【課題】 様々な形状の基板に応じて基板の下方を支持して収納することのできる基板収納キャリアを提供すること。
【解決手段】 支持部材５を配設する部位が係合溝３の溝形成方向において変更可能とした。 （もっと読む）

【課題】所望の溝部３にウエハ２を確実に挿入することができるようにする。
【解決手段】Ｌ字型のＬ字アーム１２を回動させて一方側の回動アーム１３の先端でウエハ２を押し上げ、押し上げられたウエハ２を所望の溝部３へのウエハの挿入の基準とすることで、所望の溝部３にウエハ２を確実に挿入する。 （もっと読む）

【課題】基板の誘導帯電を抑制する。
【解決手段】基板処理装置１は、基板Ｗを収容するキャリヤＣを保持するためのキャリヤ保持部２と、基板Ｗに処理を施す基板処理ユニット４１〜４４と、キャリヤＣと基板処理ユニット４１〜４４との間で基板Ｗを搬送するインデクサロボット６および主搬送ロボット３０とを備えている。基板処理ユニット４１〜４４は、基板Ｗを保持する基板保持手段を備えている。キャリヤＣから基板処理ユニット４１〜４４へと搬送される期間、基板保持手段に保持されている期間、および基板処理ユニット４１〜４４からキャリヤＣへと搬送される期間のいずれにおいても、基板Ｗは接地状態に保持される。 （もっと読む）

本発明は半導体基板を搬送および保管するための密閉エンクロージャに関する。該エンクロージャは、密閉コンテナと、コンテナ内部に設けられ、基板を支持するトレイを含んだ支持手段とを備える。コンテナは、コンテナを開放するために分離することのできる２つの接触ハーフ・シェルを含み、前記支持手段の各端部は前記ハーフ・シェルの個々の１つに機械的に固定されている。前記手段の全高はコンテナが開いているか閉じているかに応じて変化し、トレイは等しい距離だけ相互に分離される。前記支持手段は好ましくは、ハーフ・シェルの個々の１つに機械的に連結された端部節を有する節およびボール・ジョイントの交互配列を含む。このような状況下では、前記支持手段の全高は、コンサーティーナ様に運動する節およびボール・ジョイントの交互配列によって変化する。
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【課題】マスクブランク、転写マスクなどの膜付きガラス基板の外周端面が挿入保持される基板収納容器の溝の断面形状を改良して、基板表面に形成されている膜が溝側面に干渉して剥離するなどの弊害が発生しないようにすること。
【解決手段】容器本体と容器蓋とから成る収納容器の容器本体の左右および底にはマスクブランク１０の左右および下側の外周端面１１ｂが収納保持されている保持溝４３、４５が形成されており、保持溝４３（４５）は、溝底面４３ａ（４５ａ）と溝側面４３ｂ、４３ｃ（４５ｂ、４５ｃ）の入り隅の角度θａを適切に設定することにより、当該溝側面がマスクブランク１０の遮光膜およびレジスト膜の端１４に干渉しないようにしてある。 （もっと読む）

【課題】大型の薄板体を大量に収納する場合であっても軽量化を図ることができる薄板体収納容器を提供する。
【解決手段】内部に半導体ウエハを複数枚収納するとともに、半導体ウエハを出し入れするための開口部２６を有する容器本体２０と、開口部２６を開閉自在に蓋する蓋体と、蓋体で開口部２６を蓋したときに容器本体２０を気密に密閉するシール材と、側面部２３、２４の内面に形成され、半導体ウエハを軸方向に離間し、かつ、平行に配列支持する薄板体支持部３０とを具備し、容器本体２０を構成する部材には、中空部２０ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ、液晶板などの薄板を複数枚支持する容器について、側面板に設けられる開口部の面積を大きくする。
【解決手段】底板１４と、底板に平行な上板１６と、底板及び上板に対し直角に、かつ互いに平行に設けられた側面板２０とを備えている。第１側面板２０ａに、底板及び上板間の上下方向に、等しい配列ピッチで互いに間隙を空けて、及び、互いに平行に設けられた複数の第１鍔部２２ａを備えている。第２側面板２０ｂに、第１鍔部のそれぞれに一対一の関係で対向して設けられた複数の第２鍔部２２ｂを備えている。鍔部は、上板に平行な上面２３及び下面２４をそれぞれ有する平行平板状体であり、第１鍔部の上面および第１鍔部に対向する第２鍔部の上面は、同一平面内にあって、薄板を支持する支持面を構成している。第１及び第２側面板には、隣接する鍔部間の間隙に対応する位置に間隙と連通する開口部３６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】低コストで嵩張らず、リサイクルも容易で、運搬等の際に受ける衝撃による破損・損傷から内容物（ウエハ）を守ることのできるウエハ収納用容器を提供する。
【解決手段】本発明のウエハ収納用紙製容器は、段ボール製の箱体１０と、板状のウエハ把持部１１ａを有する把持部組立体１１と、把持部組立体１１を箱体１０内に固定するウエハ固定部１２と、から成る。ウエハ把持部１１ａは互いに平行に並べたウエハを１枚ずつ把持するが、ウエハ把持部１１ａのウエハを把持する部分を鋭角のＶ字形の凹部とし、ウエハの中心に向けて設けることで、より安定的にウエハを固定して耐衝撃性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】基板収納装置内の基板の撓みを抑制して基板の収納間隙を可及的に広くすることができる基板収納装置を提供する。
【解決手段】基板２１を搬送する基板搬送ロボットによって搬入出された基板２１を載置する棚２２を複数段備え前記基板２１を収納する基板収納装置２において、前記基板収納装置２の基板２１を載置する棚２２に開口部２４を設け、前記基板２１を浮上させるためのエアを前記開口部２４から噴射させるエア供給源と、前記基板２１と前記開口部２４とを吸着させるために前記開口部２４からエアを吸入するエア吸入源と、前記開口部２４と前記エア供給源及びエア吸入源とを連通させる配管２３ａ、２３ｂとを設ける。 （もっと読む）

