【課題】少なくとも基板と接触する箇所の部材が、表面抵抗率１０^６〜１０^１４Ω／□の範囲内の所望の値に安定的に制御され、場所による表面抵抗率のバラツキが小さく、帯電防止性及び耐摩擦磨耗性に優れた樹脂部材によって形成された基板用カセットを提供する。
【解決手段】少なくとも基板と接触する箇所の部材が、合成樹脂３０〜９４重量％、１０^２〜１０^１０Ω・ｃｍの体積抵抗率を有する炭素前駆体５〜４０重量％、及び１０^２未満の体積抵抗率を有する導電性充填材１〜３０重量％を含有する樹脂組成物から形成された樹脂部材であり、かつ、該樹脂部材の電位が５０００Ｖから５０Ｖに低下するまでのスタティックディケイ時間が２秒以下である基板用カセット。 （もっと読む）

【課題】 損傷しやすい被搭載物品を適切に輸送等することのできる製造の容易な固定キャリア及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 基材１と、基材１の表面３に積層被覆されて半導体ウェーハ２０を着脱自在に粘着保持する変形可能な保持層１０とを備え、基材１の周縁部２を除く表面３から複数の突起４を突出させてその先端面を保持層の裏面１１に接触させるとともに、基材１に、複数の突起４と保持層１０の間の区画空間５に連通する給排孔６を穿孔する。そして、複数の突起４と接触する保持層１０の裏面１１に非粘着処理を施す。保持層１０の裏面１１が粘着性を有しない非粘着面なので、基材１の凹んだ表面３や突起４の周面に変形した保持層１０が粘着するのを防止でき、変形した保持層１０を容易に元の状態に復元させ、固定キャリアを長期に亘り反復使用できる。 （もっと読む）

【課題】 基板のエッチング工程、特に住宅用量産型太陽電池セルのシリコン基板のエッチングに関し、一面にテクスチャ形状、他面に平坦形状を形成するエッチング工程の簡略化を図る。
【解決手段】 一般に基板の表面処理は、基板の表・裏均等に行われるが、太陽電池セルの特性面からは、表面がテクスチャ形状、裏面が平坦な形状が望ましい。半導体基板を表面処理する際には発熱反応が起き、また表面処理時の反応速度が温度上昇により速くなり、反応の進捗により表面形状が変化する。本発明のキャリアホルダーによれば、表面処理時に半導体基板の片面に近接物を設けることにより、近接物がある面では反応熱が滞留し、他面では反応熱がエッチング液の対流により奪われるため、半導体基板の一面と他面の間に温度差が発生し、一面がテクスチャ形状で、他面が比較的平坦な形状の半導体基板を１回の処理で容易に形成でき、エッチングプロセスの簡略化が可能となる。
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【課題】 拡散熱処理時の高熱によるストレスのために半導体ウエハ保持ボードが変形しても、半導体ウエハにダメージを与えることのない半導体ウエハ保持ボードを提供する。
【解決手段】 成膜装置内において半導体ウエハを保持する対の溝を複数備える半導体ウエハの半導体保持ボードの外側近傍の対の溝を内側の対の溝よりも深くすることで、ストレスを受け易い外側近傍の対の溝に余裕（遊び）を与える。 （もっと読む）

【課題】蓋体内のスペースを拡大して内部に収納する部材の設計の自由度を大きくできる気密容器を提供する。
【解決手段】内部に半導体ウエハーを複数枚収納する容器本体と、容器本体を塞ぐ蓋体１４と、容器本体と蓋体１４との間を密封するシールとを備えた気密容器であって、蓋体１４の内側板部３０Ａに、半導体ウエハーを１枚ずつ支持する支持溝４１を備えた。支持溝４１は、蓋体１４の内側板部３０Ａに容器本体側へ向けて開口して形成され、半導体ウエハーが１枚ずつ嵌合して支持される長溝によって構成した。支持溝４１の底部にはＶ字溝部４２を形成した。他の構成の支持溝は、内側板部３０Ａに形成された逃がし溝部と、カバー板と内側板部３０Ａとの間の薄板支持空間に、逃がし溝部に対応して設けられて逃がし溝部に嵌合した半導体ウエハーを１枚ずつ支持する薄板支持体とから構成した。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、基板収納容器に振動や揺動が加わっても、基板が基板収納容器内で移動することを防止して、基板の端部が基板の構成部品との衝突により損傷することを防止することができる基板収納容器を提供することを課題とする。
【解決手段】 基板支持部６は、基板１の下側から水平な状態で支持する。基板押さえ部１２は基板支持部６の近傍に垂直方向移動可能に配置される。基板押さえ部１２は基板支持部６とは反対側の上側から基板１に当接して、基板１を基板支持部６との間に挟みこんで固定する。基板押さえ部１２は、基板収納容器の底部２を貫通して垂直方向に移動可能な可動支柱１０に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】ガラス薄板やフィルム基板の製造工程において、基板の洗浄・乾燥などの処理や収納・搬送などの際に、カセット内の基板同士が接触することがなく、基板へのダメージ等が生ずるおそれがなく、基板の姿勢を安定化させ、処理性能の効率アップに有効な基板保持構造を提供する。
【解決手段】カセット内に基板２０，２１を収納するための基板保持構造において、前記基板２０，２１は矩形板状体の形状を成し、前記基板２０，２１は撓ませられた曲面状態にして、前記カセット内に保持される基板保持構造とし、また、この基板保持構造において、前記カセットは、外枠構造部材と、その内部に前記基板２０，２１を収納するための略直方体形状の収納部と、を備え、前記基板２０，２１は、前記収納部内に複数枚数が所定間隔で並列的に配置される。 （もっと読む）

