【課題】支持片とリングフレームの接触に伴う異物の発生を抑制し、リングフレームのがたつきを抑制でき、容器本体の構成を簡素化して部品点数を低減できる処理治具用の収納容器を提供する。
【解決手段】前後部が開口した容器本体１０と、容器本体１０の両側壁１４内面に対向して形成され、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片２０とを備え、容器本体１０の上下方向に一対の支持片２０を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片２０と支持片２０の間をリングフレーム用の挿入溝２１に形成する。そして、各支持片２０の後部に、リングフレームの側部後方に干渉するストッパ２２を設け、ストッパ２２には、下方の支持片２０に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面２３を形成する。傾斜面２３が挿入溝２１を徐々に埋めるので、リングフレームの上下方向へのがたつきを抑制防止でき、リングフレームの損傷を防止できる。 （もっと読む）

【課題】ケース内のマスクブランクを均一な固定荷重でしっかりと固定でき、しかもケースの気密性を向上させたマスクブランクの収納ケースを提供する。
【解決手段】上方が開口したケース本体５と、該ケース本体５に被せる蓋体６とを備えて、内部にマスクブランクを収納するマスクブランク収納ケースである。ここで、ケース本体５に蓋体６を被せたときの接合部の全周にわたって囲繞する固定用枠１０と固定片１１から構成される固定部材を係合させることにより、接合部の全周にわたって均一に固定荷重がかかるように蓋体５とケース本体６とを固定する。 （もっと読む）

【課題】乾燥作業の迅速化や基板の汚染防止を図ることのできるリテーナ及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】基板収納容器の蓋体１０と共に洗浄されるリテーナ２０を、蓋体１０に装着される縦長の枠体２１と、この枠体２１の一対の対向片２２からそれぞれ突出して相互に接近する一対の弾性片と、この一対の弾性片に形成されて半導体ウェーハの前部周縁を保持する保持部３０とから形成する。また、枠体２１の各対向片２２の蓋体１０に対向する裏面長手方向に、複数の凹凸２８を間隔をおいて交互に形成し、この複数の凹凸２８により、リテーナ２０の洗浄や乾燥時の水切り性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】ビーズ発泡法等により成型された寸法精度の悪い樹脂成型品を、箱体本体および蓋体として使用した場合であっても、箱体本体に対して蓋体を確実に嵌合可能であり、且つ、ガラス基板に不当な応力が作用することなく積み重ねることが可能なガラス基板梱包箱を提供する。
【解決手段】上端が開口した箱体本体２と、箱体本体２に嵌合してその上端開口を閉鎖する蓋体３とを備え、箱体本体２に配備されたガラス保持部４，５の複数の保持溝４ａ，５ａと、蓋体３に配備されたガラス保持部６の複数の保持溝６ａとにより、複数枚のガラス基板Ｇを縦姿勢で間隔を置いて並列に配列した状態で保持するガラス基板梱包箱１であって、蓋体３と、蓋体３に配備されたガラス保持部６との間に、ガラス保持部６よりも弾性が高いスペーサ７を介在させた。 （もっと読む）

【課題】スループットが向上された基板処理装置を提供する。
【解決手段】インデクサロボットＩＲは、第１および第２の基板保持機構１１０，１２０、第１および第２の昇降機構１３０，１４０、回転機構１５０および移動機構１６０を備える。第１および第２の基板保持機構１１０，１２０は、それぞれアームおよびハンドを有し、それぞれ第１および第２の昇降機構１３０，１４０上に設けられている。第１および第２の昇降機構１３０，１４０は、それぞれ独立して第１および第２の基板保持機構１１０，１２０を昇降動作させる。第１および第２の昇降機構１３０，１４０は、回転機構１５０上に設けられている。回転機構１５０は、移動機構１６０上に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板などの脆弱な物品を搬送する場合に、破損させることなく極めて効果的に搬送することができる物品の固定ジグを提供すること。
【解決手段】複数の突起物３６、複数の突起物３６を囲繞するように外側および内側に形成された一対の側壁３５，３９、および突起物３６を形成した部分に少なくとも１つの貫通孔３８を備えたジグ基台３０と、
ジグ基台３０の上面に密着されたときに一対の側壁３５，３９との間に区画空間３７が画成されるとともに、その上面に板状の物品が載置される柔軟な密着層３１と、を備え、ジグ基台３０の貫通孔３８から区画空間３７を吸引した場合に、密着層３１が変形される物品の固定ジグ３であって、
区画空間３７の形成範囲がジグ基台３０の中央部を囲繞する外側にのみ形成されていることを特徴とする。
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【課題】耐食性、耐熱性を有し、安価な材料で複数枚の矩形ウェーハを収容するのに十分な強度を保つことができる構造でありながら、ウェーハにテクスチャーをムラなく形成する妨げとならず、かつ、洗浄液のはけがよく、その上乾燥工程がより短時間となるウェーハキャリヤを提供し、そしてこれを使用したウェーハのエッチング方法を提供する。
【解決手段】上面及び底面が開放され、互いに対向する側壁２ａ、２ｂの内側に複数枚の矩形ウェーハＷを立てた状態で所定の間隔で並列させて収容するためのガイドレール３が複数本縦に平行に形成された箱型の容器本体２と、該容器本体２の底部に固定されてウェーハＷが抜け落ちないように支持する支持棒５とを具備し、容器本体の対向する側壁は液体が出入り可能な開口部１０を有し、個々のガイドレールは縦方向で断続するように切れ目部４が形成されたものであることを特徴とするウェーハキャリヤ１。 （もっと読む）