【課題】 例えば、反った状態の複数のウェハを保持する保持手段のウェハ保持間隔を従来よりも小さくできる半導体装置の製造方法およびその製造方法の実施に用いられる製造装置を提供する。
【解決手段】 イオン注入工程等の各製造工程において、ステージ３１の表面全域に、吸引手段と連通した吸着孔３２であって、ステージ３１の１つの中心線上に位置する第１の吸着孔３２ａと、その他の部位に位置する第２の吸着孔３２ｂとが設けられたステージ３１を用いる。ウェハ２１の全面をステージ３１の表面に吸着させ、ウェハ２１に各処理を施した後、第２の吸着孔３２ｂ、第１の吸着孔３２ａの順に、吸着を開放することで、ウェハ２１を、常に、一定の方向に反らし、その方向で反った状態を維持しながら、ウェハ２１を保持手段に搬入する。 （もっと読む）

【課題】主要部分が発泡合成樹脂から形成された基板搬送用容器の内壁構造であって、容器本体に対するガラス基板の装着および取出しが容易であるとともに、搬送中の基板の不用意な上下方向への移動を防止し、かつ、基板の欠けや割れなどを生じさせる虞の少ない基板搬送用容器の内壁構造を提供する。
【解決手段】容器本体の基板収容部は、矩形平板状の発泡合成樹脂製の内側断熱板１２と、この内側断熱板１２の表面を覆う薄いシート部材１６とから構成されるとともに、前記内側断熱板１２と前記シート部材１６とに形成された基板係止溝の凹凸部に、内方の内側断熱板と外方の樹脂シートとの間にクッション用隙間Ｈが確保されている。 （もっと読む）

【課題】
主要部分が発泡合成樹脂から形成された基板搬送用容器の内壁構造であって、容器本体に対するガラス基板の装着および取出しが容易であるとともに、搬送中の基板の不用意な上下方向への移動を防止し、かつ、基板の欠けや割れなどを生じさせる虞の少ない基板搬送用容器を提供する。
【解決手段】
基板搬送用容器の前記容器本体が、断熱材による二重壁を構成するように、予め別体で形成された発泡合成樹脂製の内側断熱板１２，１２が発泡合成樹脂からなる外容器本体５０の内側に着脱自在に配置されているとともに、これら内側断熱板１２，１２のさらに内方に、予め別体で形成された樹脂製のシート部材１６，１６が着脱自在に装着され、内側断熱材１６は、容器本体４の開口部に臨む位置から内方に向かう程、肉の厚さが漸次薄くなるように勾配が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、プレート形状のサブストレート、特に電子部品を製造するために使用されるウェーハ又はテストウェーハを貯蔵するための装置に関する。互いに分離可能な装置の貯蔵要素が製造ミスの影響を受ける場合でもサブストレートへの確実なアクセスを可能にすることを目的とする。それぞれのサブストレートのために、スタック方向に互いに続き互いに移動できる多数の貯蔵要素を有する装置において、貯蔵要素は、積み重なった貯蔵要素内にそれぞれの貯蔵要素を配置するために設けられたスタック領域を有し、スタック方向のスタック誤差を補償するための補償手段が設けられる。
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本発明は、底面及び周縁(P)を有する少なくとも１つの加工物(W)を格納するための加工物容器(12)に関する。１つの実施形態においては、加工物支持構造体(202)は、容器包囲体(12)の中に配置され、容器包囲体(12)の中に複数の垂直方向積重ね式格納棚を形成する。１つの実施形態においては、各格納棚は、加工物を実質的に水平方向の向きに支持するための第１タイン及び第２タイン(206)を含む。格納棚上に着座する加工物(W)の底面及び周縁(P)は、第１タイン及び第２タイン(206)の両方の外縁(207)を越えて延びる。本発明によるエンドエフェクタは、加工物(W)の延長部分又は「把持区域」と係合することができる。
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【課題】マスク基板の搬送エラーの無い、高信頼性のマスク描画が行なわれるマスク基板収納カセットおよびマスク基板の描画搬送ラインを提供する。
【解決手段】はマスク基板２の端縁が掛けられる多段の載置部４を有するマスク基板収納カセットにおいて、前記載置部４が下向きの傾斜面４Ａと、傾斜面４Ａの下端に連なる平坦面４Ｂとを有する。またマスク基板２の両端縁が掛けられるように載置部４を向き合わせて設け、傾斜面４Ａと平坦面４Ｂの交点を両載置部間に亘って結ぶ長さＬと、マスク基板２の両端間の長さＬｍをほぼ同じとした。 （もっと読む）