【課題】
ガラス基板表面の保護やパーティクル付着防止に有利な、半密閉箱型容器であって、且つガラス基板を収容した状態での保持力に優れた半密閉箱型容器を提供する。
【解決手段】
上部に開口を有し、ガラス基板を収容する容器本体と該容器本体の開口に結合する蓋とを備えた半密閉箱型容器であって、ガラス基板を収容し、前記蓋を結合させた状態で、ガラス基板の４辺を支持する支持機構を備える。 （もっと読む）

【課題】パターン形成面と収納カセットの内側との擦れを防止し、収納したカラーフイルタ基板に傷が付かず、収納カセット内に異物が発生しない基板用収納カセットを提供する。
【解決手段】基板２０上の一方面に形成したマーク等を含むパターン形成面４０と対向する側面に、収納カセット１０内側の頂上部から側壁２２側の底部２３へ山型の裾野状の傾斜面５１を付ける形状に形成した山型溝部品１１を設け、該山型溝部品１１上にカラーフイルタ基板２０を載置する。 （もっと読む）

自重でたわむ大型液晶表示装置用ガラス基板（６）を置いた場合に、大型液晶表示装置用ガラス基板（６）にできる複数の尾根を、複数列のピン状支持部材（１６、１８）ごとにて支持するようにした薄板支持体である。該薄板支持体に置くことにより、たわみ量が少なくなる。薄板支持体としては、ロボットのフォーク状エンドエフェクタとカセットがある。
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【課題】 割れやすく反りやすい精密基板を適切に輸送することのできる精密基板用の固定治具及びその使用方法を提供する。
【解決手段】 フロントオープンボックスタイプの基板収納容器に収納される基板２０と、基板２０に積層され、バックグラインドされた３００ｍｍタイプの半導体ウェーハ３０を着脱自在に密着保持する密着層２５とを備える。そして、基板２０の表面から密着層２５に被覆される複数の突起２１を突出させてこれら密着層２５と複数の突起２１との間には区画空間２２を形成し、基板２０には、区画空間２２に連通する半導体ウェーハ３０用の取り外し孔２３を穿孔する。割れやすく、反りやすい半導体ウェーハ３０を容器本体に直接収納するのではなく、固定治具に密着保持させて収納するので、他の工場に安全、かつ適切に輸送できる。 （もっと読む）

【課題】 基板搬送に際しての更なるＴＡＴ短縮化が可能な技術を提供する。
【解決手段】 基板Ｗの収納空間を形成する容器本体３と、容器本体３の開口部を密封する容器扉５と基板Ｗとを保持する基板保持アーム７とが一体化されてなるアーム付扉とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 大型ガラス基板等の基板を搬送する際の基板の収納効率を高め、平面ディスプレイ装置等の生産コストを低減する。
【解決手段】 前後方向の２面が開口した直方体状に形成された第１のフレーム２と、第１のフレームの２つの内側側面の各々から、相対向して突出する複数対の固定側基板支持体２ｄと、前後方向の２面が開口した直方体状に形成されるとともに、第１のフレームの内側に、前後方向かつ水平方向にスライド可能に収容され、前後方向の少なくとも一方向から引出し可能な第２のフレーム３と、第２のフレームの２つの内側側面の各々から、相対向するように突出するとともに、第２のフレームが第１のフレームの内側に収容された際に、固定側基板支持体の隣接する２つの固定側基板支持体の間に各々進入するとともに、相対向して突出する複数対の可動側基板支持体３ｃとを備える基板用カセット１。 （もっと読む）

【課題】ウェハ挿入用の溝の識別性を高めて、ウェハ挿入ミスを確実に防止すると共に、ウェハ挿入作業の迅速・容易化を図る。
【解決手段】ウェハ用キャリア１は、その対向する一対の側壁２，２の内壁面に、ウェハＷ縁辺部を案内し支持する溝３が互いに対向させて多数形成されている。各溝３は、所定ピッチで側壁２の内壁面から突出形成された凸部４によって形成され、側壁２，２の各対向する一対の溝３，３間にウェハＷを挿入して収納する。白色の凸部４と黒色の凸部４とが交互に内壁面に配置され、且つ、二つの内壁面で互いに対向する一対の凸部４，４同士が、同じ色の白色の凸部４，４同士または黒色の凸部４，４同士となるように配置されている。このため、対向する内壁面の互いに対応する一対の溝３，３同士を容易に識別できる。 （もっと読む）