【課題】 簡単且つ短時間で製造することができるとともに、省スペース化に寄与し、更には、半導体ウェハ等の板状体の破損防止に有用となる板状体の支持部材を提供すること。
【解決手段】 円弧状の曲面となる外周面１４及び内周面１５と、外周面１４側に開放し、半導体ウェハＷの周縁の一部分を挿入可能な支持溝１９とを備えて支持部材１２が構成されている。外周面１４は、周方向両端側から同方向中央に向って次第に張り出す形状をなす。支持溝１９は、その延出方向両端側及び外周面１９側が開放するように、周方向に沿って形成され、半導体ウェハＷが挿入されたときに、延出方向の両端側に向って次第に前記周縁から離れる円弧状に設けられている。 （もっと読む）

【課題】複数の半導体ウエハどうしの間の間隔を大きく離すことなく効率よく安全に収納することができると同時に、半導体ウエハの出し入れを良好に行うことができる半導体ウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】ウエハ保持ユニット２０には、半導体ウエハＷの外周の下端エッジ縁部分のみに当接するウエハ載置枠２１と、ウエハ載置枠２１に対し上下方向に相対的に可動に配置され、半導体ウエハＷの外周の上端エッジ縁部分のみに当接するウエハ固定枠２２と、ウエハ固定枠２２がウエハ載置枠２１に対し上方に退避した状態の時に上方に移動することにより、半導体ウエハＷをウエハ載置枠２１から上方に離脱した位置に押し上げてその状態を保持するウエハリフト部材２３とを備えた単一ウエハ保持部（２１〜２３）が、複数上下に重ね合わせられた状態に配置されている。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板を保持して処理槽の内部とその上方位置との間で昇降するリフタと複数枚の基板を支持して水平方向へ移動する基板搬送機構との間で基板の受け渡しを行う際に、リフタの保持溝の内面部分と基板の下端縁とが擦れて塵埃や汚染物が発生して基板を汚染したり、基板に無理な力が加わって基板を破損したりすることを防止できる装置を提供する。
【解決手段】基板搬送ロボットの一対のチャック２８の基板支持部３２に形成される下部支持溝３４ａの溝底の幅を、基板Ｗの厚みに、リフタ１２の基板保持部１８ａ、１８ｂ、１８ｃに対して基板支持部３２が長手方向において位置ずれする予定量を加えた第１の寸法とし、基板支持部３２に形成される上部支持溝３４ｂの溝底の幅を、基板支持部３２に支持される互いに隣り合う基板同士が接触しないように第１の寸法より小さい第２の寸法とする。 （もっと読む）

【課題】 位置決めの基準となるインデックスバーの変形が少なく、側壁に設けられる収納溝の変形も低減でき、装置に対する位置決め精度が向上し、薄板の載置位置のばらつきを少なくして、薄板を精度良く取り出しや挿入ができるカセットを提供することを課題とする。
【解決手段】 相対向する側壁内面に薄板を収納する収納溝を有し、前記相対する側壁の一方を連結する端壁と、前記側壁の他方を連結するＨ形状の端壁とを有するカセットであって、Ｈ形状の端壁の中央部に設けられる半円状の突起バーの半円状の円周の一部が長手方向に延びるように形成された楔状の空洞部によって分割されているカセットである。空洞部が、外周面が半円状に形成されたリブによって仕切られるようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】 容器本体を成形する金型の構成の簡素化を図ることのできるティース体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】 二枚の半導体ウェーハを収納可能な大きさを有するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、容器本体１に内蔵されて半導体ウェーハを整列させて支持するティース体２０と、容器本体１の開口した正面に着脱自在に嵌合される蓋体と、容器本体１と蓋体との間に介在されて気密機能を発揮するエンドレスのガスケットとを備える。そして、ティース体２０を、容器本体１の両側壁内面にそれぞれ嵌合されて半導体ウェーハの裏面周縁部を支持する複数対のティース２１と、複数対のティース２１の後部を連結して容器本体１の内底面に嵌合される連結片２３とから一体形成する。容器本体１にティース体２０を後から組み付けるので、容器本体１を成形する金型の型開きが困難化したり、コア型を分割式にする必要がない。 （もっと読む）

【課題】剛性を高めた孔あきサポートプレートを提供する。
【解決手段】
ウエハを接着層を挟んで面サポートするための孔あきサポートプレート（１）であって、撓み防止用の補強部（１４）を備える。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を立てて収納できる基板積載用カセットを提供する。
【解決手段】下面に設置される支持部材と、上面に設置されるガイド部材と、後面に設置される固定部材とを備えて、ガラス基板を立てて収納する構成とした。これによれば、ガラス基板の変形を防止でき、且つ、ガラス基板にホコリが積もるのを防止できる。 （もっと読む）