【課題】ダストによる歩留り低下を抑制することが可能な半導体基板格納装置及び半導体基板搬送方法を提供する。
【解決手段】半導体基板格納装置は、複数の被処理半導体基板１を重ねて格納する半導体基板格納ケース２と、前記複数の被処理半導体基板１を夫々離間して水平に保持する基板保持手段３と、前記複数の被処理半導体基板間１に介在される基板保護手段３を備える。また、半導体基板搬送方法は、複数の被処理半導体基板１を夫々離間して重ね、前記被処理半導体基板１の間に基板保持手段３を介在させ、水平に半導体基板格納ケース２内に格納して搬送する。 （もっと読む）

【課題】 基板収納容器に収納された基板の搬送中のたわみを抑制し、基板の取り扱いが容易で確実に運搬できるようにする。
【解決手段】 枚葉基板収納容器９は、方形状の容器本体１０及び蓋１７から構成されている。容器本体１０は、ウエハ収納部１１、蓋収納部１２、ウエハティース１３、支持部１４、複数の凹部１５、及び情報表示部１６を有し、蓋１７は、複数のリテーナ１８を有している。ウエハ収納部１１は、ウエハ７を収納する空間部分である。蓋収納部１２は、蓋１７を収納する空間部分であり、その上部に設けられた２つの凹部１５に蓋１７のストッパとしてのクランピング機構部１９をそれぞれ挿入することにより枚葉基板収納容器９が密封される。支持部１４は、ウエハ収納部１１の中央部に設けられ、ウエハ搬送機構１のアーム５間の間隔よりも狭い円形状を有し、ウエハ７を容器本体１０の中央部に着座させる役目をする。 （もっと読む）

【課題】 基板を収納自在なカセットと基板に処理を施すプロセス装置との間で基板を搬送する基板移載装置において、前記カセットにおける基板の収納効率を上げることができ、構成が簡素であると共に、設置面積を小さくすることができる基板移載装置を提供する。
【解決手段】 カセットＣＳから基板Ｗを搬出可能なカセット側コンベヤ３と、前記基板Ｗに加工を施すプロセス装置へ前記基板Ｗを供給可能なプロセス側移載ハンド５と、前記カセット側コンベヤ３と前記プロセス側移載ハンド５との間で前記基板Ｗを受け渡すことが可能な基板受け渡し手段７とを有する。 （もっと読む）

【課題】基板との摩擦・摺動によるパーティクルの発生をより低減させる、基板収納容器を提供。
【解決手段】開口部を有し、基板支持部と、基板支持部よりもリア側に位置する位置規制部とが設けられた容器本体と、蓋体とを有する基板収納容器であって、前記蓋体閉鎖時に、リテーナの保持溝２５が基板１３の１端側を基板支持部から浮かせて保持し、基板１３の他端側は、基板支持部の支持面より下方の位置で位置規制部の側壁と接触して支持するものであって、前記リテーナは、蓋体内面に取り付け可能な係止部（取り付け部）を有するベース部材（枠体部）と、基板１３のそれぞれと当接するようにベース部材（枠体部）の向き合う側壁から延びる１又は複数列の弾性片と保持溝２５とを有するとともに、保持溝２５の最深部２８の下側の傾斜面２６を上側の傾斜面２７よりも急傾斜で長くなるように設定する。 （もっと読む）

【課題】 基板と支持片が擦れて基板が損傷したり、塵埃が発生するのを防ぎ、基板の周縁部や裏面が汚れたり、傷付くのを抑制できる基板収納容器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 複数枚の基板Ｗを整列収納する容器本体１と、容器本体１を形成する一対の側壁内面にそれぞれ配設されて容器本体１の正面側に位置し、基板Ｗの側部周縁を支持する第一の支持片２０と、容器本体１を形成する一対の側壁内面にそれぞれ配設されて容器本体１の背面壁側に位置し、基板Ｗの側部周縁を支持する第二の支持片２４とを備える。そして、基板Ｗの側部周縁と接触する各側壁４の接触部５、第一の支持片２０、及び第二の支持片２４を容器本体１よりも低摩擦性の樹脂層３０で被覆する。 （もっと読む）