【課題】パーティクルなどによる発塵を十分抑制することが出来る薄膜付基板の支持部材を提供する。また、このような支持部材を備え、薄膜付基板を高い清浄度に保ちながら保管できる薄膜付基板の収納に好適な収納容器を提供する。
【解決手段】マスクブランク等の薄膜付基板１を支持するための支持手段を備える支持部材２，５であって、支持手段の少なくとも薄膜付基板１と接触する部位の表面を、算術平均表面粗さ（Ｒａ）で０．１μｍ以下である平滑面とした。支持手段の少なくとも薄膜付基板１と接触する部位の表面は例えば樹脂材料で構成する。薄膜付基板１を固定状態に支持する支持部材を備える収納容器において、上記支持部材２、５を用いて薄膜付基板１を支持する。 （もっと読む）

【課題】 蓋体の撓みに伴う蓋体開閉装置とのドッキング不良を抑制防止し、作動トラブルやパーティクルを含む気体が容器本体に侵入して基板を汚染することのない基板収納容器を提供する。
【解決手段】 開口した正面から挿入された半導体ウェーハＷを収納する容器本体１と、容器本体１の開口した正面に嵌入される蓋体２０と、容器本体１に嵌入された蓋体２０を施錠する施錠機構４０とを備え、蓋体２０を、容器本体１の開口した正面に嵌入される筐体２１と、筐体２１の開口した正面の両側部を覆う表面プレート２８とから構成し、筐体２１の中央部に、表面プレート２８方向に凹む凹部２４を形成する。そして、容器本体１に嵌入された蓋体２０の凹部２４からＳＥＭＩ規格のＦＤＰまでの距離を、表面プレート２８の表面２９からＦＤＰまでの距離よりも短くする。 （もっと読む）

【課題】ティースの正規の位置に基板を復帰させてその取り出し作業を容易にしたり、基板の破損を抑制できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷを収納する容器本体と、容器本体の内部両側に配設されて半導体ウェーハＷを略水平に支持する複数のティースと、容器本体内に装着されて半導体ウェーハＷの後部周縁を保持溝３２を介して保持するリヤリテーナと、容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを備える。そして、複数のティースの後方に、容器本体を蓋体により嵌合閉鎖した場合に半導体ウェーハＷの両側部周縁に傾斜面５１を接触させて半導体ウェーハＷを上下方向に案内する複数のガイド溝５０を設け、各ガイド溝５０を形成する傾斜面５１の傾斜角度をリヤリテーナ３０の保持溝３２を形成する傾斜面３３の傾斜角度よりも小さく設定する。 （もっと読む）

【課題】同一高さの溝を容易に認識可能にして、ウェハを水平に配置する。
【解決手段】 開口面を有する筐体を構成する一対の側壁１１ａ，１１ｂと、前記一対の側壁に夫々複数設けられた突部２とを具備し、前記突部の前記開口面に臨む端面は、前記一対の側壁のウェハが配置されるときに該ウェハに対して対応する位置の突部同士で同一色、同一形状又は同一模様に設定されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】同一高さの溝を容易に認識可能にして、ウェハを水平に配置する。
【解決手段】 開口した前面を有する筐体を構成する一対の側壁１１ａ，１１ｂと、前記一対の側壁に夫々複数設けられた溝部３と、前記溝部へ照明光を照射するために前記筐体の裏壁又は側壁の一方に設けられる開口部５とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液晶基盤のような基盤材料を安全に搬送する容器の提供および容器内部に用いる底上げ装置の提供。
【解決手段】本発明の基板搬送用容器は、発泡樹脂製の有底角筒状体であり、該有底角筒状体の対峙する内周壁に基板支持溝１６が形成された容器本体部１２と、容器本体部の開口を覆うように着脱自在に装着される発泡樹脂製の蓋体部４５と、容器本体部１２の少なくとも該基板支持溝１６が形成された対峙する内周壁面に、該内周壁面に僅かな空隙を形成して配置された、該内周壁面と略同一の表面形状に賦形された壁面基板支持用樹脂シート２２ａ、２２ｂと、好適には、表面に基板支持溝３６が形成された発泡樹脂製の板状体であり前記容器本体部１２に収容本体部の底部に収納されて、容器本体の配収壁に形成された基板支持溝と共同して基板を保持すると共に、上記壁面基板支持用樹脂シート２２ａ、２２ｂの倒れ込みを防止する底上げ部材３０とを有する。 （もっと読む）