【課題】 作業者のハンドリング性や水切り性を向上させることのできる基板用キャリアを提供する。
【解決手段】 複数枚の半導体ウェーハＷを収納可能に対向する底板１及び天板２０と、底板１と天板２０の両側部間を接続する複数の側板３０と、底板１と天板２０の背面部間を連結する一対の連結柱４０とを備え、底板１と天板２０の正面部間を半導体ウェーハＷ用の出し入れ口５０とし、各側板３０に、半導体ウェーハＷの側部周縁を支持する支持片３１を所定のピッチで複数並設するとともに、各連結柱４０に、半導体ウェーハＷの後部周縁に干渉可能な制御片４１を所定のピッチで複数並設する。そして、底板１と天板２０の内面５・２１を、これらの背面方向から半導体ウェーハＷ用の出し入れ口５０に向かうに従い徐々に拡開するようそれぞれ０．５°〜３．０°の角度で傾斜させ、底板１と天板２０の外面周縁に手動操作用の把持領域６・２２をそれぞれ形成する。 （もっと読む）

【課題】複数枚の半導体ウェーハ間のばらつきを抑制し、自動搬送等の搬送を可能にするウェーハカセットを提供する。
【解決手段】一対の側板２を対向させ、一対の側板２の上下端部間に底板５と天板６を架設して一対の開口を形成し、正面の開口を半導体ウェーハＷ用の出し入れ口８とするとともに、背面の開口を流通口９とし、出し入れ口８から収納した半導体ウェーハＷを起立させた状態で液体中に浸されるウェーハカセット１であって、一対の側板２に配列形成され、半導体ウェーハＷの周縁部両側を支持する複数のティース３と、起立した半導体ウェーハＷの周縁部下端を保持する保持溝１０とを備える。そして、相対する一対のティース３と起立した半導体ウェーハＷの接触点を通る直線を半導体ウェーハＷの中心よりも下方に位置させ、各保持溝１０を非対称の断面略Ｖ字形に形成してその傾斜角の大きい傾斜面に起立した半導体ウェーハＷの周縁部下端を接触させる。 （もっと読む）

【課題】 基板を枚葉単位で取り扱うことができ、しかも、収納や搬送時には複数枚同時に取り扱うことのできる基板収納カセット及び収納ケースを提供する。
【解決手段】 口径４５０ｍｍタイプの半導体ウェーハＷの周縁部の一端から両側に亘る被収納領域Ｓに対向するベースプレート２と、ベースプレート２との間に半導体ウェーハＷの周縁部の一端から両側に亘る被収納領域Ｓを隙間を介して挟持する保護プレート１０と、ベースプレート２と保護プレート１０とを接続し、半導体ウェーハＷの周縁部の一端側を接触支持する支持ホルダ２０と、ベースプレート２に設けられて半導体ウェーハＷの周縁部の両側に対向し、半導体ウェーハＷを複数の支持ホルダ２０方向に案内する一対のスライドガイド３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板を損傷することなく容易に出し入れすることができ、小型化が可能な基板収納装置およびこれを備えた基板処理装置を提供する。
【解決手段】複数枚の基板１を互いに隙間を置いて積層状態に収納する基板収納装置は、底板１０４と、底板に対向した天板１０３と、底板と天板との間を延びた側板と、各側板に複数段ずつ積層して設けられ基板の周縁部を支持する複数の支持体１５０と、を有している。複数の支持体はそれぞれ互いに分割され、選択的に積層方向に移動可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】薄板を正確にかつ確実に安定して支持する。
【解決手段】内部に薄板を複数枚収納する容器本体と、この容器本体を塞ぐ蓋体と、上記容器本体内の対向する側壁にそれぞれ設けられて内部に収納された薄板を両側から支持する溝板とを備えてなる薄板支持容器である。上記蓋体の裏面に、当該蓋体が上記容器本体に取り付けられたとき容器本体内に収納された薄板の上部を押さえて支持する薄板押え部材を設けた。当該薄板押え部材には、上記薄板を１枚ずつ嵌合して支持する嵌合溝を設け、当該嵌合溝を、薄板の周縁を挟み込むように鋭角に形成した。 （もっと読む）

本発明によれば、輸送ボックス（１）は、インターフェース（２）に接続することができ、かつ基板（４）を中に配置することができるバスケット（３）を収容することができる。このバスケット（３）は、交互に積み重ねられかつ個々に交換可能な１セットのプレート（３ａ〜３ｆ）からなる。このバスケット（３）は、インターフェース（２）の内部に完全に移動させられ、次いで移動手段が選択されたプレートを、隣接するプレートを移動させることによって分離させ、ロボット（５）が来てこの選択された基板を抽出するのを可能にする。輸送位置にあるとき、このプレート（３ａ〜３ｆ）は互いに接触しており、したがって、基板（４）によって占められる空間の量を減少させる。
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