハを載置できるように前記ウエハサポートの間に仕切りが設けられていることを特徴とするフープである。また、前記セルが導電性を有するか、又は帯電防止処理されており、かつ前記シェルの上面、前記セル、及び前記シェルの下面が導通する部材を用いて構成されていることを特徴とする。さらに、前記セルのウエハの出し入れ側に対抗する反対側に開口部が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 基板を安全に保管及び運搬することができ、特に大型基板の場合にも基板の撓みを最大限減らすことができ、防振部材を設けて外部の衝撃で発生する振動を減らすことによって、さらに安全に基板を保管及び運搬することができる基板積載用カセットを提供する。
【解決手段】 複数の基板を積載するための基板積載用カセットにおいて、前記基板を積載するように積載空間を形成するフレームと、両端部が前記フレームに結合されて前記フレームに水平方向に設けられ、前記フレームの上下方向に離隔配置された複数の支持台と、前記基板を積載するロボットアームが前記支持台と干渉しないように前記各支持台に起立設置されて前記基板を支持する少なくとも一つの支持ピンと、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体生産ラインでウェーハの運搬時にウェーハを保管及び運搬するに用いられるウェーハ運搬装置に離脱防止装置を取り付けることで、墜落などでウェーハが破損されることを未然に防止することのできるウェーハ運搬装置を提供する。
【解決手段】内部の側面に複数のウェーハ挿入溝が形成されており、前面にウェーハ１０２の出入が可能なように開口部が形成された本体１００と、前記本体１００の前面に上下に移動可能に装着され、前記挿入溝との相対的な位置が異なるようにすることで、前記挿入溝を開閉させるための離脱防止装置１２０と、前記離脱防止装置１２０に連結されて、前記挿入溝に対する前記離脱防止装置１２０の相対的な位置を変更させる手段１３０とを含むこと。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、基板の収容や取出しの際の作業が容易で、しかも積載効率に優れる板状体搬送用ボックスを提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の板状体搬送用ボックスは、同じ寸法の板状体Ｐを該板状体Ｐの面に対して互いに平行に複数収容する収容部１と、該収容部１の内面の相対向する一対の面に相対向して形成されている板状体支持用の溝部２とを少なくとも有し、該溝部２に形成されている溝５の底部８の位置が隣り合う溝ごとに異なる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板などの物件を、搬送の間、カセットに衝突しないように安全に運ぶことが可能となる、ガラス基板収納用のカセットを提供する。
【解決手段】物件Ｓ１を収容し、フレーム１００と、側壁１１０、１２０と、カンチレバー１１、１２と、からなる。側壁１１０、１２０は、水平面に垂直である。物件Ｓ１を支承するカンチレバー１１、１２は、側壁１１０、１２０に装着される固定端１１ａ、１２ａを有し、これにより、水平面ｈと所定の角度θ１、θ２を形成する。また、カンチレバー１１、１２の所定角度θ１、θ２は１°〜１０°とするものである。 （もっと読む）

【課題】 張力が作用してもステンレスワイヤの端部が露出しないようにする。
【解決手段】 線状基板支持部材１１Ｂは、複数本のステンレス素線を撚り合わせてなるステンレスワイヤ３２ａの外周に押出しにより樹脂被覆３２ｂを施した線状体３２と、その両端に固定された取付金具３３、３４とからなる。取付金具３３、３４は、線状体３２の両端部の露出したステンレスワイヤ３２ａ及び樹脂被覆３２ｂの両者に、カシメにより圧着固定されている。少なくとも一方の取付金具３３は張力を与えるためのネジ部３６を持つ。この線状基板支持部材１１Ｂは、立方体型フレームを有する基板収納ラックの左右の柱間に張設されて、液晶ガラス基板等の基板を載せる載荷用横桟となる。張力が作用しても、樹脂被覆３２ｂもステンレスワイヤ３２ａに追随するので、ステンレスワイヤ３２ａの端部が露出してしまう不都合は生じない。 （もっと読む）

搬送器が機械により持ち上げられるように、機械とインターフェース接続するように構成されている筐体、ドアおよびフランジを含み、半導体ウエハ処理操作の際にシリコン半導体ウエハを輸送する搬送器。筐体とドアとの間のシールの完全性を維持するために筐体の歪みを防止すべく、フランジにかかる荷重が筐体の上部以外の一部に移送されるように、リフトサドルはフランジを容器に連結する。
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メモリディスクの輸送容器はカセットを含み、カセットは開放上端と及び開放底と、開放上端を覆う上カバーと、底を覆う底カバーとを有する、本体部は対向側壁及び対向端壁を有する。２個の側壁は各々、垂直な上部と、内方に収束する底部とを備える。この側壁は、基板を垂直方向に位置決めし且つ間隔をあけた配列で保持するために切欠を画定する、内方に対向する長手状歯即ちスペーサを有する。各歯は開放上端から開放底まで連続すると共に、各歯は側壁の垂直上部に上垂直部を、また側壁底部に収束下部を有する。
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